一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置制造方法及图纸

技术编号:44293036 阅读:3 留言:0更新日期:2025-02-14 22:26
本技术提供了一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,所述蒸发辅助装置包括加热板组合以及分别设置于所述加热板组合两端的第一连接块和第二连接块;所述加热板组合包括平行阵列的至少2块加热板,且每一块加热板两端均设置有连接柱,所述加热板通过连接柱活动连接于第一连接块和第二连接块;所述蒸发辅助装置悬设于蒸发舟的正上方,且夹设于两个电极之间。本技术提供的蒸发辅助装置通过加热板角度的灵活调整实现了蒸气云导向功能,在调整方阻均一性的同时尽可能缩短了试验周期,提高了产品方阻有效幅宽,降低了金属液飞溅概率,有利于大规模推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空镀膜,涉及一种蒸发辅助装置,尤其涉及一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置


技术介绍

1、复合集流体是相对于单一集流体而言的,主要以pet/pp等高分子材料作为中间层基膜,通过真空镀膜等工艺,在基膜上下两侧表面堆积出双层铜/铝导电层所形成的复合材料,具体制备过程及常见问题为:蒸发舟通过电阻加热方式使得送入的金属丝融化,在蒸发舟表面形成熔池,熔池内部因蒸发舟材质分解或金属液汽化而产生气泡并伴随破裂,容易引起金属液滴不规则的大量飞溅,这些金属液滴飞溅到基膜上冷却后形成飞溅点,这些飞溅点过高会在电池涂布生产中引起设备异常停机,故需要降低飞溅概率以保证生产活动的正常进行。

2、此外,由于边缘蒸气云密度较少,导致常规蒸镀后所得产品的边缘方阻较高而无法使用,后续需要进行裁切报废处理,从而显著延长了加工工时,提高了制造成本,降低了经济效益。

3、对此,本领域技术人员一般通过更改两个蒸发源之间的距离或更换不同宽度的蒸发舟以匹配方阻均一性,或者在边缘增大送丝量以增加沉积膜厚,进而增大方阻有效幅宽,或是采用二级蒸发机构以解决飞溅问题。

4、然而,更改两个蒸发源之间的距离这一技术手段所需调整周期长,耽误生产,且调整程度有限,效果难以估测,无法解决蒸发边缘膜厚较薄的问题,产品方阻有效幅宽未能得到提高;更换不同宽度的蒸发舟这一技术手段所带来的调整程度有限,效果同样难以估测,也无法解决蒸发边缘膜厚较薄的问题,产品方阻有效幅宽未能得到提高;在边缘增大送丝量这一技术手段所带来的产品方阻有效幅宽有限,增加了设备非成膜区沉积铝层的厚度,增大了铝层脱落风险,且仅适度调节方阻均一性无法降低飞溅概率;采用二级蒸发机构这一技术手段同样无法改善方阻,仍有较大的改进空间。

5、由此可见,如何提供一种蒸发辅助装置,在调整方阻均一性的同时尽可能缩短试验周期,提高产品方阻有效幅宽,降低金属液飞溅概率,成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,所述蒸发辅助装置通过加热板角度的灵活调整实现了蒸气云导向功能,在调整方阻均一性的同时尽可能缩短了试验周期,提高了产品方阻有效幅宽,降低了金属液飞溅概率,有利于大规模推广应用。

2、为达此目的,本技术采用以下技术方案:

3、本技术提供一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置包括加热板组合以及分别设置于所述加热板组合两端的第一连接块和第二连接块。

4、所述加热板组合包括平行阵列的至少2块加热板,且每一块加热板两端均设置有连接柱,所述加热板通过连接柱活动连接于第一连接块和第二连接块。

5、所述蒸发辅助装置悬设于蒸发舟的正上方,且夹设于两个电极之间。

6、本技术中,所述加热板的数量为至少2块,例如可以是2块、3块、4块、5块、6块、7块、8块、9块或10块,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

7、本技术提供的蒸发辅助装置将加热板活动连接于两个连接块之间,通过板面角度的灵活调整实现了蒸气云导向功能,可对蒸气云流向进行精确控制,解决了边缘膜厚较薄的问题,提高了产品方阻有效幅宽;在方阻不均匀区域处对应的蒸发舟上方安装不同角度的加热板,可调整方阻均一性,同时加热板组合悬设于蒸发舟的正上方起到了很好的阻挡作用,从而降低了金属液飞溅概率,且这种活动连接方式便于拆卸,可根据镀膜需求灵活更换和调整加热板,有利于大规模推广应用。

8、优选地,当蒸发舟位于镀膜区边缘位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面朝向镀膜区边缘方向,且所述加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-90°,例如可以是0°、5°、10°、15°、20°、25°、30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°或90°,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

9、优选地,当蒸发舟位于镀膜区中央位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-180°,例如可以是0°、10°、20°、30°、40°、50°、60°、70°、80°、90°、100°、110°、120°、130°、140°、150°、160°、170°或180°,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

10、优选地,当加热板的板面与水平面之间的夹角≠90°时,所述加热板的上边缘与相邻加热板的下边缘位于同一竖直线上,从而进一步避免了金属液在产品上产生飞溅现象。

11、优选地,所述加热板的板面和连接柱的表面包裹有石墨片,且所述石墨片的表面涂覆有石墨乳。

12、优选地,所述第一连接块和第二连接块上与电极接触的一侧表面放置有石墨片。

13、本技术中,所述石墨片和/或石墨乳的设置将电接触方式限定为软接触,确保了良好的电接触效果,防止了接触不良。

14、优选地,所述石墨片的厚度为0.5-1.5mm,例如可以是0.5mm、0.6mm、0.7mm、0.8mm、0.9mm、1mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm或1.5mm,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

15、优选地,所述加热板的板面形状包括矩形、梯形或椭圆形中的任意一种,进一步优选为矩形。

16、优选地,所述第一连接块和第二连接块上与连接柱接触的一侧表面设置有凹槽和/或通孔。

17、优选地,所述蒸发辅助装置悬设于蒸发舟的正上方10-50mm处,例如可以是10mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

18、采用本技术提供的蒸发辅助装置进行真空镀膜,具体方法包括:将蒸发辅助装置悬设于蒸发舟的正上方,且夹设于两个电极之间,通过改变加热板的板面与水平面之间的夹角来调整蒸气云的流向。

19、一方面,在镀膜区边缘位置的蒸发舟正上方悬设蒸发辅助装置,调整加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-90°,将蒸气云导向至镀膜区边缘位置,增加产品的边缘膜厚。

20、另一方面,在镀膜区中央位置的蒸发舟正上方悬设蒸发辅助装置,调整加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-180°,将蒸气云导向至镀膜区,改善产品的方阻均一性。

21、本技术所述的数值范围不仅包括上述例举的点值,还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本技术不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。

22、与现有技术相比,本技术的有益效果为:

23、本技术提供的蒸发辅助装置将加热板活动连接于两个连接块之间,通过板面角度的灵活调本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置包括加热板组合以及分别设置于所述加热板组合两端的第一连接块和第二连接块;

2.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当蒸发舟位于镀膜区边缘位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面朝向镀膜区边缘方向,且所述加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-90°。

3.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当蒸发舟位于镀膜区中央位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-180°。

4.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当加热板的板面与水平面之间的夹角≠90°时,所述加热板的上边缘与相邻加热板的下边缘位于同一竖直线上。

5.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述加热板的板面和连接柱的表面包裹有石墨片,且所述石墨片的表面涂覆有石墨乳。

6.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述第一连接块和第二连接块上与电极接触的一侧表面放置有石墨片。

7.根据权利要求5或6所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述石墨片的厚度为0.5-1.5mm。

8.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述加热板的板面形状包括矩形、梯形或椭圆形中的任意一种。

9.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述第一连接块和第二连接块上与连接柱接触的一侧表面设置有凹槽和/或通孔。

10.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述蒸发辅助装置悬设于蒸发舟的正上方10-50mm处。

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【技术特征摘要】

1.一种具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置包括加热板组合以及分别设置于所述加热板组合两端的第一连接块和第二连接块;

2.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当蒸发舟位于镀膜区边缘位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面朝向镀膜区边缘方向,且所述加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-90°。

3.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当蒸发舟位于镀膜区中央位置时,所述蒸发舟的正上方所对应加热板的板面与水平面之间的夹角为0°-180°。

4.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能的蒸发辅助装置,其特征在于,当加热板的板面与水平面之间的夹角≠90°时,所述加热板的上边缘与相邻加热板的下边缘位于同一竖直线上。

5.根据权利要求1所述具有蒸气云导向功能...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐文婷陈一民李东亮杨怀超孙欣森
申请(专利权)人:安迈特科技北京有限公司
类型:新型
国别省市:

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