本技术公开了一种掩膜版机器人夹具，包括电动滑轨、设置在电动滑轨上的夹持组件。夹持组件包括相对设置的夹持件一和夹持件二，所述夹持件一和所述夹持件二分别夹住掩膜版的两侧，夹持件一和所述夹持件二均包括安装模组、设置在安装模组上的夹块组件、用于驱动夹块组件移动的驱动组件，以及滑动设置在安装模组上的用于对掩膜版支撑的支撑件。本方案的夹具为机器人的末端执行器，直接用于抓取和握紧，夹持件一个夹持件二在保证产品安全抓取的同时也能最大化的减少产品接触面积，从而减少对产品的污染。在夹块组件对掩膜版夹持固定过程中，滑动设置的支撑件与掩膜版一同移动，避免掩膜版与夹具之间产生摩擦，进而避免掩膜版被剐蹭和磨损。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及掩膜版夹具，更具体地说，涉及一种掩膜版机器人夹具。
技术介绍
1、光刻掩膜版(photomask)也简称光罩或mask，是在半导体相关领域制作精细图案所需要使用到的重要工具，使用光刻掩膜版可以实现目标图案的快速复制，使得大批量的半导体器件、显示器件的生产成为可能。mask作为母版图案，其制作过程有着更高的精度及质量要求，需要在达到透过率及平整度要求的石英或其它材质的版面上镀铬、涂胶、光刻、显影、蚀刻、脱膜、检查、修补等工序，光刻掩膜版在每道工序之间需要不断的转运。由于对无尘车间高洁净度的要求，和对产品安全性保护，以及产业结构的优化升级，提高生产效率等这些原因，现出现了工业机器人取代人工搬运掩膜版。
2、制作光刻掩膜版产品的玻璃光滑易碎，这对控制器与执行机构都有了较高的要求。现有的转运夹具存在与掩膜版接触面积大，易造成掩膜版污染，同时，在夹持过程中夹具易对掩膜版造成摩擦剐蹭的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种掩膜版机器人夹具，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
2、本技术技术方案一种掩膜版机器人夹具，包括电动滑轨、设置在所述电动滑轨上的夹持组件；
3、所述夹持组件包括相对设置的夹持件一和夹持件二，所述夹持件一和所述夹持件二分别夹住掩膜版的两侧，所述夹持件一和所述夹持件二均包括安装模组、设置在所述安装模组上的夹块组件、用于驱动所述夹块组件移动的驱动组件，以及滑动设置在所述安装模组上的用于对掩膜版支撑的支撑件。
>4、在一个优选地实施例中，所述夹持件包括固定夹块和与所述固定夹块相对设置的移动夹块，所述移动夹块上连接有安装块，所述安装块与所述驱动组件连接，且所安装块通过安装模组限位。5、在一个优选地实施例中，所述驱动组件包括驱动气缸。
6、在一个优选地实施例中，所述安装模组内设置有安装腔，所述安装腔内设置有导轨，所述支撑件设置在所述导轨上。
7、在一个优选地实施例中，所述支撑件包括与导轨滑动连接的滑块、设置在所述滑块上的支撑块、设置在所述滑块两侧的导杆和套设在所述导杆上的弹簧，所述弹簧两侧与安装腔的侧壁抵压接触。
8、在一个优选地实施例中，所述安装模组一侧设置有激光传感器。
9、本技术技术方案的有益效果是：
10、本方案的夹具为机器人的末端执行器，直接用于抓取和握紧，夹持件一个夹持件二在保证产品安全抓取的同时也能最大化的减少产品接触面积，从而减少对产品的污染。
11、在夹块组件对掩膜版夹持固定过程中，滑动设置的支撑件与掩膜版一同移动，避免掩膜版与夹具之间产生摩擦，进而避免掩膜版被剐蹭和磨损。
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【技术保护点】
1.一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：包括电动滑轨、设置在所述电动滑轨上的夹持组件；
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述夹持件包括固定夹块和与所述固定夹块相对设置的移动夹块，所述移动夹块上连接有安装块，所述安装块与所述驱动组件连接，且所安装块通过安装模组限位。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述驱动组件包括驱动气缸。
4.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述安装模组内设置有安装腔，所述安装腔内设置有导轨，所述支撑件设置在所述导轨上。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述支撑件包括与导轨滑动连接的滑块、设置在所述滑块上的支撑块、设置在所述滑块两侧的导杆和套设在所述导杆上的弹簧，所述弹簧两侧与安装腔的侧壁抵压接触。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述安装模组一侧设置有激光传感器。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：包括电动滑轨、设置在所述电动滑轨上的夹持组件；
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述夹持件包括固定夹块和与所述固定夹块相对设置的移动夹块，所述移动夹块上连接有安装块，所述安装块与所述驱动组件连接，且所安装块通过安装模组限位。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜版机器人夹具，其特征在于：所述驱动组件包括驱动气缸。
4.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：许鹏亮，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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