【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光栅，特别是涉及一种激光器及其制备方法。
技术介绍
1、分布式反馈激光器（distributed feedback laser，dfb）主要用于提供高单色性和高边模抑制比的光输出，已经广泛应用于光纤通信系统。
2、为了使得激光器提供更精确、更稳定的激光束，需要提升dfb的单模良率。但是，相关技术中，dfb中内设均匀光栅，这使得dfb存在两个激射阈值相同的纵模，这使得dfb难以控制某一个纵模优先激射，进而不利于提升dfb的单模良率。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有技术中的激光器单模良率提升困难问题提供一种激光器及其制备方法。
2、为了实现上述目的，一方面，提供了一种激光器，包括：
3、衬底；
4、光栅层，位于所述衬底的一侧，包括多个交替设置且折射率不同的第一折射部和第二折射部，所述光栅层具有第一光栅区和第二光栅区，所述第二光栅区不对称地设置于所述第一光栅区的两侧，所述第一光栅区内的所述第一折射部和所述第二折射部形成的周期为第一周期，所述第二光栅区内的所述第一折射部和所述第二折射部形成的周期为第二周期，所述第一周期不等于所述第二周期。
5、在其中一个实施例中，在第一方向上，位于所述第一光栅区内的第一折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第一折射部的长度不同，和/或，位于所述第一光栅区内的第二折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第二折射部的长度不同，所述第一方向为第一折射部和第二折射部的排布方向。
7、在其中一个实施例中，在第一方向上，所述第一光栅区的具有第一长度，所述第一周期与所述第一长度满足：
8、p=lp/λ-lp/λ0=0.5±n，其中，p为所述光栅层的目标相位，lp为所述第一长度，λ为所述第一周期，λ0为所述第二周期，n为0或者正整数。
9、在其中一个实施例中，n大于等于1。
10、在其中一个实施例中，所述第二光栅区具有第二长度，所述第一长度与所述第二长度之和为所述光栅层的长度，所述第一长度与所述光栅层的长度的比值在0.1-0.3的范围内。
11、在其中一个实施例中，所述第一折射部和所述第二折射部的掺杂类型相同。
12、在其中一个实施例中，所述第一折射部的折射率低于所述第二折射部的折射率，第一折射部的材料包括inp，所述第二折射部的材料包括p-ingaasp。
13、一方面，提供一种激光器的制备方法，包括：
14、提供衬底；
15、于所述衬底的一侧形成光栅层，所述光栅层包括多个交替设置且折射率不同的第一折射部和第二折射部，所述光栅层具有第一光栅区和第二光栅区，所述第二光栅区不对称地设置于所述第一光栅区的两侧，所述第一光栅区内的所述第一折射部和所述第二折射部形成的周期为第一周期，所述第二光栅区内的所述第一折射部和所述第二折射部形成的周期为第二周期，所述第一周期不等于所述第二周期。
16、在其中一个实施例中，所述于所述衬底的一侧形成光栅层，包括：
17、于所述衬底的一侧形成光栅材料层；
18、图形化所述光栅材料层，形成多个沟槽，所述沟槽两侧形成所述第一折射部；
19、填充所述沟槽，形成所述第二折射部。
20、本申请的激光器及其制备方法具有如下有益效果：首先，申请设置第二光栅区不对称地设置于第一光栅区的两侧，从而使得纵模在光栅层中的传播特性和相位分布发生差异。这种差异使得光栅中可以传播的纵模在反射、透射等光学特性上发生改变。此时，现有技术中等效的两个纵模频率中心处产生一个可稳定传输的纵模，且具备非常强的反馈作用，从而降低了其激射阈值，而现有技术中的两个纵模则因为反馈作用的减弱而难以激射。由此，本申请的激光器增强了激光器单模良率。其次，本申请中，还设置第一光栅区内均设有多个交替设置且折射率不同的第一折射部和第二折射部，从而分散了第一光栅区内的光强，使得第一光栅区内不会出现尖峰，进而降低了第一光栅区内产生空间烧孔现象的可能性。最后，本申请可以通过灵活调整第一长度、第一周期以及第二周期，从而可以将光栅层的目标相位p目标值设置为1.5、2.5、3.5……，进而降低了第一光栅区和第二光栅区的制备难度，在上述基础上将p范围值设置为1.5±0.1、2.5±0.1，3.5±0.1等，在二次刻蚀对准时，本实施例增加了在第一光栅区和第二光栅区界面处产生的对准误差的容错率，降低了相位偏移的概率。
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1.一种激光器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，在第一方向上，位于所述第一光栅区内的第一折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第一折射部的长度不同，和/或，位于所述第一光栅区内的第二折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第二折射部的长度不同，所述第一方向为第一折射部和第二折射部的排布方向。
3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，位于所述第一光栅区内的第一折射部的长度大于位于所述第二光栅区内的第一折射部的长度，和/或，位于所述第一光栅区内的第二折射部的长度大于位于所述第二光栅区内的第二折射部的长度。
4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，在第一方向上，所述第一光栅区具有第一长度，所述第一周期与所述第一长度满足：
5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，n大于等于1。
6.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述第二光栅区具有第二长度，所述第一长度与所述第二长度之和为所述光栅层的长度，所述第一长度与所述光栅层的长度的比值在0.1-0.3的范围内。
7.根据权利要求1
8.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一折射部的折射率低于所述第二折射部的折射率，第一折射部的材料包括InP，所述第二折射部的材料包括P-InGaAsP。
9.一种激光器的制备方法，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的激光器的制备方法，其特征在于，所述于所述衬底的一侧形成光栅层，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种激光器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，在第一方向上，位于所述第一光栅区内的第一折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第一折射部的长度不同，和/或，位于所述第一光栅区内的第二折射部的长度与位于所述第二光栅区内的第二折射部的长度不同，所述第一方向为第一折射部和第二折射部的排布方向。
3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，位于所述第一光栅区内的第一折射部的长度大于位于所述第二光栅区内的第一折射部的长度，和/或，位于所述第一光栅区内的第二折射部的长度大于位于所述第二光栅区内的第二折射部的长度。
4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，在第一方向上，所述第一光栅区具有第一长度，所述第一周期与所述第一长度满足：
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【专利技术属性】
技术研发人员：王欢，刘冬，王晓伟，杨科，
申请(专利权)人：常州纵慧芯光半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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