【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片生产或烘干领域，具体涉及一种烘干装置。
技术介绍
1、在硅片制备过程中，切割分离的硅片外表面会残留硅泥、硅粉等杂质，需要清洗干净，常规采用插片花篮将硅片集中固定在一起清洗，在清洗结束后，硅片和插片花篮表面粘附有大量水渍，此时就需要对其表面水渍进行处理。
2、水渍去除的常规办法是将插片花篮和硅片一起进行静置沥干，如在独立的烘干车间静置沥干，或仅通过电加热管的热辐射进行烘干，这种方式存在耗时长，不利于产线高效生产，因此需要设计一种烘干槽结构以解决上述问题。
3、此外，现有的烘干箱，常采用合页式或滑轨插接式顶盖，下方热气从侧边翻折后直接撞击到顶盖的下表面，而常规下表面为板面、即平面，导致热气流单方向集中撞击顶盖下表面并单方向折返斜向下行流动，这导致对硅片表面的烘干不均匀。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种烘干装置，其能解决上述问题。
2、一种烘干装置，包括外箱体、内槽体、料篮托架组件、滑移盖板组件、加热组件和循环风机组件；内槽体与外围的外箱体间隔设置形成间隔腔，料篮托架组件设置在所述内槽体上，设有顶盖腔的滑移盖板组件横向滑动控制的设置在外箱体顶部，加热组件设置在间隔腔中，循环风机组件安装在外箱体上，由循环风机组件、间隔腔、顶盖腔、内槽容纳腔形成循环烘干流路。
3、可选的，所述烘干装置还包括过滤组件，所述过滤组件包括接碎滤网、槽底风口滤网和槽顶风口滤网，其中，所述接碎滤网、槽底风口滤网依
4、可选的，所述烘干装置还包括多个温度传感器，所述温度传感器的测头插入所述外箱体内部的间隔腔中。
5、可选的，所述烘干装置还包括冷风控温组件，所述冷风控温组件包括风冷管组和冷风风机，冷风风机进风口连接至风冷管组的进风口，冷风风机的出风口连通至间隔腔、顶盖腔或内槽容纳腔。
6、可选的，在所述内槽体的侧板中上部开设多个透气孔，所述透气孔连通所述间隔腔和内槽容纳腔。
7、可选的，所述滑移盖板组件包括盖板移框、上盖板、下盖板和盖板驱动组件，所述盖板移框由多个带有内导槽的槽轨组成，整体呈倒“凹”形的上盖板的下面设置所述下盖板，所述下盖板采用均匀的开设多个通风孔的漏网板，上盖板和下盖板之间形成顶盖腔；上盖板和下盖板作为整体被所述盖板驱动组件驱动的在盖板移框的槽轨内水平横向移动。
8、可选的，下盖板的侧边与所述上盖板的侧边折板下端设有间隔，由此形成顶盖腔的侧边出风口，在烘干装置的外箱体顶部被滑移盖板组件封盖时，顶盖腔的侧边出风口与间隔腔顶部出风口对应连通。
9、相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：本申请的烘干装置的热风从间隔腔进入顶盖腔后，经下盖板的多个通风孔将热风气流打匀垂直向下输出，提高了硅片的烘干效果，装置控温效果好，保证了烘干质量，便于在烘干或硅片清洗等领域推广应用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种烘干装置，包括外箱体(100)、内槽体(200)、料篮托架组件(300)、滑移盖板组件(400)、加热组件(500)和循环风机组件(600)；其特征在于：内槽体(200)与外围的外箱体(100)间隔设置形成间隔腔，料篮托架组件(300)设置在所述内槽体(200)上，设有顶盖腔的滑移盖板组件(400)横向滑动控制的设置在外箱体(100)顶部，加热组件(500)设置在间隔腔中，循环风机组件(600)安装在外箱体(100)上，由循环风机组件(600)、间隔腔、顶盖腔、内槽容纳腔形成循环烘干流路。
2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括过滤组件(700)，所述过滤组件包括接碎滤网(710)、槽底风口滤网(720)和槽顶风口滤网(730)，其中，所述接碎滤网(710)、槽底风口滤网(720)依次间隔的设置在内槽体(200)底壁上，所述槽顶风口滤网(730)设置在内槽体(200)与所述外箱体(100)的箱体顶边之间。
3.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括多个温度传感器(800)，所述温度传感器(800)的测
4.根据权利要求3所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括冷风控温组件，所述冷风控温组件包括风冷管组和冷风风机，冷风风机进风口连接至风冷管组的进风口，冷风风机的出风口连通至间隔腔、顶盖腔或内槽容纳腔。
5.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：在所述内槽体(200)的侧板中上部开设多个透气孔(210)，所述透气孔(210)连通所述间隔腔和内槽容纳腔。
6.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述滑移盖板组件(400)包括盖板移框(410)、上盖板(420)、下盖板(430)和盖板驱动组件(440)，所述盖板移框(410)由多个带有内导槽的槽轨组成，整体呈倒“凹”形的上盖板(420)的下面设置所述下盖板(430)，所述下盖板(430)采用均匀的开设多个通风孔的漏网板，上盖板(420)和下盖板(430)之间形成顶盖腔；上盖板(420)和下盖板(430)作为整体被所述盖板驱动组件(440)驱动的在盖板移框(410)的槽轨内水平横向移动。
7.根据权利要求6所述的烘干装置，其特征在于：所述下盖板(430)的侧边与所述上盖板(420)的侧边折板下端设有间隔，由此形成顶盖腔的侧边出风口，在烘干装置的外箱体(100)顶部被滑移盖板组件(400)封盖时，顶盖腔的侧边出风口与间隔腔顶部出风口对应连通。
...【技术特征摘要】
1.一种烘干装置，包括外箱体(100)、内槽体(200)、料篮托架组件(300)、滑移盖板组件(400)、加热组件(500)和循环风机组件(600)；其特征在于：内槽体(200)与外围的外箱体(100)间隔设置形成间隔腔，料篮托架组件(300)设置在所述内槽体(200)上，设有顶盖腔的滑移盖板组件(400)横向滑动控制的设置在外箱体(100)顶部，加热组件(500)设置在间隔腔中，循环风机组件(600)安装在外箱体(100)上，由循环风机组件(600)、间隔腔、顶盖腔、内槽容纳腔形成循环烘干流路。
2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括过滤组件(700)，所述过滤组件包括接碎滤网(710)、槽底风口滤网(720)和槽顶风口滤网(730)，其中，所述接碎滤网(710)、槽底风口滤网(720)依次间隔的设置在内槽体(200)底壁上，所述槽顶风口滤网(730)设置在内槽体(200)与所述外箱体(100)的箱体顶边之间。
3.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：所述烘干装置还包括多个温度传感器(800)，所述温度传感器(800)的测头插入所述外箱体(100)内部的间隔腔中。
4.根据权利要求3所述的烘干装置，其特征在于：所述烘...
【专利技术属性】
技术研发人员：王承平，赵梦宇，孙靖，徐伟锋，薛峰，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。