【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制备，特别是一种晶圆干燥装置。
技术介绍
1、在对晶圆进行镭射处理前，需要在晶圆上涂布一层防护液进行保护，待防护液干结后进行镭射处理。但部分晶圆产品防护液所需要的涂布干燥时间较长，在防护液涂布不均的情况下可能出现液体残留。
2、有鉴于此，有必要提供一种晶圆干燥装置，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为了实现上述目的，本专利技术提供一种晶圆干燥装置，其包括用于承载晶圆的承载平台；位于所述承载平台内的金属发热件；磁铁平台，所述磁铁平台与所述承载平台沿高度方向间隔设置，所述磁铁平台内设置有若干永磁铁，相邻两个所述永磁铁的磁极相反；用于带动所述承载平台或所述磁铁平台转动的第一转轴。
2、作为本专利技术的进一步改进，所述承载平台呈圆形，所述金属发热件呈圆环形，沿所述承载平台的径向方向上间隔设置有若干所述金属发热件。
3、作为本专利技术的进一步改进，相邻两个所述金属发热件的间距相同；或，自所述承载平台的中心向外的方向上，相邻两个所述金属发热件的间距逐渐减小。
4、作为本专利技术的进一步改进，所述金属发热件与所述磁铁平台的间距不同。
5、作为本专利技术的进一步改进，穿过任一所述金属发热件的磁感线的数量相同；或，自所述承载平台的中心向外的方向上，穿过所述金属发热件的磁感线的数量逐渐增加；
6、作为本专利技术的进一步改进，所述磁铁平台和所述永磁铁呈圆形，若干所述永磁铁沿所述磁铁平台的周向等间隔排布，且所有
7、作为本专利技术的进一步改进，所述第一转轴用于带动所述承载平台转动，所述磁铁平台圆心和所述永磁铁圆心的间距大于所述磁铁平台半径的一半。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述承载平台和所述磁铁平台的间距等于所述永磁铁的半径。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述第一转轴用于带动所述承载平台转动，所述磁铁平台中心设置供所述第一转轴穿过的通孔，晶圆干燥装置还包括用于带动所述磁铁平台沿所述第一转轴轴向移动的升降件。
10、作为本专利技术的进一步改进，还包括用以带动所述磁铁平台转动的第二转轴，所述第一转轴套设于所述第二转轴内。
11、本专利技术的有益效果：本专利技术通过所述第一转轴带动所述承载平台或所述磁铁平台转动，使得所述金属发热件产生热能，并将热量传递至所述承载平台上的晶圆，从而加快晶圆上防护液的干结，提高产能，避免防护液异常残留。
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1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述承载平台(100)呈圆形，所述金属发热件(200)呈圆环形，沿所述承载平台(100)的径向方向上间隔设置有若干所述金属发热件(200)。
3.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于：相邻两个所述金属发热件(200)的间距相同；
4.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于：若干所述金属发热件(200)与所述磁铁平台(300)的间距不同。
5.根据权利要求4所述的晶圆干燥装置，其特征在于：
6.根据权利要求1～5任意一项所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述磁铁平台(300)和所述永磁铁(301)呈圆形，若干所述永磁铁(301)沿所述磁铁平台(300)的周向等间隔排布，且所有所述永磁铁(301)的圆心共圆。
7.根据权利要求6所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述第一转轴(400)用于带动所述承载平台(100)转动，所述磁铁平台(300)圆心和所述永磁铁(301)圆心的间距大于所述磁铁平台(300)半径的一半。
8.根据权利要求6所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述承载平台(100)和所述磁铁平台(300)的间距等于所述永磁铁(301)的半径。
9.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述第一转轴(400)用于带动所述承载平台(100)转动，所述磁铁平台(300)中心设置供所述第一转轴(400)穿过的通孔(302)，晶圆干燥装置还包括用于带动所述磁铁平台(300)沿所述第一转轴(400)轴向移动的升降件(500)。
10.根据权利要求9所述的晶圆干燥装置，其特征在于：还包括用以带动所述磁铁平台(300)转动的第二转轴(600)，所述第一转轴(400)套设于所述第二转轴(600)内。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述承载平台(100)呈圆形，所述金属发热件(200)呈圆环形，沿所述承载平台(100)的径向方向上间隔设置有若干所述金属发热件(200)。
3.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于：相邻两个所述金属发热件(200)的间距相同；
4.根据权利要求2所述的晶圆干燥装置，其特征在于：若干所述金属发热件(200)与所述磁铁平台(300)的间距不同。
5.根据权利要求4所述的晶圆干燥装置，其特征在于：
6.根据权利要求1～5任意一项所述的晶圆干燥装置，其特征在于：所述磁铁平台(300)和所述永磁铁(301)呈圆形，若干所述永磁铁(301)沿所述磁铁平台(300)的周向等间隔排布，且所有所述永磁铁(301)的圆心共圆。
7.根据权利要求6所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：段海舰，
申请(专利权)人：颀中科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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