【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆制造，特别涉及一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具。
技术介绍
1、如图1-图3所示，薄膜沉积设备包括用于晶圆长膜的腔体1(tube，腔体或管子)，腔体1在设备维护时需要更换。腔体1通常由石英制成，体积较大，腔体1的高度约2米左右，直径约1米左右，在安装腔体1时，需要两三个人将腔体1放在治具2上，然后慢慢调整腔体1的位置，目测腔体1和治具2大致同轴时即腔体1的轴线和治具2的轴线大致重合时，再用游标卡尺或塞尺测量腔体1的外壁和治具2的内壁之间的多处间隙是否均为1cm左右，如果是，则表示腔体1和治具2同轴，此时可以提升腔体1把腔体1安装到薄膜沉积设备内。如果腔体1和治具2不同轴，腔体1升高后不能与设备的进气管(gas nozzle，进气管)对接，需要放下腔体1，重新调整腔体1相对治具2的位置。
2、然而，目前在调整腔体1相对治具2的位置时，作业人员目测腔体1和治具2大致同轴时，再用游标卡尺或塞尺测量腔体1的外壁和治具2的内壁之间的多处间隙是否均为1cm左右，这样导致需要重复多次调整腔体1相对治具2的位置并且多次测量间隙尺寸，才能使腔体1调整到位，腔体1的安装效率较低。
技术实现思路
1、本技术提供了一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，以解决腔体的安装效率较低的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，包括第一矫正环、第二矫正环、第一连接件、第二连接件、第三连接件和第四连接件；
3、所述第一矫
4、所述第一矫正环的一端和所述第二矫正环的一端通过所述第一连接件连接；
5、所述第一矫正环的另一端和所述第二矫正环的另一端通过所述第二连接件连接；
6、所述第一连接件和/或所述第二连接件为可拆卸式连接件；
7、所述第三连接件的一端与所述第一矫正环连接，另一端设置有卡扣；
8、所述第四连接件的一端与所述第二矫正环连接，另一端设置有卡扣。
9、可选的，所述第三连接件的一端设置有旋转杆；所述第一矫正环上开设有缺口，所述缺口的两端均设置有固定孔，所述旋转杆的两端转动设置在对应的所述固定孔内。
10、可选的，所述第四连接件和所述第三连接件的结构相同，所述第二矫正环和所述第一矫正环的结构相同。
11、可选的，所述第三连接件的一端与所述第一矫正环的中间位置连接，所述第四连接件的一端与所述第二矫正环的中间位置连接。
12、可选的，所述圆柱形空腔的直径等于待安装的腔体的外径。
13、可选的，所述第一连接件和所述第二连接件均为可拆卸式连接件，所述第一连接件和所述第二连接件均为螺栓和螺母。
14、可选的，所述第一连接件和所述第二连接件均为可拆卸式连接件，所述第一连接件和所述第二连接件均为弹簧卡扣。
15、可选的，所述第一连接件为可拆卸式连接件，所述第二连接件为非可拆卸式连接件，所述第一连接件为弹簧卡扣，所述第二连接件为铰链。
16、可选的，所述第一矫正环包括相互连接的外层和内层，所述外层的硬度大于所述内层的硬度。
17、可选的，所述第二矫正环包括相互连接的外层和内层，所述外层的硬度大于所述内层的硬度。
18、本技术提供的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，通过第一连接件和第二连接件连接第一矫正环和第二矫正环，通过第三连接件和第四连接件将连接后的第一矫正环和第二矫正环固定在现有的治具上，在第三连接件和第四连接件的卡扣卡入现有的治具的过程中，腔体被连接后的第一矫正环和第二矫正环移动至现有治具的中心位置，使辅助治具、现有的治具和腔体的轴线重合，此时表示腔体调整到位，可以提升腔体把腔体安装到薄膜沉积设备内。辅助治具带来意想不到的效果是可以不再需要重复多次调整腔体相对治具的位置并且多次测量间隙尺寸，才能使腔体调整到位，使用辅助治具可以明显提高腔体的安装效率，节约时间和人力，确保进气管与腔体顺利对接，提高设备维护效率和设备正常运行的时间。避免了腔体在反复升降过程中，因腔体位置偏移导致腔体与机台内壁发生碰撞而造成经济损失。
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1.一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，包括第一矫正环、第二矫正环、第一连接件、第二连接件、第三连接件和第四连接件；
2.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第三连接件的一端设置有旋转杆；所述第一矫正环上开设有缺口，所述缺口的两端均设置有固定孔，所述旋转杆的两端转动设置在对应的所述固定孔内。
3.如权利要求2所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第四连接件和所述第三连接件的结构相同，所述第二矫正环和所述第一矫正环的结构相同。
4.如权利要求3所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第三连接件的一端与所述第一矫正环的中间位置连接，所述第四连接件的一端与所述第二矫正环的中间位置连接。
5.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述圆柱形空腔的直径等于待安装的腔体的外径。
6.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件均为可拆卸式连接件，所述第一连接件
7.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件均为可拆卸式连接件，所述第一连接件和所述第二连接件均为弹簧卡扣。
8.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第一连接件为可拆卸式连接件，所述第二连接件为非可拆卸式连接件，所述第一连接件为弹簧卡扣，所述第二连接件为铰链。
9.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第一矫正环包括相互连接的外层和内层，所述外层的硬度大于所述内层的硬度。
10.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第二矫正环包括相互连接的外层和内层，所述外层的硬度大于所述内层的硬度。
...【技术特征摘要】
1.一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，包括第一矫正环、第二矫正环、第一连接件、第二连接件、第三连接件和第四连接件；
2.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第三连接件的一端设置有旋转杆；所述第一矫正环上开设有缺口，所述缺口的两端均设置有固定孔，所述旋转杆的两端转动设置在对应的所述固定孔内。
3.如权利要求2所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第四连接件和所述第三连接件的结构相同，所述第二矫正环和所述第一矫正环的结构相同。
4.如权利要求3所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述第三连接件的一端与所述第一矫正环的中间位置连接，所述第四连接件的一端与所述第二矫正环的中间位置连接。
5.如权利要求1所述的一种安装薄膜沉积设备的腔体的辅助治具，其特征在于，所述圆柱形空腔的直径等于待安装的腔体的外径。
6.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：单洪亮，许智鹏，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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