【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶片生产辅助设备，涉及一种存储装置。
技术介绍
1、芯片在生产过程中，需要通过存储装置实现芯片的转移，在转移过程中需要对芯片进行固定，防止转移过程中出现颠簸损伤芯片。
2、现有的存储装置通常采用胶水黏附的方式对芯片进行固定，存在以下缺点：
3、一、由于胶水黏附力的大小由胶水型号确定，胶水黏附力大小不可控，存在脱胶导致芯片固定失效的风险；
4、二、采用胶水粘接后，需要对芯片进行清洗除胶，增加了清洗工序，导致生产效率降低、生产成本增加，并会污染环境；
5、三、存储装置上的胶水固化后，再次利用前需要清除胶水，清除难度大，导致转运工装成为一次性用品，造成资源浪费。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题在于：提供一种存储装置，该存储装置通过负压将芯片固定，一方面能够重复利用，另一方面，固定效果好，固定效率高，且不会产生污染。
2、本技术提出的技术方案为：
3、一种存储装置，包括底板，底板设有：
4、安装槽，多个安装槽间隔设置在底板上，安装槽内设有第一密封圈，第一密封圈的外侧壁与安装槽的内侧壁贴合；
5、导气槽，导气槽设置在安装槽的底面，导气槽将多个安装槽连通；
6、第一导气管，第一导气管沿底板外伸入底板内，第一导气管与导气槽连通。
7、可选的，还包括：
8、密封开关，密封开关设置在第一导气管上。
9、可选的，所述密封开关为关断阀或单向阀
10、可选的，密封开关为单向阀时，底板上还设置了第二导气管，第二导气管与导气槽连通；所述第二导气管伸出底板的一端连接有堵头。
11、可选的，所述第一密封圈的一端一体成型有密封垫，密封垫沿第一密封圈的内壁向内延伸，密封垫为中空结构。
12、可选的，所述第一密封圈的端面上设有导向面，导向面位于远离导气槽的一端，导向面到安装槽底面的距离从第一密封圈的外侧壁向内依次递减。
13、可选的，还包括：
14、盖板，盖板设置在底板上，盖板与底板活动连接。
15、可选的，所述盖板的一端与底板铰接。
16、可选的，还包括：
17、第二密封圈，多个安装槽位于第二密封圈内，第二密封圈设置在盖板和底板之间。
18、可选的，所述底板和/或盖板上设有凹槽，第二密封圈安装在凹槽内。
19、可选的，多个沿底板长度方向间隔设置的安装槽为一组，沿底板的宽度方向间隔设置多组安装槽。
20、可选的，所述导气槽包括：
21、第一槽体，所述第一槽体沿底板的长度方向设置，第一槽体将一组安装槽依次连通；
22、第二槽体，所述第二槽体沿底板的宽度方向设置，第二槽体将多个在宽度方向上依次设置的安装槽连通。
23、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
24、本技术通过在安装槽内设置第一密封圈，能够将晶片外侧壁与安装槽内侧壁的间隙密封，进而能够通过负压设备连接第一导气管，将导气槽内的气体排出，从而将晶片固定在安装槽内。本技术固定晶片效果好，安装固定晶片效率高，不会产生污染，且能够重复利用。本技术实现了多片晶片的存储，存储能力强。
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1.一种存储装置，其特征在于，包括底板，底板上设有：
2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的存储装置，其特征在于，所述密封开关为关断阀或单向阀。
4.根据权利要求3所述的存储装置，其特征在于，密封开关为单向阀时，所述底板上还设置了第二导气管，第二导气管与导气槽连通；所述第二导气管伸出底板的一端连接有堵头。
5.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述第一密封圈的一端一体成型有密封垫，密封垫沿第一密封圈的内壁向内延伸，密封垫为中空结构。
6.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述第一密封圈的一端设有导向面，导向面位于远离导气槽的一端，导向面到安装槽底面的距离从第一密封圈的外侧壁向内依次递减。
7.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的存储装置，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，多个沿底板长度方向间隔设置的安装槽为一组，沿底板的宽度方向间隔设置多组安装槽。
...【技术特征摘要】
1.一种存储装置，其特征在于，包括底板，底板上设有：
2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的存储装置，其特征在于，所述密封开关为关断阀或单向阀。
4.根据权利要求3所述的存储装置，其特征在于，密封开关为单向阀时，所述底板上还设置了第二导气管，第二导气管与导气槽连通；所述第二导气管伸出底板的一端连接有堵头。
5.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述第一密封圈的一端一体成型有密封垫，密封垫沿第一密封圈的内壁向内延伸，密封垫为中空结构...
【专利技术属性】
技术研发人员：许军，赵倩，游阿峰，李梦丽，刘臣海，连军，
申请(专利权)人：成都晶品夜视光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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