【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，特别涉及一种刮刀装置及废气处理设备。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中，半导体制造设备的每个腔体会通过排气管路将生产过程中产生的多种复杂废气输送到废气处理机中进行净化。这些产生的废气如硅烷、三氟化硼、三氯甲苯等通常与水或者空气中的氧气发生化学反应形成酸性的结晶体。半导体设备在长时间运行中，因排气管路内部压力以及温度的变化，使得这些酸性结晶体大量堵塞在设备的排气管路与废气处理机燃烧腔的连接处。这些大量沉积的晶体不但影响了气体的流通性，使得废气处理效率降低，而且容易腐蚀排气管路，造成废气的泄漏。
2、为了及时清理结晶体，需要利用刮刀对气体管路自动清理，现有的刮刀装置存在以下缺点：
3、1、通常采用单轴锁止气缸或者电机带动刮刀旋转的方式进行，清除结晶体的能力有限，使得刮刀及排气管路极易被腐蚀。
4、2、刮刀装置采用t型与l型相结合的异形结构，形状固定且位于管路中央，主体结构投影面积较大，严重影响管路内气体的流通。此外刮刀在使用时会因重心的变化，影响电机主轴，导致电机加速损耗。
5、3、电机转速低且固定不可调，当通入废气的种类不同时会导致电机出现异常负载变化，但由于无法监测电机的运行状态且无法设置报警，导致电机长时间处于高温状态，使得电机的寿命折损，严重影响了机台运行时间，增加了维修的成本。
6、4、刮刀与管壁之间留有空隙，刮刀无法清除管壁表面附着的结晶体，导致管路使用寿命骤缩，且刮刀通常采用金属材质容易被腐蚀。
技术实现思路<
1、本技术的目的是提供一种刮刀装置及废气处理设备，利用驱动装置所带来的离心力驱动刮刀组件展开并与进气管道的内壁接触进而清除管道的内壁上的附着物，可有效防止管道内结晶体的堆积，降低了废气处理设备的保养次数，延长了设备的运行时间。
2、为达到上述目的，本技术通过以下技术方案实现：
3、一种刮刀装置，应用于废气处理设备的进气管道中，所述进气管道向所述废气处理设备内引入废气，包括：
4、驱动装置，设置在所述进气管道的安装端口上；
5、主轴，其一端与所述驱动装置连接，另一端从所述安装端口伸入至所述进气管道内；
6、刮刀组件，位于所述进气管道内，且与所述主轴铰接；
7、所述驱动装置驱动所述主轴自转，为所述刮刀组件提供离心力，所述刮刀组件在所述离心力的作用下展开并与所述进气管道的内壁接触，以清除位于所述进气管道的内壁上的附着物。
8、可选地，所述主轴与所述进气管道的中心轴平行或同轴设置。
9、可选地，所述刮刀组件包括：刮刀；摆臂，所述摆臂的两端分别与所述主轴和所述刮刀铰接。
10、可选地，所述摆臂包括：主摆臂和约束臂；
11、所述主摆臂和所述约束臂的两端分别与所述主轴和所述刮刀铰接，并形成一四边形。
12、可选地，所述刮刀组件还包括：约束限位挡板，所述约束限位挡板设置在所述四边形的远离所述主轴的对角上，以限制所述刮刀组件的展开角度。
13、可选地，所述约束限位挡板呈直角三角形，所述约束限位挡板的一个直角边与所述主摆臂连接，或者与所述约束臂连接，或者与所述刮刀的刀背连接。
14、可选地，所述刮刀的材质为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
15、可选地，所述驱动装置包括：
16、变频电机，设置在所述进气管道的安装端口上，且其输出轴与所述主轴连接；
17、控制系统，与所述变频电机连接，用于控制所述变频电机的转速；
18、检测系统，其分别与所述控制系统和所述变频电机连接，用于监测所述变频电机的运行状态。
19、可选地，所述控制系统包括：plc控制模组和变频器，所述plc控制模组用于设定所述变频电机的工作周期；所述变频电机工作周期包括工作时间段和非工作时间段。
20、所述plc控制模组向所述变频器发送控制信号，所述变频器用于根据所述控制信号调整所述变频电机的转速。
21、在所述工作时间段时，所述变频电机带动所述刮刀撞击并刮除所述进气管道内壁的附着物；在所述非工作时间段时，所述变频电机停止工作，所述刮刀收缩。
22、所述检测系统包括：电流检测模块和报警模块，所述电流检测模块用于实时检测并采集所述变频电机的负载电流。
23、所述报警模块用于根据接收到的所述负载电流判断所述负载电流是否超出预定的报警范围，若是，则生成并发送报警信号。
24、所述plc控制模组根据接收到的所述报警信号控制所述变频电机停止工作。
25、另一方面，本技术还提供一种废气处理设备，包括：燃烧腔，设置在燃烧腔上的如上文所述的刮刀装置，所述刮刀装置用于清除位于所述进气管道内壁上的附着物；
26、所述进气管道为三通进气管道，其中两端分别与所述废气处理设备的气体源和所述燃烧腔连接，其余一端与所述驱动装置连接。
27、本技术与现有技术相比至少具有以下效果之一：
28、本技术利用驱动装置所带来的离心力驱动刮刀组件展开并撞击进气管道，以清除进气管道内壁附着的结晶体，防止了管道内结晶体的堆积，避免因堵塞所导致的设备宕机，有效降低了废气处理设备的维修保养次数，保障机台长久运行。
29、本技术使用刮刀的材质为陶瓷材料，锋利、材料轻且比金属更耐腐蚀，有效延长了刮刀使用周期。
30、本技术的刮刀采用可活动的四边形结构，其主体投影面积小，减小影响管路内气体的流通效果。驱动装置提供的离心力作用下使得摆臂展开进而推动刮刀撞击进气管道内壁的结晶体，刮刀在清除管壁的附着物时会上下移动，避免了硬碰硬和剧烈的震动，在增加刮刀韧性的同时对管道内壁的结晶形成斩击的效果，同时依靠撞击产生的震动效果又可以有效清理刮刀本身附着的结晶体，降低刮刀被腐蚀的几率，减少了刮刀的更换频次。
31、本技术的约束限位挡板用于限制刮刀的展开角度，使得刮刀可最大平行接触到进气管道的管壁，可以最大程度的与管壁贴合，可以有效清除管壁表面的结晶，避免结晶的固化，延长了管道的使用寿命。
32、本技术的检测系统可以实时监测变频电机的运行状态，同时控制系统可根据检测系统采集到的负载电流变化对变频电机的运行进行实时控制，有效延长了变频电机的使用寿命，降低了成本，提高了废气处理设备的利用率，最大化延长了机台的运行时间，节约了时间成本。
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1.一种刮刀装置，应用于废气处理设备的进气管道中，所述进气管道向所述废气处理设备内引入废气，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的刮刀装置，其特征在于，所述主轴与所述进气管道的中心轴平行或同轴设置。
3.如权利要求1所述的刮刀装置，其特征在于，所述刮刀组件包括：
4.如权利要求3所述的刮刀装置，其特征在于，所述摆臂包括：主摆臂和约束臂；
5.如权利要求4所述的刮刀装置，其特征在于，所述刮刀组件还包括：约束限位挡板，所述约束限位挡板设置在所述四边形的远离所述主轴的对角上，以限制所述刮刀组件的展开角度。
6.如权利要求5所述的刮刀装置，其特征在于，所述约束限位挡板呈直角三角形，所述约束限位挡板的一个直角边与所述主摆臂连接，或者与所述约束臂连接，或者与所述刮刀的刀背连接。
7.如权利要求3所述的刮刀装置，其特征在于，所述刮刀的材质为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
8.如权利要求1所述的刮刀装置，其特征在于，所述驱动装置包括：
9.如权利要求8所述的刮刀装置，其特征在于，所述控制系统包括：PLC
10.一种废气处理设备，其特征在于，包括：燃烧腔，设置在燃烧腔上的如权利要求1～9中任一项所述的刮刀装置，所述刮刀装置用于清除位于所述进气管道内壁上的附着物；
...【技术特征摘要】
1.一种刮刀装置，应用于废气处理设备的进气管道中，所述进气管道向所述废气处理设备内引入废气，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的刮刀装置，其特征在于，所述主轴与所述进气管道的中心轴平行或同轴设置。
3.如权利要求1所述的刮刀装置，其特征在于，所述刮刀组件包括：
4.如权利要求3所述的刮刀装置，其特征在于，所述摆臂包括：主摆臂和约束臂；
5.如权利要求4所述的刮刀装置，其特征在于，所述刮刀组件还包括：约束限位挡板，所述约束限位挡板设置在所述四边形的远离所述主轴的对角上，以限制所述刮刀组件的展开角度。
6.如权利要求5所述的刮刀装置，其特征在于，所述约束限位挡板呈直角三角形...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁彦华，李吉玮，吴哲，邹古玥，
申请(专利权)人：浙江亚笙半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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