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一种基板牵引装置和涂布设备制造方法及图纸

技术编号:44251748 阅读:7 留言:0更新日期:2025-02-11 13:48
本发明专利技术公开了一种基板牵引装置和涂布设备,基板牵引装置设置于基板的左右两侧中的至少一侧,基板牵引装置包括:滑块、吸附组件和浮动组件。浮动组件设置于滑块,浮动组件包括支架和第一驱动机构,吸附组件设置于支架,第一驱动机构用于驱动支架并带动吸附组件在竖直方向上移动。其中,当吸盘吸附于基板的边缘时后,第一驱动机构在竖直方向上施加的力能够始终保持在预设范围内,当基板在竖直方向的位置发生变化,第一驱动机构能够驱动吸附组件对应的在竖直方向上移动,以避免基板受到外力影响而变形。吸盘与基板的相对位置能够保持不变,避免了基板受到外力影响而发生变形,确保了基板表面保持平整,同时基板牵引装置的结构简单,移动负载减小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涂布设备,尤其涉及一种基板牵引装置和涂布设备


技术介绍

1、在涂布行业中,对大尺寸基板进行涂布时会采用气浮平台作为涂布平台,通常涂布平台包括上料区域、涂布区域和下料区域。基板的边缘位置凸出于涂布平台,通过基板牵引装置吸附基板的边缘位置并带动基板依次通过上料区域、涂布区域和下料区域。由于涂布区域的精度高,导致涂布区域的造价成本高。为了降低涂布区域的造价成本,在涂布方向上,涂布区域的长度小于基板的长度,这样导致当基板位于涂布区域时,部分基板也会同时位于上料区域或下料区域。由于上料区域、涂布区域和下料区域的工作原理不同,三个区域作用到基板上的力的不同,导致基板位于涂布区域时的高度与位于上料区域或下料区域时的高度不同,即存在高度差。

2、在现有技术中,基板牵引装置采用精密电动滑台,精密电动滑台将基板始终保持在同一个高度,来减小不同区对基板的影响。然而,由于基板两边被吸附保持在同一个高度,当基板高于涂布平台时,在重力作用下基板表面会呈凹陷状,当基板低于涂布平台时,涂布平台会将基板顶起使得基板表面呈拱起状,如此会导致涂布不均匀,从而影响涂布质量。

3、因此,现有的基板牵引装置亟需改进。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种基板牵引装置和涂布设备,当基板位于不同区域时,吸盘与基板的相对位置能够保持不变,避免了基板受到外力影响而发生变形,确保了基板表面保持平整,从而确保了涂布的均匀性,提高了涂布质量,同时基板牵引装置的结构简单,移动负载减小,不易损坏,便于进行调试,降低了使用和维护成本。

2、本专利技术的目的采用以下技术方案实现:

3、一种基板牵引装置,所述基板牵引装置设置于基板在涂布方向上的左右两侧中的至少一侧,所述基板牵引装置用于将所述基板从上料区域依次移动至涂布区域和下料区域,所述基板牵引装置包括:

4、滑块,所述滑块能够沿涂布方向进行移动;

5、吸附组件,所述吸附组件包括吸盘,所述吸盘靠近所述基板的边缘设置,所述吸盘用于吸附所述基板的边缘;

6、浮动组件,所述浮动组件设置于所述滑块,所述浮动组件包括支架和第一驱动机构,所述吸附组件设置于所述支架,所述支架能够带动所述吸附组件随所述滑块沿涂布方向进行移动,所述第一驱动机构与所述支架连接,所述第一驱动机构用于驱动所述支架并带动所述吸附组件在竖直方向上移动;

7、其中,当所述吸盘吸附于所述基板的边缘后,所述第一驱动机构在竖直方向上施加的力能够始终保持在预设范围内,当所述基板在竖直方向的位置发生变化,所述第一驱动机构能够驱动所述吸附组件对应的在竖直方向上移动,以避免所述基板受到外力影响而变形。

8、优选地,当所述基板的位置升高,所述第一驱动机构驱动所述吸附组件同步升高,以避免所述基板受到外力影响而变形;

9、当所述基板的位置下降时,所述第一驱动机构驱动所述吸附组件同步下降,以避免所述基板受到外力影响而变形。

10、优选地,还包括平衡组件,所述平衡组件包括平衡机构和连接板,所述平衡机构通过所述连接板与所述支架连接并能够对所述支架施加背向重力方向的作用力。

11、优选地,所述平衡机构包括气缸和与所述气缸连接的调压阀,所述气缸通过浮动接头与所述支架连接,所述调压阀用于控制所述气缸对所述支架施加背向重力方向的作用力的大小;或者,

12、所述平衡机构包括拉簧,所述拉簧通过所述连接板与所述支架连接并能够对所述支架施加背向重力方向的作用力。

13、优选地,还包括测量机构,所述测量机构设置于所述滑块,所述测量机构用于检测所述浮动组件在竖直方向上的位置;

14、所述第一驱动机构具有位置模式和力控模式,当所述吸附组件位于所述基板下方时,第一驱动组件处于位置模式,所述第一驱动组件驱动所述吸附组件上升,当所述吸附组件上升至预设位置时,所述第一驱动组件处于力控模式,所述吸盘吸附于所述基板的下方,并且所述第一驱动机构在竖直方向上施加的力能够始终保持在预设范围内。

15、优选地,所述浮动组件还包括第一导轨,所述第一导轨沿竖直方向延伸,所述第一导轨与所述滑块固定连接,所述支架与所述第一导轨滑动连接;或者,

16、所述第一导轨与所述支架固定连接,所述滑块与所述第一导轨滑动连接。

17、优选地,所述吸附组件还包括基准条,所述吸盘设置于所述基准条,所述基准条设置于所述支架。

18、优选地,所述支架上具有相对设置的第一切口和第二切口,所述第一切口和所述第二切口均沿水平方向延伸,所述基准条靠近所述第二切口设置,所述第一切口处设置有用于调节所述第一切口和所述第二切口的开口大小的第一调平组件,所述第一调平组件用于调节所述基准条在垂直于涂布方向的两侧的高度;

19、至少靠近所述基准条在涂布方向的两端设置有第二调平组件,所述第二调平组件包括设置于所述基准条下方的固定块和第三调节件,所述固定块与所述支架连接,所述第三调节件与所述固定块连接,所述第三调节件的一端抵接于所述基准条,通过调节所述第三调节件以调节所述基准条在涂布方向的两端的高度。

20、优选地,所述第一调平组件包括第一调节件和第二调节件,所述第一调节件同时连接所述第一切口两侧的支架,通过调节所述第一调节件能够使所述第一切口两侧的支架相互靠近并使所述第二切口的开口变大;

21、所述第二调节件与所述第一切口其中一侧的支架连接,所述第二调节件的一端抵接于所述第一切口另一侧的支架,通过调节所述第二调节件能够使所述第一切口两侧的支架相互远离并使所述第二切口的开口变小。

22、一种涂布设备,包括如所述任意一项所述的基板牵引装置、涂布平台、第二导轨和第二驱动机构,所述涂布平台包括供基板依次通过的上料区域、涂布区域和下料区域,所述第二导轨沿涂布方向延伸,所述第二驱动机构用于驱动所述基板牵引装置沿所述第二导轨在涂布方向上来回移动,所述基板牵引装置用于吸附所述基板的边缘并沿所述第二导轨将所述基板从所述上料区域依次移动至所述涂布区域和所述下料区域。

23、与现有技术相比,本专利技术的有益效果至少包括:

24、本专利技术的基板牵引装置和涂布设备,由于基板分别位于上料区域、涂布区域和下料区域时存在高度差,通过将吸附组件设置于浮动组件,由于第一驱动机构在竖直方向上施加的力能够始终保持在预设范围内,当基板牵引装置将基板移动至不同区域而导致基板在竖直方向的位置发生变化时,基板对吸附组件产生向上的拉力或向下的压力,从而导致第一驱动机构在竖直方向上施加的力发生变化,第一驱动机构可以根据在竖直方向的力的变化,来驱动吸附组件对应的在竖直方向上移动,确保了吸盘与基板的相对位置保持不变,避免了基板受到外力影响而发生变形,确保了基板表面保持平整,从而确保涂布的均匀性,提高了涂布质量,同时与精密电动滑台相比,本申请的基板牵引装置的结构简单,移动负载减小,不易损坏,便于进行调试,降低了使用和维护成本。

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【技术保护点】

1.一种基板牵引装置,其特征在于,所述基板牵引装置设置于基板在涂布方向上的左右两侧中的至少一侧,所述基板牵引装置用于将所述基板从上料区域依次移动至涂布区域和下料区域,所述基板牵引装置包括:

2.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,当所述基板的位置升高,所述第一驱动机构驱动所述吸附组件同步升高,以避免所述基板受到外力影响而变形;

3.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,还包括平衡组件,所述平衡组件包括平衡机构和连接板,所述平衡机构通过所述连接板与所述支架连接并能够对所述支架施加背向重力方向的作用力。

4.根据权利要求3所述的基板牵引装置,其特征在于,所述平衡机构包括气缸和与所述气缸连接的调压阀,所述气缸通过浮动接头与所述支架连接,所述调压阀用于控制所述气缸对所述支架施加背向重力方向的作用力的大小;或者,

5.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,还包括测量机构,所述测量机构设置于所述滑块,所述测量机构用于检测所述浮动组件在竖直方向上的位置;

6.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,所述浮动组件还包括第一导轨,所述第一导轨沿竖直方向延伸,所述第一导轨与所述滑块固定连接,所述支架与所述第一导轨滑动连接;或者,

7.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,所述吸附组件还包括基准条,所述吸盘设置于所述基准条,所述基准条设置于所述支架。

8.根据权利要求7所述的基板牵引装置,其特征在于,所述支架上具有相对设置的第一切口和第二切口,所述第一切口和所述第二切口均沿水平方向延伸,所述基准条靠近所述第二切口设置,所述第一切口处设置有用于调节所述第一切口和所述第二切口的开口大小的第一调平组件,所述第一调平组件用于调节所述基准条在垂直于涂布方向的两侧的高度;

9.根据权利要求8所述的基板牵引装置,其特征在于,所述第一调平组件包括第一调节件和第二调节件,所述第一调节件同时连接所述第一切口两侧的支架,通过调节所述第一调节件能够使所述第一切口两侧的支架相互靠近并使所述第二切口的开口变大;

10.一种涂布设备,包括如权利要求1-9中任意一项所述的基板牵引装置、涂布平台、第二导轨和第二驱动机构,所述涂布平台包括供基板依次通过的上料区域、涂布区域和下料区域,所述第二导轨沿涂布方向延伸,所述第二驱动机构用于驱动所述基板牵引装置沿所述第二导轨在涂布方向上来回移动,所述基板牵引装置用于吸附所述基板的边缘并沿所述第二导轨将所述基板从所述上料区域依次移动至所述涂布区域和所述下料区域。

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【技术特征摘要】

1.一种基板牵引装置,其特征在于,所述基板牵引装置设置于基板在涂布方向上的左右两侧中的至少一侧,所述基板牵引装置用于将所述基板从上料区域依次移动至涂布区域和下料区域,所述基板牵引装置包括:

2.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,当所述基板的位置升高,所述第一驱动机构驱动所述吸附组件同步升高,以避免所述基板受到外力影响而变形;

3.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,还包括平衡组件,所述平衡组件包括平衡机构和连接板,所述平衡机构通过所述连接板与所述支架连接并能够对所述支架施加背向重力方向的作用力。

4.根据权利要求3所述的基板牵引装置,其特征在于,所述平衡机构包括气缸和与所述气缸连接的调压阀,所述气缸通过浮动接头与所述支架连接,所述调压阀用于控制所述气缸对所述支架施加背向重力方向的作用力的大小;或者,

5.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,还包括测量机构,所述测量机构设置于所述滑块,所述测量机构用于检测所述浮动组件在竖直方向上的位置;

6.根据权利要求1所述的基板牵引装置,其特征在于,所述浮动组件还包括第一导轨,所述第一导轨沿竖直方向延伸,所述第一导轨与所述滑块固定连接,所述支架与所述第一导轨滑动连接;或者...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:德沪涂膜设备苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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