【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及缺陷减轻，且更特定来说，涉及一种用于使用数据分析进行缺陷减轻的系统及方法。
技术介绍
1、随着对于具有越来越小的装置特征的电子电路的需求继续增加，对于用于印刷电路板(pcb)的经改进缺陷减轻技术的需要继续增长。当前印刷电路板缺陷减轻技术利用缺陷数据来调整先前pcb制造工艺/工具的一或多个特性。然而，一或多个下游工艺/工具可能受缺陷影响且可能导致额外缺陷的产生。例如，在pcb的制造期间，显影溶液的污染可能导致额外缺陷的产生，这是因为光敏材料可渗入电路的通孔/沟槽内。因而，提供补救上文识别的方法的缺点的系统及方法将为有利的。
技术实现思路
1、根据本公开的一或多个实施例，公开一种系统。在实施例中，所述系统包含经配置以执行一或多个样本的检验以产生所述一或多个样本的一或多个缺陷的缺陷数据的特性化子系统。在实施例中，所述系统进一步包含通信地耦合到所述特性化子系统的一或多个控制器，所述一或多个控制器包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，所述一组程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：接收来自所述特性化子系统的所述缺陷数据，所述缺陷数据包含缺陷位置、缺陷大小、缺陷形状或所述一或多个样本的所述缺陷与组件之间的关系中的一者；基于所述经接收缺陷数据及一或多个预定阈值将所述一或多个缺陷中的至少一个缺陷识别为不合格缺陷；在将所述缺陷识别为不合格缺陷时，产生工具可读索引，所述经产生工具可读索引经配置以引起一或多个下游制造工具基于所述经产生工具可读索引调整对应于所述
2、根据本公开的一或多个实施例，公开一种系统。在实施例中，所述系统包含通信地耦合到所述特性化子系统的一或多个控制器，所述一或多个控制器包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，所述一组程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：接收来自所述特性化子系统的缺陷数据，所述缺陷数据包含缺陷位置、缺陷大小、缺陷形状或一或多个样本的缺陷与组件之间的关系中的一者；基于所述经接收缺陷数据及一或多个预定阈值将所述一或多个缺陷中的至少一个缺陷识别为不合格缺陷；在将所述缺陷识别为不合格缺陷时，产生工具可读索引，所述经产生工具可读索引经配置以引起一或多个下游制造工具基于所述经产生工具可读索引调整对应于所述不合格缺陷的一或多个下游制造步骤；及向所述一或多个下游制造工具提供所述经产生工具可读索引。
3、根据本公开的一或多个实施例，公开一种方法。在实施例中，所述方法包含接收来自特性化子系统的一或多个样本的一或多个缺陷的缺陷数据，所述缺陷数据包含缺陷位置、缺陷大小、缺陷形状或所述一或多个样本的所述缺陷与组件之间的关系中的一者。在实施例中，所述方法包含基于所述经接收缺陷数据及一或多个预定阈值将所述一或多个缺陷中的至少一个缺陷识别为不合格缺陷。在实施例中，在将所述缺陷识别为不合格缺陷时，所述方法包含产生工具可读索引，所述经产生工具可读索引经配置以引起一或多个下游制造工具基于所述经产生工具可读索引调整对应于所述不合格缺陷的一或多个下游制造步骤。在实施例中，所述方法包含向所述一或多个下游制造工具提供所述经产生工具可读索引。
4、应理解，前文一般描述及下文具体实施方式两者仅为示范性的且说明性的，且不一定限制如所主张的本专利技术。并入于本说明书中且构成本说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且与一般描述一起用于说明本专利技术的原理。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种系统，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述工具可读索引包含经配置以由所述一或多个下游制造工具解码的标识符。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述标识符包含条形码。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个下游制造工具包含以下中的至少一者：
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述向所述一或多个下游制造工具提供所述经产生工具可读索引包括：
6.根据权利要求5所述的系统，其中所述一或多个通信协议包含一或多个曝光文件，其中经产生的一或多个曝光文件包含完全曝光区域及空曝光区域。
7.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个预定阈值包含一或多个用户定义的阈值。
8.根据权利要求7所述的系统，其中所述一或多个用户定义的阈值包含以下中的至少一者：
9.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个样本包含一或多个印刷电路板。
10.根据权利要求9所述的系统，其中所述一或多个印刷电路板在面板上布置成一或多个阵列。
11.根据权利要求1所述的系统，其
12.根据权利要求11所述的系统，其中所述检验子系统包含自动化光学检验子系统。
13.一种系统，所述系统包括：
14.根据权利要求13所述的系统，其中所述工具可读索引包含经配置以由所述一或多个下游制造工具解码的标识符。
15.根据权利要求13所述的系统，其中所述下游制造工具包含以下中的至少一者：
16.根据权利要求15所述的系统，其中所述向所述一或多个下游制造工具提供所述经产生工具可读索引包括：
17.根据权利要求13所述的系统，其中所述一或多个预定阈值包含一或多个用户定义的阈值。
18.根据权利要求17所述的系统，其中所述一或多个用户定义的阈值包含以下中的至少一者：
19.根据权利要求13所述的系统，其中所述一或多个样本包含在面板上布置成一或多个阵列的一或多个印刷电路板。
20.一种方法，所述方法包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种系统，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述工具可读索引包含经配置以由所述一或多个下游制造工具解码的标识符。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述标识符包含条形码。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个下游制造工具包含以下中的至少一者：
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述向所述一或多个下游制造工具提供所述经产生工具可读索引包括：
6.根据权利要求5所述的系统，其中所述一或多个通信协议包含一或多个曝光文件，其中经产生的一或多个曝光文件包含完全曝光区域及空曝光区域。
7.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个预定阈值包含一或多个用户定义的阈值。
8.根据权利要求7所述的系统，其中所述一或多个用户定义的阈值包含以下中的至少一者：
9.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个样本包含一或多个印刷电路板。
10.根据权利要求9所述的系统，其中所述一或多个印刷电路板在面板上...
【专利技术属性】
技术研发人员：N·什帕伊斯曼，B·库珀尔施泰因，
申请(专利权)人：奥宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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