【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及铣磨加工，更具体地涉及一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置。
技术介绍
1、光刻机用多角度光学铣磨加工装置是一种专门用于制造和优化光刻机中关键组件的精密设备，这种装置通过使用先进的光学技术和机械控制系统，能够对光学元件进行高精度、多角度的铣削与磨削处理，从而确保这些元件在光刻过程中达到最佳性能，该装置配备了灵活的旋转平台或多轴联动系统，允许操作者根据需要调整工件的位置和角度，以实现从不同方向上对材料进行加工，这对于处理复杂几何形状或者要求特定入射角/反射角的应用尤为重要，并广泛应用于球面光镜加工领域。
2、然而，在对光学镜片进行研磨之前，需要在其表面涂抹一层专门的研磨剂，此步骤对于提高研磨效率至关重要，因为它能够有效减少镜片表面的粗糙度，并确保最终成品的均匀性和光洁度，为了实现这一目标，须额外增设一个与现有设备相配合的试剂喷射装置，这势必增加企业的生产成本或劳动量；此外在磨削过程的产物中，往往夹杂着一些可回收利用的光镜块体，如果将这些含有宝贵材料的部分直接作为普通垃圾丢弃，不仅会造成资源浪费，还可能对环境造成不必要的负担。
3、因此，本专利技术提出了一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，优化设备结构，实现对铣磨轨迹上的光镜表面自动涂抹研磨剂，并对铣磨产物内夹杂的光镜块体进行分离，构建一体化高效加工生产，降低企业的生产成本，促进资源的可持续利用。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本专利技术提供了一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，以解决
2、本专利技术提供如下技术方案：一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，包括机罩及设置在其上方的轴系传动机构，轴系传动机构的底部装配有调位组件，所述机罩的四周侧壁安装有位于调位组件底端的流射组件，且机罩的中心安装有位于流射组件下方的载物座及收集组件，所述收集组件内活动设置有分料板；
3、所述调位组件包括承载座、激光发生器、横梁及连接座，其中所述承载座的底壁安装有激光发生器，且承载座的底端被垂直且错位分布的两根横梁活动贯穿，所述激光发生器的底端外壁装配有连接座；所述流射组件包括集液管、第一活塞杆、u形连杆、射流管、排液单向阀及输液管，其中所述集液管内活动插接第一活塞杆，所述第一活塞杆的端部通过u形连杆组装在连接座上，此外射流管装配在连接座的侧边，所述集液管的液腔外装配有排液单向阀及输液管，排液单向阀通过输液管与射流管相连通；
4、x和y轴向的横梁分别通过衔接件与各自同轴向的流射组件相连接，使得横梁在移动时能够通过衔接件而带动与其连接的流射组件平稳移动；
5、所述收集组件包括箱体、筛盘、定位管、第二活塞杆及弹簧，其中所述箱体内活动设置有筛盘，所述定位管安装在箱体内顶壁的四角，第二活塞杆活动插接在定位管内，且第二活塞杆的底端固定连接筛盘，而第二活塞杆的塞柄下方设有位于定位管内的弹簧，在分料板行进时，筛盘会受到分料板底部疏通头的挤压而克服弹簧的弹力作用向下拉动第二活塞杆，使得筛盘能够脱离定位管向下沉降，而当疏通头移动至与筛盘的筛孔对齐时，分料板的疏通头能够平顺插入筛孔内，造成筛盘回弹复位，其间筛盘持续抖动，对铣磨产物的高效分离；
6、y轴向的第一活塞杆通过伸缩连杆与分料板相连接，当承载座的左右移动，沿y轴设置的横梁能够通过衔接件携带前后侧的流射组件共同水平移动，从而第一活塞杆能够凭借伸缩连杆而牵引分料板沿着筛盘内腔左右移动。
7、进一步的，所述集液管的内壁两端均设有阻环，阻环将集液管划分为三个腔室，由外向内分别为液腔、传动腔及气腔，第一活塞杆的塞柄仅能够在两阻环间移动，且塞柄两侧的传动腔分别与液腔及气腔相连通，其中气腔的侧壁设置有排气孔，这使得激光发生器在位置调整时可稳定牵动第一活塞杆进行伸缩活动，致使集液管的液压变化，从而进入注射模式或者补料模式。
8、进一步的，所述流射组件还包括装配在液腔外的注液单向阀，所述注液单向阀通过导管可与供料源相连接，供料源为提供研磨剂的供给装置。
9、进一步的，所述衔接件由组装杆及固定连接在其两端的滑块组成，所述组装杆的顶底端通过滑块分别与横梁和集液管装配，使得同轴向的横梁和流射组件能够保持相同运动步调，此外机罩的侧壁开设有供滑块移动的滑槽。
10、进一步的，所述收集组件还包括落料斗和组装架，其中所述落料斗安装在箱体的底壁且与其内腔相通，使得废渣筛盘底壁的筛孔分离出，后由落料斗排出，此外箱体通过组装架安装在机罩内腔中。
11、进一步的，所述分料板包括上层的栅栏和下层的刷板，以及埋设在刷板中的疏通头，分料板的疏通头与筛盘的筛孔呈锥形契合，当疏通头移动至与筛盘的筛孔对齐时，分料板的疏通头能够平顺插入筛孔内，对筛孔进行疏通，避免筛孔阻塞。
12、进一步的，所述伸缩连杆包括u形套管、l形内杆及滑杆，其中所述u形套管的顶端活动插接有连接在第一活塞杆端部的l形内杆，u形套管的底端固定连接滑杆，所述滑杆越过箱体和筛盘侧壁的滑槽后与分料板固定连接。
13、本专利技术的技术效果和优点：
14、本专利技术通过调位组件、流射组件、伸缩连杆、收集组件及分料板的配合使用，有利于轴系传动机构可携带承载座在前后左右四个方位上调节移动，以调整激光发生器对光镜的铣磨点位，使得轴向移动激光发生器携带一侧的流射组件发生收缩运动，导致液压增大，继而液腔内的研磨剂能够由排液单向阀排出，并经输液管导入与之连通的射流管内，后由射流管喷射在待铣磨点，以对铣磨轨迹上的光镜表面涂抹研磨剂，而对立侧进行流射组件扩展运动，致使液腔扩容，形成负压，继而供料源提供的研磨剂能够经注液单向阀注入集液管的液腔内，对液腔自动上料；同时，当承载座的左右移动，沿y轴设置的横梁能够通过衔接件携带前后侧的流射组件共同水平移动，使得第一活塞杆能够凭借伸缩连杆而牵引分料板沿着筛盘内腔左右移动，导致筛盘抖动，对铣磨产物的高效分离，以此实现对铣磨轨迹上的光镜表面涂抹研磨剂，并对铣磨产物内夹杂的光镜块体进行分离，构建一体化高效加工生产。
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1.一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，包括机罩（1）及设置在其上方的轴系传动机构，轴系传动机构的底部装配有调位组件（2），其特征在于：所述机罩（1）的四周侧壁安装有位于调位组件（2）底端的流射组件（4），且机罩（1）的中心安装有位于流射组件（4）下方的载物座（6）及收集组件（7），所述收集组件（7）内活动设置有分料板（8）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述集液管（401）的内壁两端均设有阻环，阻环将集液管（401）划分为三个腔室，由外向内分别为液腔、传动腔及气腔，第一活塞杆（402）的塞柄仅能够在两阻环间移动，且塞柄两侧的传动腔分别与液腔及气腔相连通，其中气腔的侧壁设置有排气孔，这使得激光发生器（202）在位置调整时可稳定牵动第一活塞杆（402）进行伸缩活动，致使集液管（401）的液压变化，从而进入注射模式或者补料模式。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述流射组件（4）还包括装配在液腔外的注液单向阀（406），所述注液单向阀（406）通过导管可与供料源相连接，供料源为
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述衔接件（3）由组装杆（301）及固定连接在其两端的滑块（302）组成，所述组装杆（301）的顶底端通过滑块（302）分别与横梁（203）和集液管（401）装配，使得同轴向的横梁（203）和流射组件（4）能够保持相同运动步调，此外机罩（1）的侧壁开设有供滑块（302）移动的滑槽。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述收集组件（7）还包括落料斗（706）和组装架（707），其中所述落料斗（706）安装在箱体（701）的底壁且与其内腔相通，使得废渣筛盘（702）底壁的筛孔分离出，后由落料斗（706）排出，此外箱体（701）通过组装架（707）安装在机罩（1）内腔中。
6.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述分料板（8）包括上层的栅栏和下层的刷板，以及埋设在刷板中的疏通头，分料板（8）的疏通头与筛盘（702）的筛孔呈锥形契合，当疏通头移动至与筛盘（702）的筛孔对齐时，分料板（8）的疏通头能够平顺插入筛孔内，对筛孔进行疏通，避免筛孔阻塞。
7.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述伸缩连杆（5）包括U形套管（501）、L形内杆（502）及滑杆（503），其中所述U形套管（501）的顶端活动插接有连接在第一活塞杆（402）端部的L形内杆（502），U形套管（501）的底端固定连接滑杆（503），所述滑杆（503）越过箱体（701）和筛盘（702）侧壁的滑槽后与分料板（8）固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，包括机罩（1）及设置在其上方的轴系传动机构，轴系传动机构的底部装配有调位组件（2），其特征在于：所述机罩（1）的四周侧壁安装有位于调位组件（2）底端的流射组件（4），且机罩（1）的中心安装有位于流射组件（4）下方的载物座（6）及收集组件（7），所述收集组件（7）内活动设置有分料板（8）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述集液管（401）的内壁两端均设有阻环，阻环将集液管（401）划分为三个腔室，由外向内分别为液腔、传动腔及气腔，第一活塞杆（402）的塞柄仅能够在两阻环间移动，且塞柄两侧的传动腔分别与液腔及气腔相连通，其中气腔的侧壁设置有排气孔，这使得激光发生器（202）在位置调整时可稳定牵动第一活塞杆（402）进行伸缩活动，致使集液管（401）的液压变化，从而进入注射模式或者补料模式。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述流射组件（4）还包括装配在液腔外的注液单向阀（406），所述注液单向阀（406）通过导管可与供料源相连接，供料源为提供研磨剂的供给装置。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用多角度光学铣磨加工装置，其特征在于：所述衔接件（3）由组装杆（301）及固定连接在其两端的滑块（302）组成，所述组装杆（301）的顶底端通过滑块（302）...
【专利技术属性】
技术研发人员：董睿荣，刘盛骏，余华，吴恒潮，
申请(专利权)人：苏州威孚材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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