线性蒸发源以及蒸发镀膜机制造技术

提供一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机。线性蒸发源包括；保温壳，呈水平管状；主腔室外壳，呈水平管状，位于保温壳内，与保温壳形成收容腔室，内形成主腔室，在底部形成溢流道；冷却管，围绕主腔室外壳沿周向布置；初级过滤管，呈水平管状，位于主腔室外壳内，内部形成有初级腔室，与主腔室外壳形成二级腔室，二级腔室与初级腔室经由初级过滤管连通，二级腔室与溢流道连通；蒸发材料载盘，能沿水平方向可移动地置于初级腔室内；红外加热管，至少设在收容腔室和/或初级腔室中；支撑架，位于溢流道的下方，具有沿上下方向贯通的与溢流道连通的流道；喷嘴固定在支撑架下方，具有与流道连通的喷嘴流道；两端盖，能够可拆卸地组装于保温壳的轴向两端。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及镀膜领域，更具体地涉及一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机。

技术介绍

1、现有的线性蒸发源，例如，2022年8月16日授权公告的中国专利文献cn217202931u所公开地，都是采用坩埚加热，再用陶瓷隔热，蒸发材料从顶部(即线性蒸发源的与水平方向垂直的竖直方向)打开再投放，造成生产效率低，维护不方便。

2、cn217202931u所公开的多个坩埚沿水平方向间隔布置，加热的电极沿水平方向填充满相邻的坩埚之间的所有空间，加热的电极占有空间大，使得坩埚的数量或全部坩埚蒸发的总量受到限制，蒸发镀膜的均匀性差。

3、此外，在cn217202931u中，除了陶瓷(即陶瓷片)隔热外，还另设了第一保温单元、反射层、第二保温单元，这增加了线性蒸发源的体积，显得臃肿体积过大。

4、此外，在cn217202931u中，采用电极加热，电极加热的热效应低，整体能耗高。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机，其能够使蒸发材料的总量加大，进而提高蒸发镀膜的均匀性。

2、本公开的另一目的在于提供一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机，其能够减少线性蒸发源的部件和体积、成本以及重量。

3、本公开的再一目的在于提供一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机，其能够提高生产效率和维护的便利性。

4、本公开的又一目的在于提供一种线性蒸发源以及蒸发镀膜机，其能够提高热效应，降低了加热所需的整体能耗。

5、由此，提供一种线性蒸发源，线性蒸发源包括保温壳、主腔室外壳、冷却管、初级过滤管、蒸发材料载盘、红外加热管、支撑架、喷嘴、两端盖；保温壳呈水平管状，保温壳用于提供保温；主腔室外壳呈水平管状，主腔室外壳位于保温壳内并在径向上与保温壳间隔开，主腔室外壳与保温壳之间形成收容腔室，主腔室外壳内形成主腔室，主腔室外壳在其底部形成溢流道；冷却管围绕主腔室外壳沿周向布置，冷却管位于主腔室外壳的外周面上，冷却管在径向上与保温壳间隔开；初级过滤管呈水平管状，初级过滤管位于主腔室外壳内并与主腔室外壳在径向上间隔开，初级过滤管的内部形成有初级腔室，初级过滤管的外周面与主腔室外壳的内周面形成二级腔室，二级腔室与初级腔室经由初级过滤管连通，二级腔室与溢流道连通；蒸发材料载盘能够沿水平方向可移动地置于初级腔室内并受初级过滤管支撑，蒸发材料载盘用于承载蒸发材料；红外加热管至少设置在收容腔室和/或初级腔室中，红外加热管用于将蒸发材料加热并蒸发；支撑架位于溢流道的下方且固定在保温壳的底部中，支撑架具有沿上下方向贯通的与溢流道连通的流道；喷嘴固定在支撑架下方，喷嘴具有与流道连通的喷嘴流道；两端盖能够可拆卸地组装于保温壳的轴向两端，以在轴向两端封闭主腔室、收容腔室、初级腔室以及二级腔室。

6、一种蒸发镀膜机包括前述的线性蒸发源。

7、本公开的有益效果如下。

8、在本公开的线性蒸发源中，通过水平管状的保温壳、水平管状的主腔室外壳、水平管状的初级过滤管以及至少设置在收容腔室和/或初级腔室中的红外加热管，能够减小起加热作用的部件所占用的体积，使得蒸发材料载盘承载的蒸发材料的总量加大，进而提高蒸发镀膜的均匀性。

9、在本公开的线性蒸发源中，通过水平管状的保温壳提供的保温作用，与cn217202931u相比，能够减少线性蒸发源的部件和体积、成本以及重量。

10、在本公开的线性蒸发源中，通过两端盖能够可拆卸地组装于保温壳的轴向两端，在需要装入蒸发材料载盘时，只需打开其中一个端盖，将预先装好蒸发材料的蒸发材料载盘推入初级过滤管、再将该端盖关闭即可，这样，极大地提高了生产效率和维护的便利性。同样地，在组装和抽出初级过滤管时，只需打开其中一个端盖即可，极大地提高了组装效率以及维护和保养的便利性。

11、另外，与cn217202931u的电极加热相比，由于采用红外加热管，故提高了热效应，降低了加热所需的整体能耗。

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【技术保护点】

1.一种线性蒸发源，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的线性蒸发源，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

9.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，

10.一种蒸发镀膜机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的线性蒸发源(1000)。

【技术特征摘要】

1.一种线性蒸发源，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，

6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛二辉，邹福志，林循恩，孙永杰，
申请(专利权)人：江苏先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：