【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检验检测，具体而言，涉及一种内表面完整性检测装置及氮化镓反应炉完整性检测系统。
技术介绍
1、在工业生产过程中，对于可重复使用的物件，在每次使用完毕后，都需要对其进行充分清洁，以用于下一次的使用。其中，对于容器类物件而言，其内表面的清洁效果、内表面的结构完整性都直接关系到了后续的使用效果。因此，必须确保对应物件内表面的清洁度和结构完整性。
2、现有的检测手段中，针对清洁度的检测和结构完整性的检测是相互独立的两个工序，不仅延长了检测流程，在两个检测工序之间进行转换时，还需要对物件进行搬运，费时费力。
3、有鉴于此，特提出本申请。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提供一种内表面完整性检测装置，其实现了对物件内表面清洁度检测和结构完整性检测的整合，大大提高了检测效率，且具有较高的检测灵敏度。
2、本专利技术的第二个目的在于提供一种氮化镓反应炉完整性检测系统，其实现了对氮化镓生产反应炉内表面清洁度检测和结构完整性检测的整合，大大提高了检测效率，且具有较高的检测灵敏度。
3、本专利技术的实施例是这样实现的：
4、一种内表面完整性检测装置，其包括：基座、供液机构、第一视觉机构、吹风机构、第二视觉机构和处理器。
5、供液机构、第一视觉机构、吹风机构和第二视觉机构均安装于基座，且四者沿基座的表面依次间隔布置。第一视觉机构和第二视觉机构均与处理器电性连接。
6、检测时，将待检测容器横向设置，
7、供液机构的出液口和吹风机构的出风口均呈一字型，出液口和出风口均朝向待检测容器的内表面设置，且出液口和出风口均平行于待检测容器的中心轴线设置。
8、供液机构用于向待检测容器的内表面间歇式输送检测液，以使检测液流向出风口。第一视觉机构用于获取出液口和出风口之间的检测液的图像数据，记为第一图像数据。吹风机构用于将流动至出风口处的检测液吹向待检测容器的内表面的最低处。第二视觉机构用于获取出风口以下区域的检测液的图像数据，记为第二图像数据。处理器用于根据第一图像数据和第二图像数据确定待检测容器的内表面完整性。
9、进一步的，处理器根据第一图像数据和第二图像数据确定待检测容器的内表面完整性时，执行判定流程，判定流程包括如下步骤：
10、s1、根据第一图像数据，确定出液口和出风口之间区域中每一股检测液的前端边界。
11、s2、判断前端边界与出液口、和/或前端边界与出风口的平行关系。若平行，则判定对应的待检测容器的内表面区域完整性合格。反之则不合格。
12、进一步的，在s2中，若前端边界与出液口、和/或前端边界与出风口的平行关系的判定结果为不平行，则将前端边界中与出液口、和/或与出风口不平行的部分作为不平行对象，将前端边界中剩余的与出液口、和/或与出风口平行的部分作为平行对象。
13、若不平行对象相对于平行对象位置滞后，则判定不平行对象对应的位置存在局部凸起。若不平行对象相对于平行对象位置超前，则判定不平行对象对应的位置存在局部凹陷。
14、进一步的，判定流程还包括如下步骤：
15、s3、根据第二图像数据，确定出风口以下区域中每一股检测液被出风口的气流吹出的水流。
16、s4、判断水流是否存在分叉现象。若存在分叉现象，则判定待检测容器的内表面清洁度不合格。反之则合格。
17、进一步的，在s4中，当判定待检测容器的内表面清洁度不合格时，且瑕疵点位于水流发生分叉现象的起始位置。
18、进一步的，检测液为：去离子水或待检测容器专用清洗剂。
19、进一步的，基座呈弧形，供液机构由第一连接柱固定连接至基座，第一视觉机构由第二连接柱固定连接至基座，吹风机构由第三连接柱固定连接至基座，第二视觉机构由第四连接柱固定连接至基座。
20、第一连接柱、第二连接柱、第三连接柱和第四连接柱均固定连接于基座的外弧面，四者沿基座的外弧面的周向依次间隔设置，且四者均沿基座的外弧面的径向设置。
21、进一步的，内表面完整性检测装置还包括：转动机构。
22、转动机构用于安放待检测容器，以使待检测容器横向设置。转动机构还用于控制待检测容器转动，以调整待检测容器的受检测区域。
23、进一步的，转动机构还用于在检测过程中持续转动待检测容器，且转动机构驱动待检测容器转动的方向满足条件：在第一视觉机构的视野中，待检测容器的内表面朝向供液机构运动。
24、一种氮化镓反应炉完整性检测系统，其包括：上述的内表面完整性检测装置。
25、本专利技术实施例的技术方案的有益效果包括：
26、本专利技术实施例提供的内表面完整性检测装置在检测过程中，每一股出液口输出到内表面上的检测液均能够同时完成一次对内表面完整性和清洁度的检测，大大提高了检测频率、检测效率。此外，借助检测液在流动过程中的流动图像数据，可以更加灵敏地对内表面的完整性和清洁度做出判定。
27、总体而言，本专利技术实施例提供的内表面完整性检测装置实现了对物件内表面清洁度检测和结构完整性检测的整合，大大提高了检测效率，且具有较高的检测灵敏度。本专利技术实施例提供的氮化镓反应炉完整性检测系统实现了对氮化镓生产反应炉内清洁度检测和结构完整性检测的整合，大大提高了检测效率，且具有较高的检测灵敏度。
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1.一种内表面完整性检测装置，其特征在于，包括：基座、供液机构、第一视觉机构、吹风机构、第二视觉机构和处理器；
2.根据权利要求1所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述处理器根据所述第一图像数据和所述第二图像数据确定所述待检测容器的内表面完整性时，执行判定流程，所述判定流程包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，在S2中，若所述前端边界与所述出液口、和/或所述前端边界与所述出风口的平行关系的判定结果为不平行，则将所述前端边界中与所述出液口、和/或与所述出风口不平行的部分作为不平行对象，将所述前端边界中剩余的与所述出液口、和/或与所述出风口平行的部分作为平行对象；
4.根据权利要求2所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述判定流程还包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，在S4中，当判定所述待检测容器的内表面清洁度不合格时，且瑕疵点位于所述水流发生所述分叉现象的起始位置。
6.根据权利要求1所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述检测液为：去
7.根据权利要求1所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述基座呈弧形，所述供液机构由第一连接柱固定连接至所述基座，所述第一视觉机构由第二连接柱固定连接至所述基座，所述吹风机构由第三连接柱固定连接至所述基座，所述第二视觉机构由第四连接柱固定连接至所述基座；
8.根据权利要求1所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述内表面完整性检测装置还包括：转动机构；
9.根据权利要求8所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述转动机构还用于在检测过程中持续转动所述待检测容器，且所述转动机构驱动所述待检测容器转动的方向满足条件：在所述第一视觉机构的视野中，所述待检测容器的内表面朝向所述供液机构运动。
10.一种氮化镓反应炉完整性检测系统，其特征在于，包括：如权利要求1~9任一项所述的内表面完整性检测装置。
...【技术特征摘要】
1.一种内表面完整性检测装置，其特征在于，包括：基座、供液机构、第一视觉机构、吹风机构、第二视觉机构和处理器；
2.根据权利要求1所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述处理器根据所述第一图像数据和所述第二图像数据确定所述待检测容器的内表面完整性时，执行判定流程，所述判定流程包括如下步骤：
3.根据权利要求2所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，在s2中，若所述前端边界与所述出液口、和/或所述前端边界与所述出风口的平行关系的判定结果为不平行，则将所述前端边界中与所述出液口、和/或与所述出风口不平行的部分作为不平行对象，将所述前端边界中剩余的与所述出液口、和/或与所述出风口平行的部分作为平行对象；
4.根据权利要求2所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，所述判定流程还包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的内表面完整性检测装置，其特征在于，在s4中，当判定所述待检测容器的内表面清洁度不合格时，且瑕疵点位于所述水流发生所述分叉现...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔焜，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：雅安宇焜芯材材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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