System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种真空电镀机制造技术_技高网

一种真空电镀机制造技术

技术编号:44265010 阅读:4 留言:0更新日期:2025-02-14 22:08
本发明专利技术公开了一种真空电镀机,包括两个主炉与一个副炉,主炉包括靶材架与多个放置架,靶材架包括两个导电立柱、多个电极、多个钨丝及多个承接件,两个导电立柱上的多个电极分别为阴极与阳极。在真空电镀时,两个电极通电到钨丝使钨丝发热,靶材受钨丝加热发生熔融,部分滴落的靶材液体被承接件接住,避免滴落到下方电极或衬板上发生火花四溅的现象。该真空电镀机通过设置承接件接住滴落的靶材液体,达到了防止靶材液体滴落四溅而烫伤机内设置的效果;设置两个主炉交替上料、与副炉合体进行真空电镀,可节约各批次电镀的衔接上料时间,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电镀机,特别涉及一种真空电镀机


技术介绍

1、真空电镀机,是用于对工件表面进行镀膜的装置,在镀膜过程中需要将靶材通过钨丝通电加热从固体变成液体,靶材会挥发并沉降到待电镀的工件表面,然后通过成膜过程形成薄膜。然而,在靶材从固态熔融成液态时,由于每条钨丝的发热不均,部分靶材液体会从上滴落下来,落到下方的电极或衬板上从而形成火花四溅的现象,最终烫伤机内设置。

2、可见,现有技术还有待改进和提高。


技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足之处,本专利技术的目的在于提供一种真空电镀机,旨在解决现有技术中靶材因钨丝发热不均而滴落飞溅烫伤机内设置的技术问题。

2、为了达到上述目的,本专利技术采取了以下技术方案:

3、一种真空电镀机,其中,包括:两个主炉与一个副炉,两个主炉分别铰接于副炉的两侧,两个主炉交替进行上料及与副炉合体进行电镀工作;主炉包括靶材架、多个放置架及驱动机构,靶材架设置于主炉的圆心位置并用于装夹与加热靶材,多个放置架围绕设置靶材架外侧并用于装夹待电镀的工件,驱动机构驱动连接多个放置架并驱动多个放置架同时转动;靶材架包括两个导电立柱、多个电极、多个钨丝及多个承接件,两个导电立柱平行设置,多个电极自上而下分别设置在两个导电立柱上,位于两个导电立柱上的多个电极分别为阴极与阳极,多个钨丝分别设置在多个电极上,每个钨丝的两端分别电连接于两个导电立柱上位于同一高度的两个电极,钨丝呈螺旋缠绕结构并用于缠绕加热靶材,多个承接件分别对应多个钨丝设置并位于钨丝的下方,多个承接件用于承接被加热熔融的靶材液体。

4、所述的真空电镀机,其中,位于同一导电立柱上的上下相邻的两个电极相互垂直朝向设置,位于不同的导电立柱上的同一高度上的两个电极相互平行设置。

5、所述的真空电镀机,其中,主炉包括半圆顶板、环形顶板、环形底板与圆形底板,半圆顶板固定连接于主炉的内顶壁,环形顶板转动设置于主炉的内顶部,环形底板转动设置于主炉的内底部,圆形底板设置于主炉的内底壁上并相对半圆顶板固定不动,两个导电立柱的上下两端分别连接于半圆顶板与圆形底板,多个放置架的上下两端分别转动连接于环形顶板与环形底板。

6、所述的真空电镀机,其中,主炉还包括多个连接柱,多个连接柱分别与多个放置架间隔设置,连接柱的上下两端分别连接于环形顶板与环形底板。

7、所述的真空电镀机,其中,放置架包括支撑柱、上安装架、下安装架及多个安装杆,支撑柱的上下两端分别转动连接于环形顶板与环形底板,上安装架固定安装于支撑柱的上端,下安装架固定安装于支撑柱的下端,多个安装杆与支撑柱平行设置且上下两端可拆卸连接于上安装架与下安装架,多个安装杆自上而下设置有多个用于装夹待电镀工件的安装部。

8、所述的真空电镀机,其中,上安装架与下安装架对应分别设置有多个安装孔,多个安装孔呈放射状阵列设置于支撑柱的四周,多个安装杆的上下两端分别可拆卸设置于上安装架与下安装架的多个安装孔内,下安装架的底部设置有支撑板,支撑板用于抵住安装杆的下端部。

9、所述的真空电镀机,其中,驱动机构包括电机、主动轮、主动轮及转动连接器,电机安装于主炉的底部并驱动连接主动轮,主动轮转动安装于主炉的内底部并啮合连接主动轮,主动轮固定连接于转动连接器,转动连接器转动安装于环形底板并固定连接于支撑柱的下端,主动轮的数量等于转动连接器的数量并与支撑柱的数量相等。

10、所述的真空电镀机,其中,承接件为碗碟形状,同一高度的两个承接件分别安装于一个电极的此端与另一个电极的彼端上。

11、所述的真空电镀机,其中,圆形底板的轴心设置轴承,轴承套设于主动轮的中心转动轴以使主动轮可相对圆形底板发生转动。

12、所述的真空电镀机,其中,圆形底板的上表面设置有与其同圆心的滑轨,环形底板的下表面设置有转动的滑轮,滑轮滑动容设于滑轨内。

13、有益效果:

14、本专利技术提供了一种真空电镀机,包括两个主炉与一个副炉,主炉包括靶材架与多个放置架,靶材架包括两个导电立柱、多个电极、多个钨丝及多个承接件,两个导电立柱上的多个电极分别为阴极与阳极。在真空电镀时,两个电极通电到钨丝使钨丝发热,靶材受钨丝加热发生熔融,部分滴落的靶材液体被承接件接住,避免滴落到下方电极或衬板上发生火花四溅的现象。该真空电镀机通过设置承接件接住滴落的靶材液体,达到了防止靶材液体滴落四溅而烫伤机内设置的效果;设置两个主炉交替上料、与副炉合体进行真空电镀,可节约各批次电镀的衔接上料时间,提高生产效率。

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【技术保护点】

1.一种真空电镀机,其特征在于,包括:两个主炉(1)与一个副炉(2),两个主炉(1)分别铰接于副炉(2)的两侧,两个主炉(1)交替进行上料及与副炉(2)合体进行电镀工作;主炉(1)包括靶材架(3)、多个放置架(4)及驱动机构(5),靶材架(3)设置于主炉(1)的圆心位置并用于装夹与加热靶材,多个放置架(4)围绕设置靶材架(3)外侧并用于装夹待电镀的工件,驱动机构(5)驱动连接多个放置架(4)并驱动多个放置架(4)同时转动;靶材架(3)包括两个导电立柱(31)、多个电极(32)、多个钨丝(33)及多个承接件(34),两个导电立柱(31)平行设置,多个电极(32)自上而下分别设置在两个导电立柱(31)上,位于两个导电立柱(31)上的多个电极(32)分别为阴极与阳极,多个钨丝(33)分别设置在多个电极(32)上,每个钨丝(33)的两端分别电连接于两个导电立柱(31)上位于同一高度的两个电极(32),钨丝(33)呈螺旋缠绕结构并用于缠绕加热靶材,多个承接件(34)分别对应多个钨丝(33)设置并位于钨丝(33)的下方,多个承接件(34)用于承接被加热熔融的靶材液体。

2.根据权利要求1所述的真空电镀机,其特征在于,位于同一导电立柱(31)上的上下相邻的两个电极(32)相互垂直朝向设置,位于不同的导电立柱(31)上的同一高度上的两个电极(32)相互平行设置。

3.根据权利要求1所述的真空电镀机,其特征在于,主炉(1)包括半圆顶板(11)、环形顶板(12)、环形底板(13)与圆形底板(14),半圆顶板(11)固定连接于主炉(1)的内顶壁,环形顶板(12)转动设置于主炉(1)的内顶部,环形底板(13)转动设置于主炉(1)的内底部,圆形底板(14)设置于主炉(1)的内底壁上并相对半圆顶板(11)固定不动,两个导电立柱(31)的上下两端分别连接于半圆顶板(11)与圆形底板(14),多个放置架(4)的上下两端分别转动连接于环形顶板(12)与环形底板(13)。

4.根据权利要求3所述的真空电镀机,其特征在于,主炉(1)还包括多个连接柱(15),多个连接柱(15)分别与多个放置架(4)间隔设置,连接柱(15)的上下两端分别连接于环形顶板(12)与环形底板(13)。

5.根据权利要求3所述的真空电镀机,其特征在于,放置架(4)包括支撑柱(41)、上安装架(42)、下安装架(43)及多个安装杆(44),支撑柱(41)的上下两端分别转动连接于环形顶板(12)与环形底板(13),上安装架(42)固定安装于支撑柱(41)的上端,下安装架(43)固定安装于支撑柱(41)的下端,多个安装杆(44)与支撑柱(41)平行设置且上下两端可拆卸连接于上安装架(42)与下安装架(43),多个安装杆(44)自上而下设置有多个用于装夹待电镀工件的安装部(441)。

6.根据权利要求5所述的真空电镀机,其特征在于,上安装架(42)与下安装架(43)对应分别设置有多个安装孔(431),多个安装孔(431)呈放射状阵列设置于支撑柱(41)的四周,多个安装杆(44)的上下两端分别可拆卸设置于上安装架(42)与下安装架(43)的多个安装孔(431)内,下安装架(43)的底部设置有支撑板(432),支撑板(432)用于抵住安装杆(44)的下端部。

7.根据权利要求6所述的真空电镀机,其特征在于,驱动机构(5)包括电机(51)、主动轮(52)、主动轮(53)及转动连接器(54),电机(51)安装于主炉(1)的底部并驱动连接主动轮(52),主动轮(52)转动安装于主炉(1)的内底部并啮合连接主动轮(53),主动轮(53)固定连接于转动连接器(54),转动连接器(54)转动安装于环形底板(13)并固定连接于支撑柱(41)的下端,主动轮(53)的数量等于转动连接器(54)的数量并与支撑柱(41)的数量相等。

8.根据权利要求1所述的真空电镀机,其特征在于,承接件(34)为碗碟形状,同一高度的两个承接件(34)分别安装于一个电极(32)的此端与另一个电极(32)的彼端上。

9.根据权利要求7所述的真空电镀机,其特征在于,圆形底板(14)的底部轴心处设置轴承,轴承套设于主动轮(52)的中心转动轴以使主动轮(52)可相对圆形底板(14)发生转动。

10.根据权利要求9所述的真空电镀机,其特征在于,圆形底板(14)的上表面设置有与其同圆心的滑轨(141),环形底板(13)的下表面设置有转动的滑轮(131),滑轮(131)滑动容设于滑轨(141)内。

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【技术特征摘要】

1.一种真空电镀机,其特征在于,包括:两个主炉(1)与一个副炉(2),两个主炉(1)分别铰接于副炉(2)的两侧,两个主炉(1)交替进行上料及与副炉(2)合体进行电镀工作;主炉(1)包括靶材架(3)、多个放置架(4)及驱动机构(5),靶材架(3)设置于主炉(1)的圆心位置并用于装夹与加热靶材,多个放置架(4)围绕设置靶材架(3)外侧并用于装夹待电镀的工件,驱动机构(5)驱动连接多个放置架(4)并驱动多个放置架(4)同时转动;靶材架(3)包括两个导电立柱(31)、多个电极(32)、多个钨丝(33)及多个承接件(34),两个导电立柱(31)平行设置,多个电极(32)自上而下分别设置在两个导电立柱(31)上,位于两个导电立柱(31)上的多个电极(32)分别为阴极与阳极,多个钨丝(33)分别设置在多个电极(32)上,每个钨丝(33)的两端分别电连接于两个导电立柱(31)上位于同一高度的两个电极(32),钨丝(33)呈螺旋缠绕结构并用于缠绕加热靶材,多个承接件(34)分别对应多个钨丝(33)设置并位于钨丝(33)的下方,多个承接件(34)用于承接被加热熔融的靶材液体。

2.根据权利要求1所述的真空电镀机,其特征在于,位于同一导电立柱(31)上的上下相邻的两个电极(32)相互垂直朝向设置,位于不同的导电立柱(31)上的同一高度上的两个电极(32)相互平行设置。

3.根据权利要求1所述的真空电镀机,其特征在于,主炉(1)包括半圆顶板(11)、环形顶板(12)、环形底板(13)与圆形底板(14),半圆顶板(11)固定连接于主炉(1)的内顶壁,环形顶板(12)转动设置于主炉(1)的内顶部,环形底板(13)转动设置于主炉(1)的内底部,圆形底板(14)设置于主炉(1)的内底壁上并相对半圆顶板(11)固定不动,两个导电立柱(31)的上下两端分别连接于半圆顶板(11)与圆形底板(14),多个放置架(4)的上下两端分别转动连接于环形顶板(12)与环形底板(13)。

4.根据权利要求3所述的真空电镀机,其特征在于,主炉(1)还包括多个连接柱(15),多个连接柱(15)分别与多个放置架(4)间隔设置,连接柱(15)的上下两端分别连接于环形顶板(12)与环形底板(13)。

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【专利技术属性】
技术研发人员:罗正德冯建樑
申请(专利权)人:佛山市山高峰包装材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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