【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶片加工领域，尤其涉及一种晶片真空缓冲装置。
技术介绍
1、众所周知，在全自动半导体设备对晶片进行涂胶、显影等工艺加工过程中，晶片大多处在高速旋转的过程中。而保证其能平稳高速旋转的固定晶片方式，又大多通过真空吸附实现的。
2、如上所述，在晶片高速旋状过程中，若设备出现突然真空泄露或真空系统供应出现问题，则极有可能造成晶片飞转出来，虽然一般的设备都有一个相对封闭的保护腔，不至于造成晶片飞出伤人的后果，但晶片大多已经撞碎。这样也将造成一定的损失。
3、因此，现在研发出了一种能够在真空泵损坏时使设备软管内仍保持负压，并能够对软管进行夹紧固定，避免晶片飞出撞碎造成损失的晶片真空缓冲装置。
技术实现思路
1、为了克服在晶片高速旋状过程中，若设备出现突然真空泄露或真空系统供应出现问题，则极有可能造成晶片飞转出来的缺点，本技术提供一种能够在真空泵损坏时使设备软管内仍保持负压，并能够对软管进行夹紧固定，避免晶片飞出撞碎造成损失的晶片真空缓冲装置。
2、一种晶片真空缓冲装置，包括有连接板、连接管、负压管、弹簧、压位管和夹紧机构，负压管左右两部均连接有连接管，连接管相互远离的一侧上均连接有连接板，负压管上滑动式连接有压位管，压位管与负压管之间连接有弹簧，压位管位于左部连接管内部，连接板之间设有能够将软管进行夹紧的夹紧机构，当真空泵损坏无法运行时，负压管内负压消失，使得弹簧回弹，带动压位管复位，使压位管与负压管不再接通。
3、可选地，夹紧机构包括
4、可选地，夹板上均设有垫片。
5、可选地，第一齿轮上均开有通孔。
6、可选地，转轴上设有把手。
7、可选地，还包括有卡位机构，卡位机构包括有卡板和插销，转轴中部滑动式连接有卡板，卡板与左部连接管之间卡接有插销，当转轴不再转动时，滑动卡板靠近左部连接管，再将插销与卡板和左部连接管卡接配合。
8、本技术的有益效果为：1、本技术通过负压管内负压消失，使得弹簧回弹，带动压位管复位，使压位管与负压管不再接通，再通过夹板相互靠近与软管接触，达到了能够在真空泵损坏时使设备软管内仍保持负压，并能够对软管进行夹紧固定，避免晶片飞出撞碎造成损失的效果。
9、2、本技术通过当转轴不再转动时，滑动卡板靠近左部连接管，再将插销与卡板和左部连接管卡接配合，达到了能够对转轴进行卡位固定，避免转轴转动导致软管松动的效果。
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1.一种晶片真空缓冲装置，其特征是：包括有连接板(1)、连接管(2)、负压管(3)、弹簧(4)、压位管(5)和夹紧机构(6)，负压管(3)左右两部均连接有连接管(2)，连接管(2)相互远离的一侧上均连接有连接板(1)，负压管(3)上滑动式连接有压位管(5)，压位管(5)与负压管(3)之间连接有弹簧(4)，压位管(5)位于左部连接管(2)内部，连接板(1)之间设有能够将软管进行夹紧的夹紧机构(6)，当真空泵损坏无法运行时，负压管(3)内负压消失，使得弹簧(4)回弹，带动压位管(5)复位，使压位管(5)与负压管(3)不再接通。
2.根据权利要求1所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：夹紧机构(6)包括有连接罩(61)、夹板(62)、第一齿轮(63)、第二齿轮(64)和转轴(65)，连接板(1)上均连接有连接罩(61)，连接罩(61)相互远离的一侧上均滑动式连接有多个夹板(62)，相邻的夹板(62)之间均滑动式连接有第一齿轮(63)，连接罩(61)上部之间转动式连接有转轴(65)，转轴(65)左右两侧均连接有第二齿轮(64)，第二齿轮(64)均与相邻的第一齿轮(63)啮合，
3.根据权利要求2所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：夹板(62)上均设有垫片。
4.根据权利要求2所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：第一齿轮(63)上均开有通孔。
5.根据权利要求2所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：转轴(65)上设有把手。
6.根据权利要求2所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：还包括有卡位机构(7)，卡位机构(7)包括有卡板(71)和插销(72)，转轴(65)中部滑动式连接有卡板(71)，卡板(71)与左部连接管(2)之间卡接有插销(72)，当转轴(65)不再转动时，滑动卡板(71)靠近左部连接管(2)，再将插销(72)与卡板(71)和左部连接管(2)卡接配合。
...【技术特征摘要】
1.一种晶片真空缓冲装置，其特征是：包括有连接板(1)、连接管(2)、负压管(3)、弹簧(4)、压位管(5)和夹紧机构(6)，负压管(3)左右两部均连接有连接管(2)，连接管(2)相互远离的一侧上均连接有连接板(1)，负压管(3)上滑动式连接有压位管(5)，压位管(5)与负压管(3)之间连接有弹簧(4)，压位管(5)位于左部连接管(2)内部，连接板(1)之间设有能够将软管进行夹紧的夹紧机构(6)，当真空泵损坏无法运行时，负压管(3)内负压消失，使得弹簧(4)回弹，带动压位管(5)复位，使压位管(5)与负压管(3)不再接通。
2.根据权利要求1所述的一种晶片真空缓冲装置，其特征是：夹紧机构(6)包括有连接罩(61)、夹板(62)、第一齿轮(63)、第二齿轮(64)和转轴(65)，连接板(1)上均连接有连接罩(61)，连接罩(61)相互远离的一侧上均滑动式连接有多个夹板(62)，相邻的夹板(62)之间均滑动式连接有第一齿轮(63)，连接罩(61)上部之间转动式连接有转轴(65)，转...
【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，李肇臻，杨真瑾，尤启香，张芸，崔亦超，栾拥国，李军营，
申请(专利权)人：山东广浦生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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