【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及监管数据传输管理，具体为一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法。
技术介绍
1、在半导体生产过程中，不同的生产阶段会使用到不同的生产设备，这些生产设备在半导体生产过程中需要定期进行检查和维护以保障设备的安全运行，进而保障半导体的安全生产；
2、然而，由于每次生产半导体的数量可能有所不同，前一生产阶段完成生产工序后过渡进入到后一阶段的时间因此也有所不同，在进入下一生产阶段需要使用到对应阶段的生产设备是，对应设备的最近一次检查时间可能已距当前时间很久，在设备使用前需要查看设备检查数据来判断设备能否安全运行，对于间隔时间过久上传到监管终端的检查数据，参考其来判断设备能否安全运行，容易降低判断结果的准确性，现有技术未在原有设备检查周期基础上，在必要情况下对设备检查时间，即上传检查数据时间进行预先干预以维持参考检查数据进行判断的结果准确性，无法降低参考检查数据后使用设备的设备故障概率。
3、所以，人们需要一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，所述系统包括：生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块；
3、所述生产数据采集模块的输出端连接所述时间过渡预测
4、所述生产数据采集模块用于采集半导体历史生产信息以及用于半导体生产的设备历史检查信息；
5、所述时间过渡预测模块用于针对不同的生产阶段，依据半导体历史生产信息建立生产时间预测模型，预测当前生产阶段完成当前数量半导体生产工序需要花费的时间；
6、所述生产用设备数据分析模块用于分析在当前生产阶段的下一个生产阶段开始前，参考生产监管终端中已存储的设备检查数据判断设备的运行状态后使用设备时设备故障的概率；
7、所述监管数据传输管理模块用于依据概率分析结果进行设备重检和重检数据传输管理。
8、进一步的，所述生产数据采集模块包括生产数量采集单元、完成时间采集单元和生产用设备信息采集单元；
9、所述生产数量采集单元用于采集半导体的历史生产数量；
10、所述完成时间采集单元用于采集以往生产对应数量半导体时，每个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间信息，半导体包含多个生产阶段，包括晶圆制备、光刻、薄膜沉积、离子注入、退火和封装；
11、所述生产用设备信息采集单元用于采集每个生产阶段用于半导体生产的设备的检查信息，包括当前默认设置的设备检查周期、以往设置过的设备检查周期以及在对应检查周期下，因直接参考传输到生产监管终端的设备检查数据来判断设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数信息，每个生产阶段都有对应用于半导体生产的设备，例如光刻机、薄膜沉积装置等。
12、进一步的，所述时间过渡预测模块包括生产数据调取单元、时间预测模型建立单元和完成时间预测单元；
13、所述生产数据调取单元的输入端连接所述生产数量采集单元和完成时间采集单元的输出端，所述生产数据调取单元的输出端连接所述时间预测模型建立单元的输入端，所述时间预测模型建立单元的输出端连接所述完成时间预测单元的输入端；
14、所述生产数据调取单元用于调取半导体的历史生产数量信息以及以往生产对应数量半导体时每个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间信息至所述时间预测模型建立单元；
15、所述时间预测模型建立单元用于针对每个生产阶段建立生产时间预测模型；
16、所述完成时间预测单元用于获取当前需要生产的半导体数量，将当前需要生产的半导体数量代入到生产时间预测模型中，预测当前生产阶段完成当前数量半导体生产工序需要花费的时间。
17、进一步的，所述生产用设备数据分析模块包括传输数据参考时间分析单元和设备故障概率分析单元；
18、所述传输数据参考时间分析单元的输入端连接所述生产用设备信息采集单元的输出端，所述设备故障概率分析单元的输入端连接所述传输数据参考时间分析单元和完成时间预测单元的输出端；
19、所述传输数据参考时间分析单元用于依据生产用设备信息分析被用于当前生产阶段的下一个生产阶段半导体生产的设备以往在不同的设备检查周期下，因直接参考传输到生产监管终端的设备检查数据来判断设备是否能够正常运行而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的概率，针对对应设备建立故障概率预测模型，分析在当前设置的对应设备检查周期下，在下一生产阶段开始前参考到的对应设备检查数据的传输时间；
20、所述设备故障概率分析单元用于将传输时间与下一生产阶段开始时间之间的间隔时长代入故障概率预测模型中，预测当前情况下直接参考传输至生产监管终端的设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致对应设备被用于半导体生产时会出现故障的概率。
21、进一步的，所述监管数据传输管理模块包括重检判断单元和检查数据再传单元；
22、所述重检判断单元的输入端连接所述设备故障概率分析单元的输出端，所述重检判断单元的输出端连接所述检查数据再传单元的输入端；
23、所述重检判断单元用于设置故障概率阈值，比较预测得到的概率和阈值：若预测得到的概率超出阈值，判断在下一生产阶段开始前需要对对应生产阶段所用设备进行重新检查；若预测得到的概率未超出阈值，判断在下一生产阶段开始前不需要对对应生产阶段所用设备进行重新检查，选择在下一生产阶段开始前直接参考生产监管终端中已存储的对应设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行；
24、所述检查数据再传单元用于若判断在下一生产阶段开始前需要对对应生产阶段所用设备进行重新检查，在对设备进行重新检查后将设备检查数据传输至生产监管终端，在下一生产阶段开始前参考重新检查后传输的设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行，在判断对应设备能够正常运行后，在下一生产阶段开始时使用对应设备完成对应阶段的半导体生产工序。
25、一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，包括以下步骤：
26、z1：采集半导体历史生产信息以及用于半导体生产的设备历史检查信息；
27、z2：针对不同的生产阶段，依据半导体历史生产信息建立生产时间预测模型，预测当前生产阶段完成当前数量半导体生产工序需要花费的时间；
28、z3：分析在当前生产阶段的下一个生产阶段开始前，参考生产监管终端中已存储的设备检查数据判断设备的运行状态后使用设备本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述系统包括：生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产数据采集模块包括生产数量采集单元、完成时间采集单元和生产用设备信息采集单元；
3.根据权利要求2所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述时间过渡预测模块包括生产数据调取单元、时间预测模型建立单元和完成时间预测单元；
4.根据权利要求3所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产用设备数据分析模块包括传输数据参考时间分析单元和设备故障概率分析单元；
5.根据权利要求4所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述监管数据传输管理模块包括重检判断单元和检查数据再传单元；
6.一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步
8.根据权利要求7所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤Z2中：获取到当前需要生产的半导体当前正处于第i个生产阶段，调取到以往生产集合M中对应数量半导体时，第i个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间集合为t＝{t1，t2，…，tr}，对数据点{(M1，t1)，(M2，t2)，…，(Mr，tr)}进行直线拟合，建立用于预测当前生产阶段完成半导体生产工序需要花费时间的生产时间预测模型：Y＝a*X+b，其中，a和b表示生产时间预测模型的拟合系数，分别求解a和b：
9.根据权利要求8所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤Z3中：调取到以往设置过的被用于第i+1个生产阶段半导体生产的设备检查周期集合L＝{L1，L2，…，Ln}，n表示对应设备的检查周期历史设置次数，调取到以往在不同的检查周期下，因直接参考传输到生产监管终端的对应设备检查数据来判断设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数集合为H＝{H1，H2，…，Hn}，根据计算得到在设置检查周期为Lj时，因直接参考传输到生产监管终端的对应设备检查数据来判断设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的概率Pj，得到故障概率集合为P＝{P1，P2，…，Pj，…，Pn}，对数据点{(H1，P1)，(H2，P2)，…，
10.根据权利要求9所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤Z4中：设置故障概率阈值为p’，比较p和p’：若p>p’，判断在第i+1个生产阶段开始前需要对对应生产阶段所用设备进行重新检查，在对设备进行重新检查后将设备检查数据传输至生产监管终端，在第i+1个生产阶段开始前参考重新检查后传输的设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行；若p≤p’，判断在第i+1个生产阶段开始前不需要对对应生产阶段所用设备进行重新检查，选择在第i+1个生产阶段开始前直接参考生产监管终端中已存储的对应设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行，在判断对应设备能够正常运行后，在第i+1个生产阶段开始时使用对应设备完成对应阶段的半导体生产工序。
...【技术特征摘要】
1.一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述系统包括：生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产数据采集模块包括生产数量采集单元、完成时间采集单元和生产用设备信息采集单元；
3.根据权利要求2所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述时间过渡预测模块包括生产数据调取单元、时间预测模型建立单元和完成时间预测单元；
4.根据权利要求3所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述生产用设备数据分析模块包括传输数据参考时间分析单元和设备故障概率分析单元；
5.根据权利要求4所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管系统，其特征在于：所述监管数据传输管理模块包括重检判断单元和检查数据再传单元；
6.一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤z1中：采集到半导体以往每次生产时的历史生产数量集合为m＝{m1，m2，…，mr}，r表示半导体的历史生产次数，采集以往生产对应数量半导体时，每个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间信息，采集每个生产阶段用于半导体生产的设备的检查信息，包括当前默认设置的设备检查周期、以往设置过的设备检查周期以及在对应检查周期下，因直接参考传输到生产监管终端的设备检查数据来判断设备是否能够正常运行，在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数信息。
8.根据权利要求7所述的一种基于物联网的半导体生产数据监管方法，其特征在于：在步骤z2中：获取到当前需要生产的半导体当前正处于第i个生产阶段，调取到以往生产集合m中对应数量半导体时，第i个生产阶段完成对应数量半导...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，汤小敏，付强，
申请(专利权)人：江苏满旺半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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