【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空晶化炉设备，具体涉及一种真空晶化炉。
技术介绍
1、钙钛矿太阳能电池是利用钙钛矿结构材料作为吸光材料的太阳能电池，属于第三代高效薄膜电池的代表，具有高效率、低成本、高柔性等优势。真空干燥晶化是钙钛矿电池生产工艺中重要工艺之一，由载板承载着电池片，在输送辊的传输驱动下，进出真空晶化炉，进行干燥和晶化；现有的真空晶化炉只在炉体的底部连通真空管，只能从炉体的底部进行抽真空，抽真空效率低切不均匀，导致电池片的干燥和晶化效果差；现有的真空晶化炉对电池片加热晶化需要设置另外一个腔室，增加设备的体积，提高了成本；
2、因此，提供一种能够对真空晶化炉上下抽真空且附带加热功能的真空晶化炉是有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种真空晶化炉。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种真空晶化炉，包括：炉体，所述炉体的顶部设置有盖板，所述炉体的底板和所述盖板均连通有真空管和若干个回填管；其中，所述炉体的顶部和底部适于通过所述真空管对所述炉体的腔室抽真空，所述炉体的顶部和底部适于通过所述回填管对所述炉体的腔体回填气体；承载部，所述承载部设置在所述炉体的腔体内，其中，所述承载部适于承载并输送电池片；加热部，所述加热部设置在所述承载部和所述炉体的底板之间，其中，所述加热部适于发出热量对电池片进行加热晶化。
3、进一步地，所述加热部包括灯管安装板和若干加热灯管，所述加热灯管设置在所述灯管安装板的内壁，所述炉体一侧的横板上设置有若干与红外灯适配的灯管
4、进一步地，所述加热灯管贯穿所述灯管安装板的外壁且伸出端设置有磁流体。
5、进一步地，所述盖板的顶部设置真空孔，所述真空孔适于连通所述真空管。
6、进一步地，所述真空孔的周向设置有若干回填孔，所述回填孔适于连通所述回填管。
7、进一步地，所述盖板上设置有真空计安装孔，所述真空计安装孔适于安装真空计。
8、进一步地，所述盖板上设置有一对加强筋，所述加强筋设置在所述回填孔的外侧。
9、进一步地，所述加强筋的外侧设置有若干测温孔，其中，所述测温孔适于安装热电耦。
10、进一步地，所述加强筋之间设置有感应口，所述感应口适于安装感应器。
11、进一步地，所述承载部包括若干输送辊；所述输送辊转动设置在所述炉体两侧的横板上且处于同一水平面，所述输送辊适于承载并且输送电池片，其中，所述输送辊的外圈套设有若干橡胶圈。
12、进一步地，所述炉体的一侧竖板上开合设置有阀口，其中，所述阀口与所述输送辊的高度齐平。
13、进一步地，所述炉体内还设置有匀气组件，所述匀气组件包括上匀气部和下匀气部；所述上匀气部设置在所述盖板的底部，所述下匀气部设置在所述底板的顶部；所述上匀气部和所述下匀气部均包括若干层匀气板，所述匀气板的顶部设置有若干匀气孔，其中，靠近所述承载部的所述匀气板上的所述匀气孔数量呈增加趋势且直径呈缩小的趋势。
14、进一步地，所述下匀气部上靠近所述加热部的匀气板的顶部设置有支撑槽，所述支撑槽的顶部适于安装加热管支撑板，所述加热管支撑板上设置有若干与所述灯管安装孔对应的支撑孔，其中，所述支撑孔与所述灯管安装孔高度和直径相同，所述加热灯管适于穿过所述支撑孔。
15、进一步地，所述炉体的竖板、横板和底板，所述盖板、所述下匀气部上靠近所述加热部的匀气板均连通有水管；其中，所述水管与热电耦电性连接。
16、进一步地，所述炉体横板的侧壁设置有观察窗。
17、本技术的有益效果：
18、1、通过设置炉体和盖板，炉体为矩形盒体，盖板与炉体适配且安装在炉体的顶部；通过盖板和炉体的底板均连通有真空管和若干个回填管，真空管与真空泵连通，回填管适于通入氮气；涂有电池药液的电池片需要干燥，电池片进入腔体内，真空泵启动，通过真空管在炉体的顶部和底部同时对腔体进行抽真空，抽真空效果均匀且效率高，使得电池片能够平稳干燥；干燥一段时间后，腔体内气压上升，回填孔通入氮气，从炉体的顶部和底部同时进入炉体内，对腔体均匀回填气体，使得腔体内气压稳定，加快了干燥进度；
19、2、通过设置承载部，承载部能够平稳承载且输送电池片，将电池片输送到加工的位置；
20、3、通过设置加热部，在电池片干燥完后进入晶化工序，此时通过设置加热部，加热部的发热方式可为红外发热，发热效果稳定，通过对电池表面加热，能够高效实现电池表面的晶化，不需要增设一个专门晶化的腔体，加快了晶化速度，减少了晶化基板需要腔体的使用体积，降低了成本。
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1.一种真空晶化炉，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
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【技术特征摘要】
1.一种真空晶化炉，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
5.如权利要求4所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
6.如权利要求5所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
7.如权利要求6所述的一种真空晶化炉，其特征在于，
8.如权利要求7所述的一种真空晶化炉，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，磨建新，迟广财，李伟彬，龚晓龙，盛江，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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