【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种组合物和电阻加热体。本申请基于2022年8月25日在日本提交的日本特愿2022-134489号主张优先权，将其内容援引于此。
技术介绍
1、在电阻加热式加热炉中，通过对配置在炉内的电阻加热体施加直流电或交流电而使电阻加热体发热，由此对加热炉内进行加热。关于电阻加热体的材料，已知有：碳(c)或碳化硅(sic)等碳系材料、氧化锆(zro2)或铬酸镧(la cro3)等陶瓷材料、以及钨(w)或钽(ta)等金属系材料等。
2、能够用于电阻加热体的材料主要由加热所需的气氛和目标到达温度而规定。例如，用于有机发光二极管(organic light emitting diode；oled)等的成膜的蒸镀单元是电阻加热炉的一种，通常使蒸镀单元内为高真空(10-5pa左右)而使用。在使用了蒸镀单元的真空蒸镀中，将坩埚状的容器配置在由电阻加热体包围的区域中，将蒸镀原料填充到该容器中，通过对电阻加热体通电而对炉内进行加热，将蒸镀原料溶解。从溶解了的蒸镀原料的表面脱离的原子或分子由蒸镀单元赋予指向性，通过附着在配置于蒸镀单元上方的基板来进行成膜。这里，要求在成膜时的蒸镀单元内部除了蒸镀原料以外的物质的脱离少，因此能够用于蒸镀单元的电阻加热体限定于在高温且高真空中挥发性较低的物质。一直以来，对于在高温且高真空条件下使用的电阻加热体，例如，可使用高熔点且低蒸气压的钨、钼或钽等高熔点金属。特别是钽与钨或钼不同，由于具有高延展性，因此即使在室温下也容易加工成所需的电阻加热体形状，在用作加热线的情况下，因设计的自由度高而被广泛商用化
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2005-281767号公报
6、非专利文献
7、非专利文献1：互联网<url：https://shop.nilaco.jp/jp/estimates/？menu＝15&from＝14&large_category＝1&middle_category＝％e3％82％bf％e3％83％b3％e3％82％bf％e3％83％ab&small_category＝％e7％b7％9a＞
8、非专利文献2：d.w.rhys,the fabrication and properties of ruthenium,j.less-common met.1(1959)269-291.
9、非专利文献3：a.s.darling,some properties and applications of the platinum-group metals,int.metall.rev.18(1973)91-122.
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、然而，钽的电阻加热体的耐用温度为1600℃左右，低于钨或钼的电阻加热体的耐用温度。
3、另外，通常金属的电阻率随温度上升而增大，但钽的电阻率的温度依赖性大于钨或钼，轻微的温度变化都会引起电阻率的变化，因此基于控制电压或电流的温度控制性较低。进而，由于钽在较低温度下的电阻率较小，因此存在升温速度变慢的课题。
4、另一方面，虽然钨或钼的电阻加热体的耐用温度高于钽的电阻加热体的耐用温度，但在室温下难以加工，因此为了制造电阻加热体需要加热钨或钼，存在制造成本增大的课题。
5、如上所述，现有的金属电阻加热体不能均衡性良好地满足高耐久性、电阻率的温度依赖性以及室温下的加工性等商业化所必需的这些要求。
6、本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种组合物和电阻加热体，所述组合物和电阻加热体均衡性良好地满足耐久性、电阻率、电阻率的温度依赖性、以及室温下的加工性的各项要求。
7、用于解决课题的技术手段
8、本专利技术的要点如下所述。
9、[1]本专利技术的一个实施方式涉及的组合物含有ru-mo-w合金，所述ru-mo-w合金的化学组成以原子％计为：mo超过0％且为49％以下，w超过0％且为45％以下，且上述ru-mo-w合金中的mo含量和w含量的总和超过30％且低于50％。
10、[2]根据上述[1]所述的组合物，其中，上述ru-mo-w合金的上述化学组成以原子％计含有：mo为10％以上且为40％以下，w为10％以上且为40％以下，上述ru-mo-w合金中的mo含量和w含量的总和可以为20％以上且为47％以下。
11、[3]根据上述[1]或[2]所述的组合物，其中，上述ru-mo-w合金可以为粉末状或至少与溶剂混合而成的糊状。
12、[4]根据上述[1]或[2]所述的组合物，其可以为薄膜。
13、[5]本专利技术的另一个实施方式涉及的电阻加热体含有ru-mo-w合金，所述ru-mo-w合金的化学组成以原子％计为：mo超过0％且为49％以下，w超过0％且为45％以下，mo含量和w含量的总和低于50％。
14、[6]根据上述[5]所述的电阻加热体，其中，上述ru-mo-w合金的上述化学组成以原子％计含有：mo为10％以上且为40％以下，w为10％以上且为40％以下，上述ru-mo-w合金中的mo含量和w含量的总和可以为20％以上且为47％以下。
15、[7]根据上述[5]或[6]所述的电阻加热体，其在室温下的单轴拉伸试验中的断裂伸长率可以为5％以上。
16、[8]根据上述[7]所述的电阻加热体，其形状可以为线状或棒状。
17、专利技术效果
18、根据本专利技术，能够提供一种组合物和电阻加热体，所述组合物和电阻加热体均衡性良好地满足耐久性、电阻率、电阻率的温度依赖性、以及室温下的加工性的各项要求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种组合物，其特征在于，所述组合物含有Ru-Mo-W合金，所述Ru-Mo-W合金的化学组成以原子％计为：
2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述Ru-Mo-W合金的所述化学组成以原子％计含有：
3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述Ru-Mo-W合金为粉末状或至少与溶剂混合而成的糊状。
4.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，包含所述Ru-Mo-W合金的组合物为薄膜。
5.一种电阻加热体，其特征在于，所述电阻加热体含有Ru-Mo-W合金，所述Ru-Mo-W合金的化学组成以原子％计为：
6.根据权利要求5所述的电阻加热体，其中，所述Ru-Mo-W合金的所述化学组成以原子％计含有：
7.根据权利要求5或6所述的电阻加热体，其中，室温下的单轴拉伸试验中的断裂伸长率为5％以上。
8.根据权利要求7所述的电阻加热体，其中，所述电阻加热体的形状为线状或棒状。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种组合物，其特征在于，所述组合物含有ru-mo-w合金，所述ru-mo-w合金的化学组成以原子％计为：
2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述ru-mo-w合金的所述化学组成以原子％计含有：
3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，所述ru-mo-w合金为粉末状或至少与溶剂混合而成的糊状。
4.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，包含所述ru-mo-w合金的组合物为薄膜。
【专利技术属性】
技术研发人员：村上力辉斗，吉川彰，镰田圭，山口大聪，丝井椎香，庄子育宏，
申请(专利权)人：国立大学法人东北大学，
类型：发明
国别省市：
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