【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，特别是涉及一种搬运装置及晶圆加工系统。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，离不开大量晶圆片的使用，如需要对晶圆进行如刻蚀、光刻加工等操作，因此，需要将晶圆在各个工位之间进行搬运传送，在搬运传送稳定性和速度越快，对晶圆的加工效率越高；目前在用的晶圆搬运方式是人工操作真空吸盘吸附固定晶圆并将晶圆转移至放料卡塞内，这种人工搬运的方式的搬运效率低，且容易造成晶圆的划伤及破损，严重制约了晶圆的产能提升及产品一致性。
技术实现思路
1、旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，本技术提供一种搬运装置、及具有该搬运装置的晶圆加工系统，所述搬运装置有助于提升晶圆的产能及提高晶圆的产品一致性。
2、为了实现上述目的，本技术提供了一种搬运装置，包括基座、升降座、第一旋转机构和第一吸附件；所述升降座连接于所述基座的上端；所述第一旋转机构包括第一连接臂和第二连接臂，所述第一连接臂的一端转动连接于所述升降座上，所述第二连接臂的一端转动连接于所述第一连接臂远离所述升降座的一端；所述第一吸附件连接于所述第一旋转机构远离所述升降座的一端并用于吸附固定晶圆；其中，所述第一连接臂的旋转轴线设定为第一轴线，所述第二连接臂的旋转轴线设定为第二轴线，所述第一轴线和所述第二轴线相平行。
3、在一些实施方式中，所述第一吸附件包括吸附板，所述吸附板连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述吸附板的内部开设有负压腔体，所述吸附板靠近所述第二连接臂的一端开设有与所述负压腔体相连通
4、在一些实施方式中，所述第一旋转机构还包括第三连接臂，所述第三连接臂的一端转动连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述第一吸附件连接于所述第三连接臂远离所述第二连接臂的一端上；其中，所述第三连接臂的旋转轴线设定为第三轴线，所述第三轴线和所述第二轴线相平行。
5、在一些实施方式中，还包括第二旋转机构和第二吸附件，所述第二旋转机构包括第四连接臂、第五连接臂和第六连接臂，所述第四连接臂的一端转动连接于所述升降座上，所述第五连接臂的一端转动连接于所述第四连接臂远离所述升降座的一端上，所述第六连接臂的一端转动连接于所述第五连接臂远离所述第四连接臂的一端上，所述第二吸附件连接于所述第六连接臂远离所述第五连接臂的一端上并用于吸附固定晶圆；其中，所述第四连接臂的旋转轴线设定为第四轴线，所述第五连接臂的旋转轴线设定为第五轴线，所述第六连接臂的旋转轴线设定为第六轴线，所述第一轴线、第四轴线、第五轴线和第六轴线相互平行。
6、在一些实施方式中，还包括扫描传感器，所述第一旋转机构和/或所述第二旋转机构安装有所述扫描传感器。
7、本技术还提供一种晶圆加工系统，包括上述任一项所述的搬运装置，还包括用于存放所述晶圆的取料卡塞、用于浸泡所述晶圆的浸泡装置、用于干燥所述晶圆的干燥装置、及用于存放所述晶圆的放料卡塞，所述取料卡塞、所述浸泡装置、所述干燥装置和所述放料卡塞沿预设顺序分布在所述基座的周向上。
8、在一些实施方式中，所述浸泡装置包括水槽、液位传感器、进水管、进水阀、出水管和出水阀，所述水槽用于容纳所述晶圆，所述液位传感器安装于所述水槽内，所述进水管和所述水槽相连通，所述进水阀安装于所述进水管，所述出水管和所述水槽相连通，所述出水阀安装于所述出水管。
9、在一些实施方式中，所述干燥装置包括甩干组件，所述甩干组件包括驱动电机、转盘和多个限位柱，所述转盘连接于所述驱动电机的上端，所述驱动电机能够驱动所述转盘绕所述转盘的中心轴线转动，所述限位柱连接于所述转盘的上表面，多个所述限位柱之间围成有用于容纳所述晶圆的容置区域。
10、在一些实施方式中，所述干燥装置还包括空气净化器，所述空气净化器位于所述转盘的一侧。
11、在一些实施方式中，还包括控制器，所述搬运装置、所述浸泡装置和所述干燥装置均与所述控制器电性连接。
12、本技术实施例提供的一种搬运装置与现有技术相比，其有益效果在于：(1)、通过设置升降座和第一旋转机构能够分别实现第一吸附件升降和平移，从而使得第一吸附件能够移动至第一指定位置上并在第一指定位置上吸附固定晶圆，再移动至第二指定位置上并在第二指定位置上放开晶圆，进而实现在第一指定位置和第二指定位置的自动搬运，因此，本技术所提供的搬运装置能够通过升降座和第一旋转机构实现晶圆的在指定位置之间的自动搬运，提高搬运效率，避免晶圆出现划伤和破损，有助于提升晶圆的产能及提高晶圆的产品一致性。
13、(2)、通过设置第一连接臂和第二连接臂，能够使第一吸附件具有两个平移自由度，从而能够扩大第一吸附件的搬运范围，便于使用。
14、本技术实施例提供的一种晶圆搬运系统与现有技术相比，其有益效果在于：通过将取料卡塞、浸泡装置、干燥装置和放料卡塞沿预设顺序分布在所述基座的周向上，可以通过搬运装置实现晶圆在取料卡塞、浸泡装置、干燥装置和放料卡塞之间的自动搬运，从而能够提高晶圆在取料卡塞、浸泡装置、干燥装置和放料卡塞之间的搬运效率，进而能够提高晶圆的加工效率，有助于提升晶圆的产能及提高晶圆的产品一致性。
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1.一种搬运装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一吸附件包括吸附板，所述吸附板连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述吸附板的内部开设有负压腔体，所述吸附板靠近所述第二连接臂的一端开设有与所述负压腔体相连通的气孔，所述吸附板远离所述第二连接臂的一端开设有与所述负压腔体相连通的吸附孔。
3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一旋转机构还包括第三连接臂，所述第三连接臂的一端转动连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述第一吸附件连接于所述第三连接臂远离所述第二连接臂的一端上；
4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括第二旋转机构和第二吸附件，所述第二旋转机构包括第四连接臂、第五连接臂和第六连接臂，所述第四连接臂的一端转动连接于所述升降座上，所述第五连接臂的一端转动连接于所述第四连接臂远离所述升降座的一端上，所述第六连接臂的一端转动连接于所述第五连接臂远离所述第四连接臂的一端上，所述第二吸附件连接于所述第六连接臂远离所述第五连接臂的一端上并用于吸附固定晶圆；p>
5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，还包括扫描传感器，所述第一旋转机构和/或所述第二旋转机构安装有所述扫描传感器。
6.一种晶圆加工系统，其特征在于，包括根据权利要求1-5任一项所述的搬运装置，还包括用于存放所述晶圆的取料卡塞、用于浸泡所述晶圆的浸泡装置、用于干燥所述晶圆的干燥装置、及用于存放所述晶圆的放料卡塞，所述取料卡塞、所述浸泡装置、所述干燥装置和所述放料卡塞沿预设顺序分布在所述基座的周向上。
7.根据权利要求6所述的晶圆加工系统，其特征在于，所述浸泡装置包括水槽、液位传感器、进水管、进水阀、出水管和出水阀，所述水槽用于容纳所述晶圆，所述液位传感器安装于所述水槽内，所述进水管和所述水槽相连通，所述进水阀安装于所述进水管，所述出水管和所述水槽相连通，所述出水阀安装于所述出水管。
8.根据权利要求6所述的晶圆加工系统，其特征在于，所述干燥装置包括甩干组件，所述甩干组件包括驱动电机、转盘和多个限位柱，所述转盘连接于所述驱动电机的上端，所述驱动电机能够驱动所述转盘绕所述转盘的中心轴线转动，所述限位柱连接于所述转盘的上表面，多个所述限位柱之间围成有用于容纳所述晶圆的容置区域。
9.根据权利要求8所述的晶圆加工系统，其特征在于，所述干燥装置还包括空气净化器，所述空气净化器位于所述转盘的一侧。
10.根据权利要求6所述的晶圆加工系统，其特征在于，还包括控制器，所述搬运装置、所述浸泡装置和所述干燥装置均与所述控制器电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一吸附件包括吸附板，所述吸附板连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述吸附板的内部开设有负压腔体，所述吸附板靠近所述第二连接臂的一端开设有与所述负压腔体相连通的气孔，所述吸附板远离所述第二连接臂的一端开设有与所述负压腔体相连通的吸附孔。
3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述第一旋转机构还包括第三连接臂，所述第三连接臂的一端转动连接于所述第二连接臂远离所述第一连接臂的一端上，所述第一吸附件连接于所述第三连接臂远离所述第二连接臂的一端上；
4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括第二旋转机构和第二吸附件，所述第二旋转机构包括第四连接臂、第五连接臂和第六连接臂，所述第四连接臂的一端转动连接于所述升降座上，所述第五连接臂的一端转动连接于所述第四连接臂远离所述升降座的一端上，所述第六连接臂的一端转动连接于所述第五连接臂远离所述第四连接臂的一端上，所述第二吸附件连接于所述第六连接臂远离所述第五连接臂的一端上并用于吸附固定晶圆；
5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，还包括扫描传感器，所述第一旋转机构和/或所述第二旋转机构安装有所述扫描传感器。
6.一种晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：李伟健，张庆，陈子秋，吴伟平，
申请(专利权)人：广东长信精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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