【技术实现步骤摘要】
本技术关于一种抽液装置及抽液开盖设备，更特别的是关于一种可缩小抽液装置的整体占用空间的抽液装置及抽液开盖设备。
技术介绍
1、半导体、光电等工业领域中，制程所使用的化学液体及研磨液等储存于化液桶中储存，化液桶又安放于化学抽液机柜中储存。
2、传统取液的做法是让操作员使用人工的方式从化学抽液机柜中朝化液桶插入抽液管以抽取管中液体，如此一来就无法达到化学抽液机柜的全自动化操作；另外，人工操作也可能导致化液受污染，或危害操作员健康等问题。
3、若要改以全自动的方式操作抽液管，一个显而易见的问题是，抽液管及操作抽液管的器械以直上直下的方式插入化液桶，实施上过于占用空间，无法适用于现行的化学抽液机柜。
技术实现思路
1、因此，为解决现有的抽液装置的种种问题，本技术提出一种可缩小抽液装置的整体占用空间的抽液装置及抽液开盖设备。
2、为达上述目的及其他目的，本技术提出一种抽液装置，其包括：一抽液管模组，包括一管体及一转接头，该管体在轴向上具有一第一端及一第二端，该转接头设置于该第二端；一轴向移动模组，连接于该管体，该轴向移动模组带动该抽液管模组沿该轴向移动；一旋转模组，连接该抽液管模组，该旋转模组带动该抽液管模组相对该旋转模组的旋转轴旋转；以及一平移模组，连接该抽液管模组，该平移模组带动该抽液管模组在一平面上移动，该平面垂直于该旋转模组的旋转平面。
3、于本技术的一实施例中，该轴向移动模组包括一第一马达、一第一齿轮及一齿条部，该第一齿轮连接该第一马
4、于本技术的一实施例中，该旋转模组包括一第二马达，该第二马达经由该轴向移动模组而连接该抽液管模组。
5、于本技术的一实施例中，该平移模组通过该旋转模组及该轴向移动模组连接至该抽液管模组。
6、于本技术的一实施例中，该平移模组为一线性移动模组。
7、为达上述目的及其他目的，本技术又提出一种抽液开盖设备，其包含：如前述的抽液装置；一开盖装置，包括一开盖模组及一移动模组，该开盖模组包括一旋转马达、一开盖部件及多个握爪，该旋转马达输出旋转动力至该开盖部件，该多个握爪环绕该开盖部件，该移动模组连接该开盖模组并带动该开盖模组移动；以及一控制装置，信号连接该抽液装置及该开盖装置，该控制装置控制该抽液管模组及该开盖模组的移动。
8、于本技术的一实施例中，该多个握爪的一端各自设有一缓冲件。
9、于本技术的一实施例中，该移动模组包括连接该开盖模组的三组线性移动模组，该三组线性移动模组各自的线性移动方向为彼此垂直。
10、于本技术的一实施例中，还包括多个感测装置，信号连接该控制装置，该多个感测装置分别感测该抽液管模组及该开盖模组的移动状态。
11、借此，本技术提出的抽液装置及抽液开盖设备可倾斜地从化学抽液机柜中的窗口将管体伸入桶体，缩小抽液装置的整体占用空间，相较于成本昂贵、体积庞大的机械手臂，本技术的抽液装置及抽液开盖设备在环境中更有弹性的安装尺寸优势、机构成本也更具有竞争力。因此，本技术提出的抽液装置及抽液开盖设备利于化学抽液机柜的有限空间利用，而可有效地适配当前的化学抽液机柜。
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1.一种抽液装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该轴向移动模组包括一第一马达、一第一齿轮及一齿条部，该第一齿轮连接该第一马达并啮合该齿条部，该齿条部连接于该第二端。
3.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该旋转模组包括一第二马达，该第二马达经由该轴向移动模组而连接该抽液管模组。
4.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该平移模组通过该旋转模组及该轴向移动模组连接至该抽液管模组。
5.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该平移模组为一线性移动模组。
6.一种抽液开盖设备，其特征在于，包含：
7.根据权利要求6所述的抽液开盖设备，其特征在于，该多个握爪的一端各自设有一缓冲件。
8.根据权利要求6所述的抽液开盖设备，其特征在于，该移动模组包括连接该开盖模组的三组线性移动模组，该三组线性移动模组各自的线性移动方向为彼此垂直。
9.根据权利要求6所述的抽液开盖设备，其特征在于，还包括多个感测装置，信号连接该控制装置，该多个感测装置分别感测该
...【技术特征摘要】
1.一种抽液装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该轴向移动模组包括一第一马达、一第一齿轮及一齿条部，该第一齿轮连接该第一马达并啮合该齿条部，该齿条部连接于该第二端。
3.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该旋转模组包括一第二马达，该第二马达经由该轴向移动模组而连接该抽液管模组。
4.根据权利要求1所述的抽液装置，其特征在于，该平移模组通过该旋转模组及该轴向移动模组连接至该抽液管模组。
5.根据权利要求1所述的抽液装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱彦岚，
申请(专利权)人：亚泰半导体设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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