【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种半导体工艺流程模拟系统和方法。
技术介绍
1、在现代工业生产和管理过程中，工艺流程的设计和优化是至关重要的环节。工艺流程设计不仅影响到生产效率和产品质量，还关系到企业的成本控制和市场竞争力。为了提高工艺流程设计的效率和准确性，工艺模拟器应运而生。传统工艺模拟器中的工作流设计器提供了图形化操作界面，用户可以通过拖拽和点击等操作，直观地设计和调整工艺流程。
2、然而，由于传统设计器的控件和功能模块是预先定义的，用户在设计工艺流程时只能在这些预设的控件和模块范围内进行选择和配置。这种方式虽然简化了设计过程，但也限制了用户的自定义能力，无法满足一些特殊工艺流程的需求。例如，在某些高度定制化的生产过程中，可能需要特定的工艺步骤和参数配置，而这些步骤和参数在传统设计器中无法找到对应的控件和模块，导致用户无法实现精确的工艺流程配置。
3、其次，工艺流程的配置不仅涉及到各个步骤的排列和组合，还需要对每个步骤的参数进行详细的设置和调整，以确保工艺流程的准确性和可行性。传统设计器在参数配置方面采用固定的配置模板，用户只能在这些模板中进行选择和调整，无法根据实际需求进行灵活的参数配置。
4、因此，如何提高工艺流程设计的灵活性和准确性，简化设计过程，降低设计成本，成为了亟待解决的技术难题。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的是提供一种半导体工艺流程模拟系统和方法，旨在提高工艺流程设计的灵活性和准确性，简化设计过程，降低设计成本。
2、为了实现上述目的，本专利技术提出一种半导体工艺流程模拟系统，包括
3、流程解析单元，用于对第一目标文件进行解析，获取第一目标文件中的工艺步骤；
4、载具管理单元，用于对第二目标文件进行解析，获取第二目标文件中的载具信息；以及
5、流程控制模块，获取所述工艺步骤、载具信息、载具的起点位置、以及载具的终点位置，并根据所述工艺步骤、载具信息、载具的起点位置、以及载具的终点位置，控制所述载具移动以和工艺步骤中的工艺流程协同，以完成工艺流程模拟。
6、在本申请的一实施例中，所述流程控制模块包括：
7、多个工艺机台，用于完成工艺步骤中的各个不同的工艺流程；
8、下位执行单元，用于执行对载具的搬送任务，并在执行完成搬送指令后，将当前位置发送至载具管理单元，以更新载具位置信息；以及
9、流程控制单元，获取所述工艺步骤、载具信息、载具的起点位置、以及载具的终点位置，根据所述工艺步骤、载具信息、载具的起点位置、以及载具的终点位置生成搬送指令下发至所述下位执行单元，待下位执行单元执行完成后，控制工艺机台执行工艺步骤中对应的工艺流程。
10、在本申请的一实施例中，还包括自定义单元，可对工艺步骤进行调整，以改变工艺步骤中的工艺流程。
11、在本申请的一实施例中，还包括时间设定模块，用于对各个工艺机台进行时间设定。
12、本申请还公开了一种用于半导体工艺流程模拟系统的方法，包括以下步骤：
13、获取工艺步骤和载具信息；
14、根据所述工艺步骤和所述载具信息，控制载具移动以和所述工艺步骤的工艺流程协同，以完成工艺流程模拟。
15、在本申请的一实施例中，控制载具移动以和所述工艺步骤的工艺流程协同包括以下步骤：
16、s1、获取目标载具的当前位置和工艺步骤的初始位置，并控制载具移动至工艺步骤的初始位置，待移动完成后，更新目标载具的当前位置和工艺步骤中下一工艺流程的起始位置；
17、s2、执行工艺步骤中的工艺流程，待工艺流程完成后，判断当前工艺流程是否为最后一个工艺流程，若否，重复步骤s1和s2。
18、在本申请的一实施例中，判断当前的工艺流程是否为工艺步骤中的最后一个工艺流程，若是，则终止流程。
19、在本申请的一实施例中，所述工艺步骤包括工艺顺序、工艺参数中的至少一种。
20、在本申请的一实施例中，所述载具信息包括载具id、载具的工艺批次中的至少一种。
21、采用上述技术方案，系统通过解析工艺步骤和载具信息，能够高效地模拟半导体工艺流程，提高了工艺流程设计的灵活性，简化设计过程，降低设计成本。通过载具管理单元的有效解析与管理，系统能够灵活应对不同类型的载具，确保其按照预设流程高效移动。流程控制模块的实时监控和反馈机制，使得系统能够根据当前情况进行动态调整，优化流程效率，减少时间和资源的浪费。系统设计具备较好的扩展性，可以方便地接入新的工艺步骤或载具类型，从而适应不同的生产需求和工艺变化。
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1.一种半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，包括
2.如权利要求1所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，所述流程控制模块包括：
3.如权利要求1所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，还包括自定义单元，可对工艺步骤进行调整，以改变工艺步骤中的工艺流程。
4.如权利要求2所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，还包括时间设定模块，用于对各个工艺机台进行时间设定。
5.一种用于半导体工艺流程模拟系统的方法，其特征在于，包括以下步骤：
6.如权利要求5所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，控制载具移动以和所述工艺步骤的工艺流程协同包括以下步骤：
7.如权利要求6所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，判断当前的工艺流程是否为工艺步骤中的最后一个工艺流程，若是，则终止流程。
8.如权利要求5所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，所述工艺步骤包括工艺顺序、工艺参数中的至少一种。
9.如权利要求5所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，所述载具信息包括载具ID、载具的工艺批次中
...【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，包括
2.如权利要求1所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，所述流程控制模块包括：
3.如权利要求1所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，还包括自定义单元，可对工艺步骤进行调整，以改变工艺步骤中的工艺流程。
4.如权利要求2所述的半导体工艺流程模拟系统，其特征在于，还包括时间设定模块，用于对各个工艺机台进行时间设定。
5.一种用于半导体工艺流程模拟系统的方法，其特征在于，包括以下步骤：
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭洪，胡平，杨海军，金荣焕，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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