【技术实现步骤摘要】
本技术属于ald设备，具体地说，本技术涉及一种原子层沉积设备的尾气管道。
技术介绍
1、原子层沉积(atomic layer deposition，ald)镀膜是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。该技术可以在纳米级尺度上精确控制物质成分和形貌，具有沉积大面积均匀薄膜，膜厚纳米级可控生长，低温条件沉积，适合各种复杂基底(如高深宽比的结构)的优异性能，在半导体行业有着广泛的应用。
2、ald设备的反应原理是将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜，即先将第一种反应前驱体输入到反应腔室中并通过化学吸附(饱和吸附)保持在基体材料表面，当第二种前驱体通入反应腔室时，就会与已吸附于基体材料表面的第一前驱体发生反应，重复此过程即可得到预定厚度的薄膜。在此过程中，多余的前驱体会排出反应腔室，在后端的尾气处理装置中被吸收。
3、现有的ald设备包括依次连接的反应腔室、尾气处理装置和真空泵，尾气处理装置通过尾气管道与反应腔室连接，真空泵通过尾气管道将尾气从反应腔室抽出，尾气经过管道内设置的冷凝管时粉尘会被吸附，冷凝管与气体的接触面积比较小，粉尘吸附量比较少。这样导致尾气处理装置中会形成大量的粉尘，这些粉尘会有倒灌进腔室形成particle(微粒)污染的风险。
4、如授权公告号为cn217188702u的专利文献公开了一种ald尾气处理装置，包括第一进气口，所述第一进气口的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置，所述一级分解装置远离第一进气口的一端设有第一出
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提供一种原子层沉积设备的尾气管道，目的是降低尾气回流造成反应腔室的污染，减轻particle污染的风险，提升产品良率。
2、为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：原子层沉积设备的尾气管道，包括与反应腔室连接的第一管道，所述第一管道内设置冷凝板，冷凝板设置多个且所有冷凝板在第一管道内呈螺旋状依次布置。
3、所述第一管道内设置支撑件，所述冷凝板设置于支撑件上。
4、所述支撑件为螺旋形结构，支撑件为沿所述第一管道的长度方向延伸。
5、所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间具有夹角且该夹角为锐角。
6、所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间的夹角为45°。
7、所述冷凝板的长度与所述第一管道的半径之间的比值为1/3～2/3。
8、所述冷凝板的长度与所述第一管道的半径之间的比值为0.5。
9、所述冷凝板的材质为不锈钢、钛合金、铝合金或碳钢。
10、所述第一管道的材质为不锈钢、钛合金、铝合金或碳钢。
11、所述第一管道与第二管道连接，第二管道与尾气处理装置连接。
12、本技术的原子层沉积设备的尾气管道，通过设置多个呈螺旋向下台阶状分布的冷凝板，增加与管道内尾气的接触面积，能有效冷凝吸附尾气中含有的粉尘，而且能大幅降低尾气回流造成的腔室污染，减轻particle(微粒)污染的风险，提升产品良率。
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1.原子层沉积设备的尾气管道，包括与反应腔室连接的第一管道，其特征在于：所述第一管道内设置冷凝板，冷凝板设置多个且所有冷凝板在第一管道内呈螺旋状依次布置。
2.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述第一管道内设置支撑件，所述冷凝板设置于支撑件上。
3.根据权利要求2所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述支撑件为螺旋形结构，支撑件为沿所述第一管道的长度方向延伸。
4.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间具有夹角且该夹角为锐角。
5.根据权利要求4所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间的夹角为45°。
6.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的长度与所述第一管道的半径之间的比值为1/3～2/3。
7.根据权利要求6所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的长度与所述第一管道的半径之间的比值为0.5
8.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的材质为不锈钢、钛合金、铝合金或碳钢。
9.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述第一管道的材质为不锈钢、钛合金、铝合金或碳钢。
10.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述第一管道与第二管道连接，第二管道与尾气处理装置连接。
...【技术特征摘要】
1.原子层沉积设备的尾气管道，包括与反应腔室连接的第一管道，其特征在于：所述第一管道内设置冷凝板，冷凝板设置多个且所有冷凝板在第一管道内呈螺旋状依次布置。
2.根据权利要求1所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述第一管道内设置支撑件，所述冷凝板设置于支撑件上。
3.根据权利要求2所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述支撑件为螺旋形结构，支撑件为沿所述第一管道的长度方向延伸。
4.根据权利要求1至3任一所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间具有夹角且该夹角为锐角。
5.根据权利要求4所述的原子层沉积设备的尾气管道，其特征在于：所述冷凝板的宽度方向与所述第一管道的长度方向之间的...
【专利技术属性】
技术研发人员：何靖，曹君，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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