半导体夹具制造技术

技术编号:44294600 阅读:1 留言:0更新日期:2025-02-18 20:14
本申请公开了半导体夹具,属于夹具技术领域,包括主体模块、夹持模块和升降模块,所述主体模块包括固定板,所述固定板顶部的四个夹角均连接有滑动杆,四个所述滑动杆内部之间滑动连接有固定台,所述夹持模块包括开设在固定台顶部的十字滑槽,所述十字滑槽内部设有双向调节组件,所述双向调节组件延伸出固定台的外部并固定连接有转动杆,通过十字滑槽、双向调节组件、转动杆、限位滑块、夹板和限位组件之间的相互配合,转动转动杆使得限位滑块相互靠近,同时还可以调节限位组件改变夹板的位置,从而从四个角度对放有半导体的托盘进行稳固的夹持,避免零件发生晃动,防止进一步加工时产生位置偏移,提高了对放有半导体加工的精确度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及夹具,更具体地说,涉及半导体夹具


技术介绍

1、夹具是指机械制造过程中用来固定加工对象,使其在一固定位置保持不动,以接受施工改造或检测的装置,又可以称其为卡具。现有的机械零件加工夹具通常是通过螺杆转动来推动两个滑块相互靠近,从而固定零件,并对其继续加工。但现在机械制造技术得到了快速发展,生产效率和精确程度也在不断提高,而在零件加工过程中,需要对其进行固定才能进行后续的加工。

2、针对上述中的相关技术,申请人认为在跟精密半导体加工的过程中,现有的夹持机构仅用两个滑块相互靠近来稳定放有半导体的托盘,夹具结构较为简单,则会出现放有半导体的托盘固定不牢的情况,在加工过程中,由于加工台没有很好的固定限位装置,从而会导致放有半导体的托盘发生晃动,产生位置偏移,则会影响半导体加工的精确度。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本申请提供半导体夹具,采用如下的技术方案:

2、半导体夹具,包括主体模块、夹持模块和升降模块,所述主体模块包括固定板,所述固定板顶部的四个夹角均连接有滑动杆,四个所述滑动杆内部之间滑动连接有固定台,所述夹持模块包括开设在固定台顶部的十字滑槽,所述十字滑槽内部设有双向调节组件,所述双向调节组件延伸出固定台的外部并固定连接有转动杆,所述双向调节组件上设置有四个限位滑块,四个所述限位滑块均滑动连接在固定台的内壁且四个所述限位滑块顶部均开设有限位滑槽,四个所述限位滑槽内部均活动连接有夹板,四个所述限位滑块和四个所述夹板之间均设置有限位组件,所述升降模块位于固定板的顶部和固定台的底部之间。

3、上述的,所述双向调节组件包括转动连接在十字滑槽内部两侧之间的第一双向调节丝杆,其中两个所述限位滑块均螺纹套设在第一双向调节丝杆外表面,所述十字滑槽内部的前端面和后端面之间转动连接有第二双向调节丝杆,其中另外两个所述限位滑块均螺纹套设在第二双向调节丝杆的外表面,所述第一双向调节丝杆外表面的中部开设有蜗杆槽。

4、上述的,所述双向调节组件还包括固定连接在第二双向调节丝杆外表面中部的蜗轮,所述蜗杆槽与蜗轮相啮合,所述第一双向调节丝杆的一端延伸出固定台的外部并与转动杆固定连接。

5、上述的,所述限位组件包括两个均与其中一个夹板固定连接的中空块,两个所述中空块的均内部活动连接有插杆,其中一个所述限位滑块顶部开设有多个限位孔,两个所述插杆活动插接在其中两个限位孔的内部。

6、上述的,所述限位组件还包括固定连接在限位滑块顶部一侧的刻度,两个所述中空块的顶部与两个插杆的顶端之间均固定连接有弹簧。

7、上述的,所述升降模块包括两个转动连接在固定板顶部的套管,两个所述套管内部均螺纹套设有螺纹杆,两个所述螺纹杆顶部固定连接在固定台的底部,所述固定板顶部固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出轴与两个套管的外表面均固定连接有转轮,三个所述转轮外表面转动连接有转动带。

8、综上所述,本申请包括以下有益技术效果:

9、(1)本申请通过十字滑槽、双向调节组件、转动杆、限位滑块、夹板和限位组件之间的相互配合,转动转动杆使得限位滑块相互靠近,同时还可以调节限位组件改变夹板的位置,从而从四个角度对放有半导体的托盘进行稳固的夹持,避免零件发生晃动,防止进一步加工时产生位置偏移,提高了对放有半导体加工的精确度;

10、(2)本申请通过套管、螺纹杆、伺服电机、转轮和转动带之间的配合,打开伺服电机使得转轮转动同时带动套管的转动,从而使固定台进行上下移动,方便不同身高的工人对固定台进行操作,使工作效率得到提高。

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【技术保护点】

1.半导体夹具,包括主体模块(100)、夹持模块(200)和升降模块(300),其特征在于:所述主体模块(100)包括固定板(110),所述固定板(110)顶部的四个夹角均连接有滑动杆(120),四个所述滑动杆(120)内部之间滑动连接有固定台(130);

2.根据权利要求1所述的半导体夹具,其特征在于:所述双向调节组件(220)包括转动连接在十字滑槽(210)内部两侧之间的第一双向调节丝杆(221),其中两个所述限位滑块(240)均螺纹套设在第一双向调节丝杆(221)外表面,所述十字滑槽(210)内部的前端面和后端面之间转动连接有第二双向调节丝杆(223),其中另外两个所述限位滑块(240)均螺纹套设在第二双向调节丝杆(223)的外表面,所述第一双向调节丝杆(221)外表面的中部开设有蜗杆槽(222)。

3.根据权利要求2所述的半导体夹具,其特征在于:所述双向调节组件(220)还包括固定连接在第二双向调节丝杆(223)外表面中部的蜗轮(224),所述蜗杆槽(222)与蜗轮(224)相啮合,所述第一双向调节丝杆(221)的一端延伸出固定台(130)的外部并与转动杆(230)固定连接。

4.根据权利要求3所述的半导体夹具,其特征在于:所述限位组件(260)包括两个均与其中一个夹板(250)固定连接的中空块(263),两个所述中空块(263)的均内部活动连接有插杆(262),其中一个所述限位滑块(240)顶部开设有多个限位孔(264),两个所述插杆(262)活动插接在其中两个限位孔(264)的内部。

5.根据权利要求4所述的半导体夹具,其特征在于:所述限位组件(260)还包括固定连接在限位滑块(240)顶部一侧的刻度(265),两个所述中空块(263)的顶部与两个插杆(262)的顶端之间均固定连接有弹簧(261)。

6.根据权利要求5所述的半导体夹具,其特征在于:所述升降模块(300)包括两个转动连接在固定板(110)顶部的套管(310),两个所述套管(310)内部均螺纹套设有螺纹杆(320),两个所述螺纹杆(320)顶部固定连接在固定台(130)的底部,所述固定板(110)顶部固定连接有伺服电机(330),所述伺服电机(330)的输出轴与两个套管(310)的外表面均固定连接有转轮(340),三个所述转轮(340)外表面转动连接有转动带(350)。

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【技术特征摘要】

1.半导体夹具,包括主体模块(100)、夹持模块(200)和升降模块(300),其特征在于:所述主体模块(100)包括固定板(110),所述固定板(110)顶部的四个夹角均连接有滑动杆(120),四个所述滑动杆(120)内部之间滑动连接有固定台(130);

2.根据权利要求1所述的半导体夹具,其特征在于:所述双向调节组件(220)包括转动连接在十字滑槽(210)内部两侧之间的第一双向调节丝杆(221),其中两个所述限位滑块(240)均螺纹套设在第一双向调节丝杆(221)外表面,所述十字滑槽(210)内部的前端面和后端面之间转动连接有第二双向调节丝杆(223),其中另外两个所述限位滑块(240)均螺纹套设在第二双向调节丝杆(223)的外表面,所述第一双向调节丝杆(221)外表面的中部开设有蜗杆槽(222)。

3.根据权利要求2所述的半导体夹具,其特征在于:所述双向调节组件(220)还包括固定连接在第二双向调节丝杆(223)外表面中部的蜗轮(224),所述蜗杆槽(222)与蜗轮(224)相啮合,所述第一双向调节丝杆(221)的一端延伸出固定台(130)的外部并与转动杆(230)固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:鲁令国马元叶
申请(专利权)人:山东海声尼克微电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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