一种晶圆凸起用网板专用印刷机制造技术

本技术公开了一种晶圆凸起用网板专用印刷机，包括底板，所述底板的上表面固定连接有两个立板，两个所述立板的顶端共同固定连接有顶板，所述顶板的底面安装有两组阻尼器，两组所述阻尼器的底端共同安装有印刷机本体，所述印刷机本体的左右两侧面均固定连接有两个稳定板，每个所述稳定板的上表面均开设有滑孔，每个所述滑孔的内壁均滑动连接有滑杆。通过设置的稳定板、滑孔、弹簧、连接板与阻尼器的配合，当印刷机本体工作时，稳定板会将印刷机本体工作产生的力作用于弹簧上，弹簧便会对印刷机本体工作产生产生的力吸收，同时阻尼器会对印刷机本体进一步稳定，可以保证印刷机本体对晶圆印刷时图案的完成，从而保证了对晶圆印刷的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆印刷设备，尤其是一种晶圆凸起用网板专用印刷机。

技术介绍

1、晶圆印刷在半导体制造过程中确实扮演着至关重要的角色，它涉及在晶圆表面精确涂覆和转移特定图案或材料，这一步骤对于确保最终产品的质量和性能至关重要，晶圆印刷是半导体制造中不可或缺的一环，它确保了电路图案的精确转移和形成，为最终产品的质量和性能奠定了坚实基础。

2、目前的印刷机在使用时，但在处理微小尺寸的晶圆凸起时，有可能出现微小的振动，任何微小的振动或误差都可能导致图案失真或转移不完整，进而影响产品的质量，为此，我们提出一种晶圆凸起用网板专用印刷机解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶圆凸起用网板专用印刷机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种晶圆凸起用网板专用印刷机，包括底板，所述底板的上表面固定连接有两个立板，两个所述立板的顶端共同固定连接有顶板，所述顶板的底面安装有两组阻尼器，两组所述阻尼器的底端共同安装有印刷机本体，所述印刷机本体的左右两侧面均固定连接有两个稳定板，每个所述稳定板的上表面均开设有滑孔，每个所述滑孔的内壁均滑动连接有滑杆，每个所述滑杆的顶端与每个滑杆的底端均固定连接有连接板，两个所述连接板相互远离的一侧面分别与两个立板相互靠近的一侧面相连接，每个所述滑杆的外表面均套设有两个弹簧。

4、在进一步的实施例中，每组所述弹簧分别位于稳定板的上方和稳定板的下方，每组所述弹簧相互远离的一端分别与每组连接板相互靠近的一侧面相连接。

5、在进一步的实施例中，两个所述立板相互靠近的一侧面均开设有稳定槽，两组所述稳定板相互远离的一端均延伸至稳定槽的内部并与稳定槽的内壁滑动连接。

6、在进一步的实施例中，所述底板的上表面安装有两组电动推杆，两个所述电动推杆的顶端共同安装有放置板，所述放置板的上表面开设有一组放置孔。

7、在进一步的实施例中，所述放置板的上表面固定连接有两个海绵垫。

8、在进一步的实施例中，两个所述立板的右侧面均开设有限位槽，每个所述限位槽的内壁均滑动连接有限位板，两个所述限位板相互靠近的一端分别与放置板的左右两侧面相连接。

9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

10、本装置通过设置的稳定板、滑孔、弹簧、连接板与阻尼器的配合，当印刷机本体工作时，稳定板会将印刷机本体工作产生的力作用于弹簧上，弹簧便会对印刷机本体工作产生的力吸收，同时阻尼器会对印刷机本体进一步稳定，可以保证印刷机本体对晶圆印刷时图案的完成，从而保证了对晶圆印刷的质量。

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【技术保护点】

1.一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上表面固定连接有两个立板(2)，两个所述立板(2)的顶端共同固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的底面安装有两组阻尼器(4)，两组所述阻尼器(4)的底端共同安装有印刷机本体(5)，所述印刷机本体(5)的左右两侧面均固定连接有两个稳定板(9)，每个所述稳定板(9)的上表面均开设有滑孔(10)，每个所述滑孔(10)的内壁均滑动连接有滑杆(11)，每个所述滑杆(11)的顶端与每个滑杆(11)的底端均固定连接有连接板(6)，两个所述连接板(6)相互远离的一侧面分别与两个立板(2)相互靠近的一侧面相连接，每个所述滑杆(11)的外表面均套设有两个弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：每组所述弹簧(8)分别位于稳定板(9)的上方和稳定板(9)的下方，每组所述弹簧(8)相互远离的一端分别与每组连接板(6)相互靠近的一侧面相连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：两个所述立板(2)相互靠近的一侧面均开设有稳定槽(7)，两组所述稳定板(9)相互远离的一端均延伸至稳定槽(7)的内部并与稳定槽(7)的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：所述底板(1)的上表面安装有两组电动推杆(15)，两个所述电动推杆(15)的顶端共同安装有放置板(16)，所述放置板(16)的上表面开设有一组放置孔(14)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：所述放置板(16)的上表面固定连接有两个海绵垫(13)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：两个所述立板(2)的右侧面均开设有限位槽(12)，每个所述限位槽(12)的内壁均滑动连接有限位板(17)，两个所述限位板(17)相互靠近的一端分别与放置板(16)的左右两侧面相连接。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上表面固定连接有两个立板(2)，两个所述立板(2)的顶端共同固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的底面安装有两组阻尼器(4)，两组所述阻尼器(4)的底端共同安装有印刷机本体(5)，所述印刷机本体(5)的左右两侧面均固定连接有两个稳定板(9)，每个所述稳定板(9)的上表面均开设有滑孔(10)，每个所述滑孔(10)的内壁均滑动连接有滑杆(11)，每个所述滑杆(11)的顶端与每个滑杆(11)的底端均固定连接有连接板(6)，两个所述连接板(6)相互远离的一侧面分别与两个立板(2)相互靠近的一侧面相连接，每个所述滑杆(11)的外表面均套设有两个弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸起用网板专用印刷机，其特征在于：每组所述弹簧(8)分别位于稳定板(9)的上方和稳定板(9)的下方，每组所述弹簧(8)相互远离的一端分别与每组连接板(6)相互靠近的一侧面相连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：周涛，李真明，黎增祺，
申请(专利权)人：南通美精微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：