【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例的方面涉及用于测量真空室中的声学的装置和方法。
技术介绍
1、制造qd(量子点)oled(有机发光二极管)显示器利用了有机薄膜沉积。
2、用于沉积用于现有oled显示器的大面积有机薄膜的直列式蒸发器通常被使用，并且大面积有机薄膜通过在高真空室中在大型衬底上沉积涂覆有机材料气体来制造。
3、为了确认在真空室中是否在衬底上进行了良好的沉积工艺，可以使用测量真空室中生成的声音(例如声波)的方法。
4、测量声音的方法包括收集由声波生成源生成(例如，发射)的声波，以确定声波生成源的状态(例如，状况)。
5、然而，一般来说，在真空中没有介质(例如，空气)来传输声波，因此真空室中的声波测量是不可能的。
6、因此，近年来，已经对通过直接接触真空室中的测试对象，并且通过测试对象收集声波，并根据测试对象的振动将声波转换为电信号，从而确定声波生成源的状态进行了研究。
7、例如，将包括声波收集装置的测量装置放置为与真空室中的声波测量点接触，从该点生成的声波通过测量箱的固体介质(例如，壁)向内部传输，并且通过测量装置中存在的空气介质传输到声波收集装置。
技术实现思路
1、提供了一种声学测量装置，其安装在真空室中，用于确定真空室中的声波生成源的状态，并且根据本公开的实施例，声学测量装置包括：声波收集装置，在真空室中，并配置为收集从真空室中的声波生成源生成的声音；以及馈线，配置为将由声波收集装置收集的声音的声波信息转换为电信号
2、声波收集装置可以附接在真空室的内壁上，或附接在真空室中的移动装置上。
3、移动装置可以是真空机器人、泵、掩模、升降装置、转台和倒装芯片中的任何一种。
4、声波收集装置的内部可以处于大气压下。
5、声波收集装置可以配置为检测真空室的内壁或移动装置的振动并将振动转换为声波。
6、声波收集装置可以安装在大气压(atm)盒内，大气压盒安装在真空室中。
7、atm盒可以安装在真空室的内壁上，或安装在真空室的移动装置中。
8、atm盒的内部可以处于大气压下。
9、atm盒的内部可以用固体壁密封。
10、声波收集装置可以固定在atm盒的壁的内表面上。
11、声波收集装置可以配置为检测atm盒的壁的振动并将所检测到的振动转换为用于收集的声波。
12、馈线可以在atm盒的内部，并且可以延伸通过atm盒的壁。
13、真空室可以配置为用于高真空沉积工艺。
14、还提供了使用如上所述的声学测量装置的声学测量方法。根据本公开的实施例，该方法包括：通过声波收集装置收集从真空室中的声波生成源生成的声音；通过馈线将由声波收集装置收集的声音的声波信息转换成电信号，并将电信号作为电信号数据传输到真空室外部；对传输到真空室外部的电信号数据进行收集和分析；以及根据电信号数据的分析结果诊断声波生成源的状态。
15、电信号数据的传输可以通过使用wifi通信装置来执行。
16、对电信号数据进行收集和分析可以通过使用计算机来执行。
17、诊断声波生成源的状态可以通过所收集的电信号数据的可视化确认来手动执行。
18、诊断声波生成源的状态可以通过使用人工智能(ai)语音分析系统来执行。
19、ai语音分析系统可以配置为通过基于噪声的分类检测声波生成源的操作状态、冲击和振动状态以及驱动部分的异常。
20、ai语音分析系统可以配置为通过安装在多个位置处的多个声波收集装置收集的声波来确定声波生成源的位置。
21、根据本公开的实施例，可以通过由安装在真空室中的声学测量装置收集在真空室中生成的声波并将其转换为电信号来分析声波。
22、通过测量声波生成源的驱动器、研磨、冲击、振动等引起的异常噪声，可以确定声波生成源是否被异常驱动。
23、通过将声学测量装置与ai语音分析系统相连接，可以根据声波生成源的操作和噪声对声音进行分类，使得可以确定声波生成源的操作状态。
24、通过在真空室中的多个位置处安装声波收集装置，可以确定声波生成源的位置。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种声学测量装置，安装在真空室中，用于确定所述真空室中的声波生成源的状态，其特征在于，所述声学测量装置包括：
2.根据权利要求1所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置附接在所述真空室的内壁上或附接在所述真空室中的移动装置上。
3.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述移动装置是真空机器人、泵、掩模、升降装置、转台和倒装芯片中的任何一种。
4.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置的内部处于大气压下。
5.根据权利要求4所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置配置为检测所述真空室的所述内壁或所述移动装置的振动并将所述振动转换为声波。
6.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置安装在大气压盒内，所述大气压盒安装在所述真空室中。
7.根据权利要求6所述的声学测量装置，其特征在于，所述大气压盒安装在所述真空室的内壁上或安装在所述真空室中的所述移动装置中。
8.根据权利要求6所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置固定
9.根据权利要求8所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置配置为检测所述大气压盒的所述壁的振动并将所检测到的所述振动转换为用于收集的声波。
10.根据权利要求6所述的声学测量装置，其特征在于，所述馈线位于所述大气压盒的内部并延伸通过所述大气压盒的壁。
...【技术特征摘要】
1.一种声学测量装置，安装在真空室中，用于确定所述真空室中的声波生成源的状态，其特征在于，所述声学测量装置包括：
2.根据权利要求1所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置附接在所述真空室的内壁上或附接在所述真空室中的移动装置上。
3.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述移动装置是真空机器人、泵、掩模、升降装置、转台和倒装芯片中的任何一种。
4.根据权利要求2所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置的内部处于大气压下。
5.根据权利要求4所述的声学测量装置，其特征在于，所述声波收集装置配置为检测所述真空室的所述内壁或所述移动装置的振动并将所述振动转换为声波。
【专利技术属性】
技术研发人员：徐昌郁，姜有珍，朴永勳，尹盛根，赵喆来，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：
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