【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种光源(例如，深紫外光源)的控制装置及方法。
技术介绍
1、光刻是在硅晶片等衬底上图案化半导体电路的过程。光源产生深紫外(duv)光，用于曝光晶片上的光致抗蚀剂。duv光可以包括例如约100纳米(nm)至约400nm的波长。通常，光源是激光源(例如，准分子激光器)，而duv光是脉冲激光束。来自光源的duv光与投影光学系统相互作用，投影光学系统将光束通过掩模投射到硅晶片上的光致抗蚀剂上。这样，芯片设计的一层就被图案化到光致抗蚀剂上。随后蚀刻和清洁光致抗蚀剂和晶片，然后根据需要重复光刻过程。
技术实现思路
1、以下简要概述了一个或多个实施例，以便提供对实施例的基本理解。本概述并非对所有预期实施例的详尽概述。它并非旨在将实施例的任何元素标识为关键或关键元素，也不旨在界定任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简洁的形式介绍一个或多个实施例的一些概念，作为稍后介绍的更详细描述的序言。
2、根据实施例的一个方面，公开了一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，激光器具有激光室，方法包括在最近的空闲时间段之前，至少部分地基于激光室的发射计数确定空闲持续时间触发阈值，并且至少部分地基于最近的空闲时间段的持续时间是否超过空闲持续时间触发阈值来确定是否在最近的空闲时间段之后执行冷启动调节。
3、至少部分地基于发射计数来确定空闲持续时间触发阈值可以包括至少部分地基于发射计数和在较早空闲时间段之后由激光器发射的光束的测量能量来确定空闲持续时
4、根据实施例的另一个方面，公开了一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，该激光器具有激光室，该方法包括进行腔室年龄确定，即，腔室的发射计数是否小于第一预定发射计数，并且如果腔室的发射计数小于第一预定发射计数，则将空闲持续时间触发阈值设置为默认空闲持续时间触发阈值。如果腔室年龄确定为否定的，则通过记录较早空闲时间段的持续时间、评估较早空闲时间段的冷启动之后离开激光器的激光束的能量来确定光束能量，并且如果光束能量超过阈值量，则至少部分地基于较早空闲时间段的持续时间和光束能量来设置空闲持续时间触发阈值。如果光束能量确定结果为否定的，则根据该腔室的发射计数是否超过预定的触发发射计数阈值来确定发射计数，并且，如果空闲持续时间超过计划的可调空闲持续时间触发阈值，则将空闲持续时间触发阈值设置为等于可调空闲持续时间触发阈值，并且至少部分地根据最近空闲时间段的持续时间是否超过空闲持续时间触发阈值来决定执行冷启动调节。
5、进行光束能量确定还可包括修改可调空闲持续时间触发阈值。冷启动调节可包括激发预定数目的无效脉冲。
6、根据实施例的另一个方面，公开了一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，该激光器具有激光室，该方法包括：进行第一确定，即腔室的年龄是否小于预定年龄，并且最近空闲时间段的持续时间是否超过默认空闲持续时间触发阈值，如果第一确定为肯定的，则执行冷启动调节。如果第一确定为否定的，则该方法包括：进行第二确定，即最近空闲时间段的持续时间是否超过当时的空闲持续时间触发阈值，并且较早的空闲时间段期间离开激光器的激光束的能量是否小于光束能量触发阈值，如果第二确定为肯定的，则执行冷启动调节。如果第二确定为否定的，则该方法包括：进行第三确定，即腔室的发射计数是否超过发射计数触发阈值，并且最近空闲时间段的持续时间是否超过可调空闲持续时间触发阈值，如果第三确定为肯定的，则执行冷启动调节。
7、如果最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在较早的空闲时间段期间离开激光器的激光束的能量小于光束能量触发阈值，则确定执行冷启动调节还可以包括将空闲持续时间触发阈值设置为等于最近的空闲时间段的持续时间。
8、如果最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在较早的空闲时间段期间离开激光器的激光束的能量小于光束能量触发阈值，则确定执行冷启动调节还可以包括修改可调空闲持续时间触发阈值。
9、冷启动调节可以包括激发预定数目的无效脉冲。
10、根据实施例的另一个方面，公开了一种用于确定在空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的系统，激光器具有激光室，系统包括：发射计数监测器，适于监测由激光室发射的发射计数；空闲时间段持续时间监测器，适于监测和记录激光器空闲时的空闲时间段的相应持续时间；光束能量监测器，适于监测激光器发射的激光辐射束的能量；以及控制器，其响应地连接到发射计数监测器、空闲时间段持续时间监测器和光束能量监测器，并且适于基于以下至少一项来确定是否执行冷启动调节：发射计数是否低于第一预定发射计数(表明室是新的还是已被更换)、发射计数是否高于第二预定发射计数、激光器最近空闲的时间段的持续时间、以及激光器在较早空闲时间段之后发射的激光辐射束的能量。
11、冷启动调节可以包括激发预定数目的无效脉冲。
12、控制器可适于通过比较空闲时间段持续时间和空闲持续时间触发阈值来确定是否执行冷启动调节，空闲持续时间触发阈值基于以下至少一项：发射计数是否低于第一预定发射计数(表明腔室是新的还是已被更换)、发射计数是否高于第二预定发射计数、激光器最近空闲的时间段持续时间、以及激光器在较早的空闲时间段之后发射的激光辐束的能量。
13、控制器可以适于通过根据腔室年龄确定腔室的发射计数是否小于第一预定发射计数来确定空闲持续时间触发阈值，并且如果腔室的发射计数小于第一预定发射计数，则将空闲持续时间触发阈值设置为默认空闲持续时间触发阈值。
14、控制器可适于通过记录较早的空闲时间段的持续时间来确定光束能量，评估较早的空闲时间段的冷启动之后离开激光器的激光束的能量，并且如果光束能量超过阈值量，则至少部分地基于较早的空闲时间段的持续时间和光束能量来设置空闲持续时间触发阈值。
15、控制器可以适于通过发射计数确定来确定空闲持续时间触发阈值，该发射计数确定通过基于腔室的发射计数是否超过预定的触发发射计数阈值来进行，并且如果空闲持续时间超过预计划的可调空闲持续时间触发阈值，则将空闲持续时间触发阈值设置为等于可调空闲持续时间触发阈值。
16、下面将参考附图详细描述实施例的进一步特征和示例性方面以及各种实施例的结构和操作。需要注意的是，所有可能实施例的范围不限于本文所述的特定实施例。本文仅出于说明目的而呈现此类特定实施例。基于本文所包含的教导，相关领域的技术人员将明白其他实施例。
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1.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中至少部分地基于所述发射计数来确定空闲持续时间触发阈值包括：至少部分地基于所述发射计数和在较早的空闲时间段之后由所述激光器发射的所述光束的测量能量来确定空闲持续时间触发阈值。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
4.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其中进行光束能量确定还包括修改所述可调空闲持续时间触发阈值。
6.根据权利要求4所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
7.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在所述较早的空
9.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在较早的空闲时间段期间离开所述激光器的激光束的能量小于光束能量触发阈值，则确定执行冷启动调节还包括：修改所述可调空闲持续时间触发阈值。
10.根据权利要求7所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
11.一种用于确定在空闲时间段后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的系统，所述激光器具有激光室，所述系统包括：
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
13.根据权利要求11所述的系统，其中所述控制器适于通过比较所述空闲时间段持续时间和空闲持续时间触发阈值来确定是否执行冷启动调节，所述空闲持续时间触发阈值基于以下中的至少一项：
14.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过进行所述腔室的发射计数是否小于第一预定发射计数的所述腔室年龄确定来确定所述空闲持续时间触发阈值，并且如果所述腔室的所述发射计数小于所述第一预定发射计数，则将空闲持续时间触发阈值设置为默认空闲持续时间触发阈值。
15.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过进行光束能量确定来确定所述空闲持续时间触发阈值，所述光束能量确定通过记录较早的空闲时间段的持续时间、评估在来自所述较早的空闲时间段的冷启动之后离开所述激光器的激光束的能量来进行，并且如果所述光束能量超过阈值量，则至少部分地基于所述较早的空闲时间段的持续时间和所述光束能量来设置所述空闲持续时间触发阈值。
16.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过基于所述腔室的发射计数是否超过预定的触发发射计数阈值来进行发射计数确定，而确定所述空闲持续时间触发阈值，并且如果空闲持续时间超过预计划的可调空闲持续时间触发阈值，则将所述空闲持续时间触发阈值设置为等于可调空闲持续时间触发阈值。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中至少部分地基于所述发射计数来确定空闲持续时间触发阈值包括：至少部分地基于所述发射计数和在较早的空闲时间段之后由所述激光器发射的所述光束的测量能量来确定空闲持续时间触发阈值。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
4.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其中进行光束能量确定还包括修改所述可调空闲持续时间触发阈值。
6.根据权利要求4所述的方法，其中所述冷启动调节包括激发预定数目的无效脉冲。
7.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，所述激光器具有激光室，所述方法包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在所述较早的空闲时间段期间离开所述激光器的激光束的能量小于光束能量触发阈值，则确定执行冷启动调节还包括：将所述空闲持续时间触发阈值设置为等于所述最近的空闲时间段的所述持续时间。
9.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲持续时间触发阈值，并且在较早的空闲时间段期间离开所述激光器的激光束的能量小于光束能量触发阈值，则确定执行冷启动调节还包括：修改所述可调空闲持续时间触发阈值。
10.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·R·威廉姆斯，M·T·莫赫比，
申请(专利权)人：西默有限公司，
类型：发明
国别省市：
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