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布线基板制造技术

技术编号:44303067 阅读:1 留言:0更新日期:2025-02-18 20:20
提供布线基板,其具有高品质。实施方式的布线基板具有:芯基板,其具有玻璃制的基板、贯通基板的贯通孔以及形成在贯通孔内的通孔导体;树脂绝缘层,其形成在芯基板上,具有第一面、第二面以及过孔导体用的开口;第一导体层,其形成在树脂绝缘层的第一面上;以及过孔导体,其形成在开口内,与通孔导体电连接。第一导体层和过孔导体由晶种层和形成在晶种层上的电镀层形成,晶种层通过溅射形成。树脂绝缘层由树脂和无机粒子形成,无机粒子包含部分地埋入树脂中的第一无机粒子和埋入树脂中的第二无机粒子,第一无机粒子由从树脂突出的第一部分和埋入树脂中的第二部分形成,第一面由所述树脂的上表面和所述第一部分的从所述上表面露出的露出面形成。

【技术实现步骤摘要】

本说明书公开的技术涉及布线基板


技术介绍

1、专利文献1公开了具有玻璃材质的芯的多层基板。

2、专利文献1:日本特开2015-133473号公报

3、[专利文献1的课题]

4、专利文献1控制由玻璃材质构成的第一绝缘层的透光率。作为透光率的控制方法的例子,专利文献1叙述了在第一绝缘层内含有着色剂。认为由玻璃材质构成的第一绝缘层难以均匀地含有着色剂。


技术实现思路

1、本专利技术的布线基板具有:芯基板,其具有玻璃制的基板、贯通所述基板的贯通孔以及形成在所述贯通孔内的通孔导体;树脂绝缘层,其形成在所述芯基板上,具有第一面、与所述第一面相反的一侧的第二面以及从所述第一面到达所述第二面的过孔导体用的开口;第一导体层,其形成在所述树脂绝缘层的所述第一面上;以及过孔导体,其形成在所述开口内,与所述通孔导体电连接。所述第一导体层和所述过孔导体由晶种层和形成在所述晶种层上的电镀层形成,所述晶种层通过溅射形成。所述树脂绝缘层由树脂和无机粒子形成,所述无机粒子包含部分地埋入所述树脂中的第一无机粒子和埋入所述树脂中的第二无机粒子,所述第一无机粒子由从所述树脂突出的第一部分和埋入所述树脂中的第二部分形成,所述第一面由所述树脂的上表面和所述第一部分的从所述上表面露出的露出面形成。

2、在本专利技术的实施方式的布线基板中,芯基板包含玻璃制的基板。玻璃制的基板的平坦性优异。因此,树脂绝缘层的第一面的平坦性优异。第一面的平滑性优异。实施方式能够在树脂绝缘层的第一面上形成微细的布线。在实施方式中,在树脂绝缘层的第一面几乎不形成凹部。因此,在通过溅射在树脂绝缘层上形成晶种层的情况下,即使溅射制膜的厚度较薄,实施方式也能够形成连续的晶种层。其结果,在晶种层被去除时,实施方式能够减少蚀刻量。实施方式能够在树脂绝缘层上形成微细的布线。

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【技术保护点】

1.一种布线基板,其具有:

2.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

3.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

4.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

5.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

6.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

7.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

8.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

9.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

10.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

11.根据权利要求10所述的布线基板,其中,

12.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

13.根据权利要求12所述的布线基板,其中,

14.根据权利要求12所述的布线基板,其中,

15.根据权利要求12所述的布线基板,其中,

【技术特征摘要】

1.一种布线基板,其具有:

2.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

3.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

4.根据权利要求1所述的布线基板,其中,

5.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

6.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

7.根据权利要求4所述的布线基板,其中,

8.根据权利要求4所述的布线基板,其中...

【专利技术属性】
技术研发人员:桑原雅笼桥进酒井纯吉川恭平伊西拓弥
申请(专利权)人:揖斐电株式会社
类型:发明
国别省市:

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