【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及吸附工具，特别涉及一种吸盘。本专利技术还涉及一种包括上述吸盘的承载装置。本专利技术又涉及一种吸附方法。
技术介绍
1、对于某些需要保证平整的结构，通常通过承载装置对待吸附件进行矫正。
2、例如，晶圆不可避免的存在一定的翘曲量，对于存在较大翘曲的晶圆，通过设置在承载装置上的吸盘对其吸附，传统的吸盘为在本体的吸附面边缘设置密封环，通过内部抽真空进行吸附。
3、传统吸盘在吸附待吸附件时，待吸附件容易存在移动，导致吸盘无法准确吸附待吸附件。此外，传统吸盘也存在吸附不均匀的问题，会导致被吸附后的晶圆仍存在较大的翘曲量，无法满足光学检测的应用场景。
4、因此，如何提高吸盘的吸附效果，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种吸盘，该吸盘的吸附效果提高。本专利技术的另一目的是提供一种包括上述吸盘的承载装置。本专利技术的又一目的是提供一种吸附方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种吸盘，包括本体，所述本体具有吸附面、气道和排气孔，所述吸附面上设有至少两种横截面积不同的抽气孔，横截面积较大的抽气孔相较横截面积较小的抽气孔更靠近于所述吸附面的中心，所述抽气孔通过所述气道与所述排气孔连通，所述抽气孔用于将待吸附件由所述吸附面的中心向所述吸附面的边缘逐渐吸附于所述本体上。
3、可选地，在上述吸盘中，所述本体具有设置在所述吸附面上，且用于与所述待吸附件密封贴合的多个密封环，各所述密封环依次
4、可选地，在上述吸盘中，每个所述吸附区域在所述吸附面的中心至边缘的方向上具有径向宽度，所述吸附区域的径向宽度与所述待吸附件的表面翘曲度分布有关。
5、可选地，在上述吸盘中，所述吸附区域的径向宽度随所述待吸附件的表面翘曲度曲线斜率的增大而减小。
6、可选地，在上述吸盘中，在所述待吸附件的中心至边缘的方向上，具有特定翘曲度差值的多个延伸段，所述延伸段在所述吸附面上的投影宽度被配置为所述吸附区域的径向宽度。
7、可选地，在上述吸盘中，每个所述吸附区域在所述吸附面的中心至边缘的方向上具有径向宽度，所述吸附区域的径向宽度均相等。
8、可选地，在上述吸盘中，所述吸附区域在所述吸附面的中心至边缘的方向上具有径向宽度，所述吸附区域的径向宽度随所述吸附区域与所述吸附面中心的距离的增大而减小。
9、可选地，在上述吸盘中，每个所述吸附区域内设有多个所述抽气孔且分布于不同的所述气道上，每个所述吸附区域内所述抽气孔位于一个同心圆上，且等间距分布。
10、可选地，在上述吸盘中，同一个所述气道连接的各所述抽气孔在所述吸附面的中心至边缘的方向上依次设置。
11、可选地，在上述吸盘中，所述气道的数量至少为两个，所有所述气道的一端在所述本体的中心位置处相互连通，所述吸附面的中心设有中心气孔且与所述本体的中心连通，所有所述气道呈辐射状分布，每个所述气道上均设有与每个所述吸附区域连通的所述抽气孔。
12、可选地，在上述吸盘中，所述排气孔连通所述本体的中心，且与所述中心气孔配合以贯穿所述本体。
13、可选地，在上述吸盘中，所述气道远离所述排气孔的外端延伸至所述本体的侧部，且所述气道外端通过堵头密封。
14、可选地，在上述吸盘中，所述吸盘为一体成型结构，所述吸盘为金属结构、塑料结构或陶瓷结构。
15、一种承载装置，包括充放气装置及与所述充放气装置连接的吸盘，所述吸盘为上述任一项所述的吸盘；
16、所述充放气装置用于与所述吸盘上的排气孔管道连接，用于从所述气道吸取气体，或者向所述气道充入气体。
17、一种吸附方法，通过如上述任一项所述的吸盘或如上述所述的承载装置吸附带待吸附件，包括步骤：
18、检测待吸附件放置于所述吸盘的吸附面上；
19、通过排气孔从气道、抽气孔进行吸气，同时吸取所述待吸附件和吸附面之间的气体；
20、在吸取气体的过程中，使所述待吸附件由所述吸附面的中心至边缘位置逐渐与所述吸附面贴合密封。
21、可选地，在上述吸附方法中，还包括步骤：在对所述吸盘的吸气过程中，监测管道气压，当管道气压下降至吸附预设气压时，停止吸气。
22、在上述技术方案中，本专利技术提供的吸盘包括本体，本体，本体具有吸附面、气道和排气孔，吸附面上设有至少两种横截面积不同的抽气孔，横截面积较大的抽气孔相较横截面积较小的抽气孔更靠近于吸附面的中心，抽气孔通过气道与排气孔连通，抽气孔用于将待吸附件由吸附面的中心向吸附面的边缘逐渐吸附于本体上。
23、通过上述描述可知，在本申请提供的吸盘中，当待吸附件中心被吸附后，该区域不再有气体流动，负压向外侧区域扩散，使待吸附件外侧区域依次实现吸附。该过程不断重复，实现待吸附件由中心向边缘吸附，进而实现待吸附件稳定吸附，本申请提供的吸盘的吸附效果提高。
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1.一种吸盘，其特征在于，包括本体(1)，所述本体(1)具有吸附面、气道(6)和排气孔(5)，所述吸附面上设有至少两种横截面积不同的抽气孔，横截面积较大的抽气孔相较横截面积较小的抽气孔更靠近于所述吸附面的中心，所述抽气孔(7)通过所述气道(6)与所述排气孔(5)连通，所述抽气孔(7)用于将待吸附件(4)由所述吸附面的中心向所述吸附面的边缘逐渐吸附于所述本体(1)上。
2.根据权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述本体(1)具有设置在所述吸附面上，且用于与所述待吸附件(4)密封贴合的多个密封环(2)，各所述密封环(2)依次套设且被间隔设置，相邻两个所述密封环(2)与所述吸附面之间形成吸附区域，每个所述吸附区域对应的所述吸附面上设有至少一个所述抽气孔(7)。
3.根据权利要求2所述的吸盘，其特征在于，每个所述吸附区域在所述吸附面的中心至边缘的方向上具有径向宽度，所述吸附区域的径向宽度与所述待吸附件(4)的表面翘曲度分布有关。
4.根据权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述吸附区域的径向宽度随所述待吸附件的表面翘曲度曲线斜率的增大而减小。
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