【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光刻照明检测，具体的说是一种光刻照明系统的检测装置及方法。
技术介绍
1、光刻照明系统是光刻机中的一个关键组成部分，它负责为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场，光刻机涉及的偏振检测技术包括光学元件偏振检测技术，照明光瞳偏振检测技术和投影物镜偏振像差检测技术。
2、其中照明光瞳偏振检测技术主要通过特定的光学元件（如偏振片、波片等）和检测方法，对照明光瞳中的偏振光进行精确测量和分析。这些光学元件能够将待测光的偏振特性转化为可观测的光学信号，进而通过光电探测器等设备进行信号采集和处理。
3、如公开专利：us20170010539a1在2017年提出一种检测投影光学偏振参数的装置，通过在物面放置多个测量掩模和偏振改变元件来解决公开专利：us7286245b2中多次测量过程中环境造成的影响，通过公开专利：cn113552773b，解决以上偏振检测装置有旋转波片部件体积大，不能直接放入光刻机系统里测量的问题。
4、但是公开专利：cn113552773b在进行测量的过程中，需要更换周期相同但相位不同的掩模板，然而，这种更换过程操作繁琐，且重复性工作较高，可能导致身体疲劳、肌肉紧张的情况，为了保证测量的精度，便会增加掩模片的调整时间，从而降低导致整个测量过程的效率大大降低。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提出一种光刻照明系统的检测装置及方法，能够减少更换掩模板的时间，提高检测效率。
2、为实现上述目的，
3、一种光刻照明系统的检测装置，包括安装架、物镜、用于放置硅片的承载台以及用于放置掩模板安置架；
4、安装架呈上开口的矩形中空框架，在上开口的两个短边的其中一边气泵，气泵的输出端通过气管与安置架的内腔连通，安置架的上方开设有吸附口；
5、安装架上开口的两个短边的另一边固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定连接有转轴，转轴的底端固定安装有转动块，转动块上滑动安装有连接杆，连接杆上滑动安装有吸附块，吸附块设置有多个；
6、吸附块的内部设置有吸附组件，用于吸附安置架上的掩模板。
7、吸附组件包括滑动板、气筒、活塞杆以及吸盘，滑动板滑动安装在吸附块的内部，气筒中空设置，并固定安装在滑动板上，活塞杆的一端延伸出气筒的外壁，并与吸附块的内部固定连接，另一端与气筒的内部滑动连接，吸盘固定安装在气筒的一端，吸盘与气筒的内腔连通。
8、吸附块的顶端固定安装有第一电机，第一电机的输出轴固定安装有螺纹杆，螺纹杆的一端贯穿滑动板，并与滑动板通过螺纹连接。
9、连接杆靠近转动块的一端固定安装有传动齿轮，安装架的内部固定安装有齿环，传动齿轮与齿环啮合。
10、吸附块靠近连接杆的一端固定安装有滑块，连接杆的一端贯穿滑块，连接杆上开设有螺旋槽，滑块的内壁固定安装有导向块，导向块的一端延伸至螺旋槽的内部。
11、安装架的内部开设有限位环槽，滑块的内部滑动安装有限位杆，限位杆的一端延伸至吸附块的内部，另一端延伸至限位环槽的内部。
12、转动块的外壁滑动安装有滑动块，连接杆靠近滑动块的一端固定安装有连接轴，连接轴的一端延伸至滑动块的内部，连接轴与滑动块之间通过扭簧连接。
13、安装架的内部固定安装有导向环，导向环上开设有供滑动块进入的缺口。
14、转动块的外壁开设有移动槽，滑动块靠近转动块的一端固定安装有移动块，移动块滑动安装在移动槽的内部。
15、一种光刻照明系统的检测方法，包括以下步骤：
16、s1：通过将掩模板放置在安置架上，通过启动气泵，并通过设置的吸附口对掩模板进行吸附，随后进行光瞳照明检测；
17、s2：通过第二电机带动转轴转动，将连接杆与吸附块转动至安置架的上方，随后通过第一电机带动滑动板转动，并通过气筒与活塞杆的配合，使吸盘对安置架上的掩模板吸附，再次通过第二电机的转动，完成对掩模板的收纳；
18、s3：通过第二电机带动转轴将另一个连接杆转动至安置架的上方，随后通过第一电机转动，使滑动板上滑，此时吸盘便会解除对掩模板的吸附，掩模板便会掉落在安置架上，完成掩模板的更替，继续进行光瞳照明检测。
19、本专利技术的有益效果如下：
20、1.本专利技术通过第二电机将其中一个连接杆和吸附块转动至安置架的上方，再通过第一电机的带动滑动板向下滑动，会使活塞杆在气筒的内部拉伸，此时便可通过吸盘对掩模板进行吸附，再通过转轴将其转入安装架的内部，当需要重新使用这块掩模板时，通过转轴重新将吸附这块掩模板的吸附块转动至安置架的上方，此时通过控制第一电机控制滑动板上滑，掩模板落入安置架上，通过重复此步骤，即可在多次更换周期相同且相位不同的掩模板以及需要多次并重复的测量步骤下提供有效的帮助，尽可能的减少更换掩模板的时间，以提高检测效率。
21、2.本专利技术通过转轴带动滑动块与连接杆转动至缺口的正上方，此时通过设置的缺口，滑动块与连接杆会在重力的作用下，向下滑动至缺口的内部，可以使吸盘与掩模板贴合，此时再启动第一电机带动滑动板向下滑动，通过气筒与活塞杆的分离，使吸盘的内部产生负压，并且滑动板下滑时，也会带动吸盘下滑，进一步辅助吸盘对掩模板的吸附，保证吸附的稳定性。
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1.一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，包括安装架（1）、物镜（2）、用于放置硅片的承载台（3）以及用于放置掩模板安置架（4）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附组件包括滑动板（20）、气筒（22）、活塞杆（21）以及吸盘（23），所述滑动板（20）滑动安装在吸附块（10）的内部，所述气筒（22）中空设置，并固定安装在滑动板（20）上，所述活塞杆（21）的一端延伸出气筒（22）的外壁，并与吸附块（10）的内部固定连接，另一端与气筒（22）的内部滑动连接，所述吸盘（23）固定安装在气筒（22）的一端，所述吸盘（23）与气筒（22）的内腔连通。
3.根据权利要求2所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附块（10）的顶端固定安装有第一电机（18），所述第一电机（18）的输出轴固定安装有螺纹杆（19），所述螺纹杆（19）的一端贯穿滑动板（20），并与滑动板（20）通过螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述连接杆（8）靠近转动块（14）的一端固定安装有传动
5.根据权利要求4所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附块（10）靠近连接杆（8）的一端固定安装有滑块（9），所述连接杆（8）的一端贯穿滑块（9），所述连接杆（8）上开设有螺旋槽（25），所述滑块（9）的内壁固定安装有导向块（26），所述导向块（26）的一端延伸至螺旋槽（25）的内部。
6.根据权利要求5所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述安装架（1）的内部开设有限位环槽（13），所述滑块（9）的内部滑动安装有限位杆（24），所述限位杆（24）的一端延伸至吸附块（10）的内部，另一端延伸至限位环槽（13）的内部。
7.根据权利要求6所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述转动块（14）的外壁滑动安装有滑动块（28），所述连接杆（8）靠近滑动块（28）的一端固定安装有连接轴（27），所述连接轴（27）的一端延伸至滑动块（28）的内部，所述连接轴（27）与滑动块（28）之间通过扭簧连接。
8.根据权利要求7所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述安装架（1）的内部固定安装有导向环（15），所述导向环（15）上开设有供滑动块（28）进入的缺口（16）。
9.根据权利要求8所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述所述转动块（14）的外壁开设有移动槽（11），所述滑动块（28）靠近转动块（14）的一端固定安装有移动块（6），所述移动块（6）滑动安装在移动槽（11）的内部。
10.一种光刻照明系统的检测方法，该方法采用权利要求1-9中任意一项所述的光刻照明系统的检测装置，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，包括安装架（1）、物镜（2）、用于放置硅片的承载台（3）以及用于放置掩模板安置架（4）；
2.根据权利要求1所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附组件包括滑动板（20）、气筒（22）、活塞杆（21）以及吸盘（23），所述滑动板（20）滑动安装在吸附块（10）的内部，所述气筒（22）中空设置，并固定安装在滑动板（20）上，所述活塞杆（21）的一端延伸出气筒（22）的外壁，并与吸附块（10）的内部固定连接，另一端与气筒（22）的内部滑动连接，所述吸盘（23）固定安装在气筒（22）的一端，所述吸盘（23）与气筒（22）的内腔连通。
3.根据权利要求2所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附块（10）的顶端固定安装有第一电机（18），所述第一电机（18）的输出轴固定安装有螺纹杆（19），所述螺纹杆（19）的一端贯穿滑动板（20），并与滑动板（20）通过螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述连接杆（8）靠近转动块（14）的一端固定安装有传动齿轮（12），所述安装架（1）的内部固定安装有齿环（17），所述传动齿轮（12）与齿环（17）啮合。
5.根据权利要求4所述的一种光刻照明系统的检测装置，其特征在于，所述吸附块（10）靠近连接杆（8）的一端固定安装有滑块（9），所述连接杆（8）的一端贯穿滑块（9...
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩楠，金川，张凯瑞，刘俊伯，王建，胡松，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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