【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及拉晶，特别涉及一种拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统。
技术介绍
1、芯片的制造都是从单晶硅开始；单晶硅的生成的一个重要工艺为拉晶；拉晶一般都是采用拉晶炉。拉晶炉是一种在惰性气体环境中，对多晶硅等材料进行加热融化后采用直拉法生长单晶的设备；其工作过程主要包括：配料、融化、拉晶、收尾等步骤；配料是在空气环境下，然后需要将熔融的硅液在一个高真空的环境中冷却，以减少硅液表面的氧化和杂质的进入，如何有效地保证拉晶炉内的真空环境是提高单晶硅的质量的先决条件。
技术实现思路
1、本专利技术目的之一在于提供了一种拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统，以解决上述技术问题。
2、本专利技术实施例提供的一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚和两个真空装置；真空装置分别与通过一个三通电控阀与主炉室和附炉室连通；
3、三通电控阀的一进气端与设置在主炉室下端的第一进气口连通，另一进气端与设置在附炉室上端的第二进气口连通，出气端与真空装置连通。
4、优选的，真空装置包括：真空室和真空泵组；真空泵组与真空室连通，真空室与三通电控阀的出气端连通。
5、优选的，真空泵组包括：高速抽干泵、罗茨泵和分子泵其中一种或多种结合。
6、优选的，所述第一进气口设置在主炉室内部底端的靠近内壁处。
7、优选的，在主炉室的下端设置有支撑座；支撑座中部设置有第一支撑体；在第一支撑体两侧分别设置有第二支撑体和第三支撑体；第一支撑体两端分别与坩埚支
8、优选的，在主炉室的下端和支撑座之间还设置有第四支撑体和第五支撑体；第四支撑体、第五支撑体的两端也分别铰接在主炉室的下端和支撑座上；第二支撑体、第三支撑体、第四支撑体和第五支撑体均布在以第一支撑体为圆心的圆周上；第四支撑体和第五支撑体对应的铰接机构可在与动作平面相平行的平面上动作。
9、优选的，在支撑座上端和主炉室的下端分别设置有第一固定结构和第二固定结构，以固定第一支撑体、第二支撑体、第三支撑体、第四支撑体和第五支撑体。
10、优选的，第一固定结构包括：第一孔板和多个第一伸缩机构；第一孔板上配置有容许第一支撑体、第二支撑体、第三支撑体、第四支撑体和第五支撑体通过的贯穿孔；第一伸缩机构设置在第一孔板和支撑座之间且连接第一孔板和支撑座。
11、优选的，第二固定结构包括：第二孔板和多个第二伸缩机构；第二孔板上配置有容许第一支撑体、第二支撑体、第三支撑体、第四支撑体和第五支撑体通过的贯穿孔；第二伸缩机构设置在第二孔板和主炉室的下端之间且连接第二孔板和主炉室的下端。
12、本专利技术还提供一种用于拉晶炉的真空泵控制系统，应用于上述任一拉晶炉，包括：真空检测模块、压力检测模块、控制模块和通讯模块；
13、当控制模块通过通讯模块接收到从拉晶炉的控制器发送的预工作指令时，控制真空泵组动作对真空室进行抽真空操作，通过真空检测模块检测到真空室内的气压符合预先配置的第一气压条件时，控制真空泵组停止动作；
14、当接收到控制器发送的工作指令时，控制三通电控阀连通并控制真空泵组启动，通过真空检测模块检测到真空室内的气压符合预先配置的第二气压条件时，控制真空泵组停止动作。
15、本专利技术具有如下优点：
16、1、通过配置两个真空装置以保证任一装置损坏时拉晶炉的正常工作，以保证拉晶炉内的真空环境。在真空环境中，熔融硅液的表面张力降低，这使得硅液更容易从晶种上剥离，从而加快了拉晶速度。高抽速干泵能够提供稳定的真空度，有助于连续快速地拉制单晶硅。提高单晶纯度：在高真空环境中，硅液表面的氧化速度减慢，减少了氧化层的形成，这有助于提高单晶硅的纯度。
17、2、与传统的湿式泵相比，干泵不涉及液体，因此在操作和维护过程中更安全，同时也减少了对环境的影响。
18、3、高抽速干泵的效率较高，能够在较短的时间内达到所需的真空度，这有助于降低拉制过程中的能耗。
19、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
20、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚，其特征在于，还包括：两个真空装置；真空装置分别与通过一个三通电控阀与主炉室和附炉室连通；
2.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空装置包括：真空室和真空泵组；真空泵组与真空室连通，真空室与三通电控阀的出气端连通。
3.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空泵组包括：高速抽干泵、罗茨泵和分子泵其中一种或多种结合。
4.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一进气口设置在主炉室内部底端的靠近内壁处。
5.如权利要求4所述的拉晶炉，其特征在于，在主炉室的下端设置有支撑座；支撑座中部设置有第一支撑体；在第一支撑体两侧分别设置有第二支撑体和第三支撑体；第一支撑体两端分别与坩埚支撑体和支撑座铰接；第二支撑体和第三支撑体的两端分别与主炉室的下端和支撑座铰接且第二支撑体和第三支撑体配置为伸缩结构；所述第一支撑体、第二支撑体、第三支撑体和第一进气口配置在同一平面内将平面作为动作平面；第二支撑体伸长、第三支撑体同步收缩，或，第二支撑体伸长、第三支撑体同步收缩，主炉体在动作平面内倾斜。<...
【技术特征摘要】
1.一种拉晶炉，包括：主炉室、附炉室、拉晶头、坩埚，其特征在于，还包括：两个真空装置；真空装置分别与通过一个三通电控阀与主炉室和附炉室连通；
2.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空装置包括：真空室和真空泵组；真空泵组与真空室连通，真空室与三通电控阀的出气端连通。
3.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，真空泵组包括：高速抽干泵、罗茨泵和分子泵其中一种或多种结合。
4.如权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述第一进气口设置在主炉室内部底端的靠近内壁处。
5.如权利要求4所述的拉晶炉，其特征在于，在主炉室的下端设置有支撑座；支撑座中部设置有第一支撑体；在第一支撑体两侧分别设置有第二支撑体和第三支撑体；第一支撑体两端分别与坩埚支撑体和支撑座铰接；第二支撑体和第三支撑体的两端分别与主炉室的下端和支撑座铰接且第二支撑体和第三支撑体配置为伸缩结构；所述第一支撑体、第二支撑体、第三支撑体和第一进气口配置在同一平面内将平面作为动作平面；第二支撑体伸长、第三支撑体同步收缩，或，第二支撑体伸长、第三支撑体同步收缩，主炉体在动作平面内倾斜。
6.如权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，在主炉室的下端和支撑座之间还设置有第四支撑体和第...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈立民，陈丽芳，陈健，
申请(专利权)人：曲靖阳光新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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