一种除尘管路制造技术

本技术提供了一种除尘管路，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管、第四连接管、第一闸阀、第二闸阀、第一积尘杯和第二积尘杯；第一连接管的上端用于连通设备的腔室，第一连接管的下端与第一闸阀的上端连通，第一闸阀的下端与第一积尘杯连通；第二连接管的上端与第一连接管连通，第二连接管和第一连接管之间的夹角为α，α满足0°＜α＜90°；第二连接管的下端与第三连接管的上端连通，第三连接管的下端与第二闸阀的上端连通，第二闸阀的下端与第二积尘杯连通；第四连接管的上端与第三连接管连通。可以在干泵和整个设备正常运行时逐个清理积尘杯，或者等腔室的预防维护时清理积尘杯，这样提高了设备的运行时间，减少了设备维护的次数。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种除尘管路。

技术介绍

1、在半导体的生产过程中，有些制程会产生粉尘等污染物，产生污染物的制程通常称为harsh(恶劣的)制程。如图1所示，为了排出设备的腔室1内的粉尘，通常需要使用除尘管路2和干泵3(dry pump，干式真空泵或干泵)；除尘管路2为倒y形，包括第一端口201、第二端口202和第三端口203，第一端口201与腔1室连通，第二端口202通过闸阀4(gate valve，闸阀)与积尘杯5连通，第三端口203与干泵3的吸气口连通，干泵3的排气口与粉尘处理设备连通；腔室1通常设置在干泵3的上一楼层上，除尘管路2的第一端口201和第二端口202之间的连线通常竖直设置。干泵3运行时在除尘管路2内产生吸力，粉尘在吸力和重力的作用下落入积尘杯5内。

2、由于积尘杯5储存粉尘的容量有限，积尘杯5的清理很难和腔室1的预防维护时同时进行。在清理粉尘时需要关闭干泵3和整个设备，取下积尘杯5，并使用毛刷疏通竖直方向的管路，降低了生产效率。

技术实现思路

1、本使用新型提供了一种除尘管路，以解决在清理粉尘时需要关闭干泵和整个设备的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种除尘管路，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管、第四连接管、第一闸阀、第二闸阀、第一积尘杯和第二积尘杯；

3、所述第一连接管的上端用于连通设备的腔室，所述第一连接管的下端与所述第一闸阀的上端连通，所述第一闸阀的下端与所述第一积尘杯连通；

<p>4、所述第二连接管的上端与所述第一连接管连通，所述第二连接管和所述第一连接管之间的夹角为α，所述α满足0°＜α＜90°；

5、所述第二连接管的下端与所述第三连接管的上端连通，所述第三连接管的下端与所述第二闸阀的上端连通，所述第二闸阀的下端与所述第二积尘杯连通；

6、所述第四连接管的上端与所述第三连接管连通，所述第四连接管和所述第三连接管之间的夹角为β，所述β满足0°＜β＜90°；所述第四连接管的下端用于连通干泵。

7、可选的，所述α满足0°＜α＜45°。

8、可选的，所述第一连接管和所述第三连接管平行设置。

9、可选的，所述β满足0°＜β＜45°。

10、可选的，所述除尘管路还包括第五连接管；所述第四连接管的下端与所述第五连接管的上端连通，所述第五连接管的下端与所述干泵连通。

11、可选的，所述第五连接管与所述第一连接管平行设置。

12、可选的，所述第二连接管和所述第四连接管设置在所述第一连接管和所述第三连接管之间。

13、可选的，所述第二连接管的上端与所述第一连接管的中下部连通。

14、可选的，所述第四连接管的上端与所述第三连接管的中下部连通。

15、可选的，所述第二连接管和所述第四连接管的形状和尺寸均相同。

16、本技术提供的一种除尘管路，包括两个闸阀和两个积尘杯，当需要清理粉尘时，干泵和整个设备可以正常运行，此时可以只关闭其中一个闸阀并清理该闸阀对应的积尘杯，另一个闸阀保持打开状态以使对应的积尘杯收集粉尘。意想不到的效果是可以在干泵和整个设备正常运行时逐个清理积尘杯，或者等腔室的预防维护时同步清理积尘杯，这样提高了设备的运行时间，减少了设备维护的次数。两个积尘杯收集的粉尘量比原先一个积尘杯收集的粉尘量多。另外，第一连接管和第三连接管的长度比原先竖直方向的管路短，在用毛刷清理时，第一连接管和第三连接管更容易清理干净，防止除尘管路和干泵堵塞。

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【技术保护点】

1.一种除尘管路，其特征在于，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管、第四连接管、第一闸阀、第二闸阀、第一积尘杯和第二积尘杯；

2.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述α满足0°＜α＜45°。

3.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第一连接管和所述第三连接管平行设置。

4.如权利要求3所述的一种除尘管路，其特征在于，所述β满足0°＜β＜45°。

5.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述除尘管路还包括第五连接管；所述第四连接管的下端与所述第五连接管的上端连通，所述第五连接管的下端与所述干泵连通。

6.如权利要求5所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第五连接管与所述第一连接管平行设置。

7.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第二连接管和所述第四连接管设置在所述第一连接管和所述第三连接管之间。

8.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第二连接管的上端与所述第一连接管的中下部连通。

9.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第四连接管的上端与所述第三连接管的中下部连通。

10.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第二连接管和所述第四连接管的形状和尺寸均相同。

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【技术特征摘要】

1.一种除尘管路，其特征在于，包括第一连接管、第二连接管、第三连接管、第四连接管、第一闸阀、第二闸阀、第一积尘杯和第二积尘杯；

2.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述α满足0°＜α＜45°。

3.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述第一连接管和所述第三连接管平行设置。

4.如权利要求3所述的一种除尘管路，其特征在于，所述β满足0°＜β＜45°。

5.如权利要求1所述的一种除尘管路，其特征在于，所述除尘管路还包括第五连接管；所述第四连接管的下端与所述第五连接管的上端连通，所述第五连接管的下端与所述干泵连...

【专利技术属性】
技术研发人员：许佳，何毓纬，杨翼虎，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：