【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及平面度检测，具体为一种带有限位功能的石英环平面度检测机。
技术介绍
1、石英环通常用于半导体制造等精密领域，其平面度对产品质量和性能有着重要影响，因此需要通过专门的检测机器进行检测，而平面度检测机是一种用于测量工件表面平面度的设备，广泛应用于制造业、机械加工、电子产业等领域，平面度是表面平坦度的一种度量指标，用于描述工件表面与一个理想平面之间的偏差程度，平面度检测机的主要作用是通过高精度的测量系统对工件表面的平面度进行检测和评估，因此常用平面度检测机对石英环的平面度进行检测；
2、但是现有的平面度检测机只能对石英环的顶端和底端进行平面检测，而不能对石英环弧面平整度检测的，需要多次移动石英环从而会造成石英环的表面磨损，从而损毁石英环造成经济损失，为避免上述技术问题，确有必要提供一种带有限位功能的石英环平面度检测机以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种带有限位功能的石英环平面度检测机，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的现有的平面度检测机只能对石英环的顶端和底端进行平面检测，而不能对石英环弧面平整度检测的，需要多次移动石英环从而会造成石英环的表面磨损，从而损毁石英环造成经济损失，为避免上述技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种带有限位功能的石英环平面度检测机，包括安装盒，所述安装盒的顶端安装有检测组件；
3、所述检测组件包括滑动杆、滑动套筒、横向滑杆、限位螺杆、滑动块、固定柱、l形连杆、
4、所述安装盒的顶端安装有滑动杆，所述滑动杆外侧滑动套接有滑动套筒，所述滑动套筒的外侧焊接有横向滑杆，所述滑动套筒的内侧螺纹连接有限位螺杆，所述横向滑杆的外侧滑动套接有滑动块，所述滑动块的一侧端面安装有固定柱，所述固定柱的外侧转动套接有l形连杆，所述l形连杆的一侧端面与固定柱水平位置处开设有平面定位孔，所述滑动块的一侧端面与固定柱竖直位置处开设有环面定位孔，所述l形连杆的内侧螺纹连接有固定螺杆，所述l形连杆的一侧端面安装有平面度表，所述安装盒的顶端对称开设有两个移动槽；
5、所述安装盒的内侧安装有支撑座，所述支撑座的顶端开设有稳定槽，所述稳定槽的内侧转动连接有稳定环槽板，所述支撑座的内侧中部位置处安装有伺服电机；
6、所述横向滑杆的外侧套接有润滑盒，所述润滑盒的内侧底部开设有海绵腔室，所述海绵腔室的内侧嵌入有润滑海绵，所述润滑海绵的内侧与横向滑杆对应位置处开设有润滑槽，所述润滑盒的内侧与横向滑杆对应位置处开设有限位滑槽，所述润滑盒的内侧顶部开设有储液槽，所述储液槽的底端开设有出液孔，所述出液孔的内侧滑动安装有启闭螺纹杆，所述启闭螺纹杆的内侧底部位置处开设有启闭槽，所述启闭螺纹杆的顶端焊接有扭动块，所述润滑盒的顶端卡接有橡胶塞，所述润滑盒的正端面开设有观液玻璃，所述观液玻璃的正面粘结有刻度水平线，所述润滑盒的顶端与启闭螺纹杆对应位置处开设有升降槽。
7、优选的，所述滑动套筒的内侧与滑动杆对应位置处开设有活动孔，所述滑动套筒通过活动空滑动套接在滑动杆的外侧位置处。
8、优选的，所述l形连杆的内侧与固定螺杆对应位置处开设与角度孔，所述固定螺杆穿过角度孔插入到平面定位孔的内侧位置处。
9、优选的，所述伺服电机的传动端与稳定环槽板的底端相连接，所述伺服电机的输入端与外部电源的输出端电性连接。
10、优选的，所述启闭螺纹杆的直径与出液孔的直径相等，所述启闭螺纹杆通过升降槽与润滑盒螺纹连接。
11、优选的，所述刻度水平线设置有两组，两组刻度水平线对称粘结在观液玻璃的正端面。
12、优选的，所述润滑盒的顶端与橡胶塞对应位置处开设有注液槽，所述橡胶塞通过注液槽卡接在润滑盒的内侧位置处。
13、优选的，所述限位滑槽设置有两组，两组限位滑槽对称开设在润滑盒的两侧端面。
14、优选的，所述稳定环槽板的顶端安装有固定组件；
15、所述固定组件包括定位槽、电磁铁、安装块、定位块、定位套筒、定位滑杆、支撑弹簧和橡胶支撑板；
16、所述稳定环槽板的顶端等角度开设有定位槽，所述定位槽的内侧滑动嵌入有电磁铁，所述电磁铁的顶端安装有安装块，所述安装块的顶端焊接有定位块，所述定位块的内侧焊接有定位套筒，所述定位套筒的内侧滑动嵌入有定位滑杆，所述定位滑杆的外侧套接有支撑弹簧，所述定位滑杆的一端粘结有橡胶支撑板。
17、优选的，所述支撑弹簧的一端与定位块相点焊，所述支撑弹簧的另一端与橡胶支撑板相点焊。
18、与现有技术相比，本专利技术的有益效果：本专利技术结构科学合理，使用安全方便：
19、1、设置有检测组件，通过拧动固定螺杆，然后转动l形连杆，可以将平面度表移动到不同的位置，此时可以通过一个装置对石英环的平面度和弧度进行检测，不用在移动石英环到不同的检测装置，从而防止在移动过程中磨损和破坏石英环，提升检测结果的多样性的同时，简化检测步骤提升检测效率，可以在横向滑杆的外侧滑动润滑盒，随后润滑盒移动会带动润滑海绵通过润滑槽对横向滑杆进行润滑，此时可以在移动滑动块时可以更加的顺畅，使测量工作可以更加迅速的进行，并且在装置使用时，观测储液槽内部的润滑液面与刻度水平的重合角度，从而可以快速的对测量装置进行调平。
20、2、设置有固定组件，开启电磁铁从而对安装块的位置进行固定，随后操作人员可以将石英环套在若干个橡胶支撑板的外侧，此时在多个支撑弹簧的作用下，所有的定位滑杆均会在定位套筒的内侧向外滑动，从而推动橡胶支撑板，以对适应环进行支撑固定，方便对不同直径的石英环进行检测，提升设备使用范围。
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1.一种带有限位功能的石英环平面度检测机，包括安装盒(1)，其特征在于：所述安装盒(1)的顶端安装有检测组件(2)；
2.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述滑动套筒(202)的内侧与滑动杆(201)对应位置处开设有活动孔，所述滑动套筒(202)通过活动空滑动套接在滑动杆(201)的外侧位置处。
3.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述L形连杆(207)的内侧与固定螺杆(210)对应位置处开设与角度孔，所述固定螺杆(210)穿过角度孔插入到平面定位孔(208)的内侧位置处。
4.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述伺服电机(216)的传动端与稳定环槽板(215)的底端相连接，所述伺服电机(216)的输入端与外部电源的输出端电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述启闭螺纹杆(223)的直径与出液孔(222)的直径相等，所述启闭螺纹杆(223)通过升降槽(230)与润滑盒(2
6.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述刻度水平线(229)设置有两组，两组刻度水平线(229)对称粘结在观液玻璃(228)的正端面。
7.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述润滑盒(217)的顶端与橡胶塞(226)对应位置处开设有注液槽，所述橡胶塞(226)通过注液槽卡接在润滑盒(217)的内侧位置处。
8.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述限位滑槽(221)设置有两组，两组限位滑槽(221)对称开设在润滑盒(217)的两侧端面。
9.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述稳定环槽板(215)的顶端安装有固定组件(3)；
10.根据权利要求9所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述支撑弹簧(307)的一端与定位块(304)相点焊，所述支撑弹簧(307)的另一端与橡胶支撑板(308)相点焊。
...【技术特征摘要】
1.一种带有限位功能的石英环平面度检测机，包括安装盒(1)，其特征在于：所述安装盒(1)的顶端安装有检测组件(2)；
2.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述滑动套筒(202)的内侧与滑动杆(201)对应位置处开设有活动孔，所述滑动套筒(202)通过活动空滑动套接在滑动杆(201)的外侧位置处。
3.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述l形连杆(207)的内侧与固定螺杆(210)对应位置处开设与角度孔，所述固定螺杆(210)穿过角度孔插入到平面定位孔(208)的内侧位置处。
4.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述伺服电机(216)的传动端与稳定环槽板(215)的底端相连接，所述伺服电机(216)的输入端与外部电源的输出端电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种带有限位功能的石英环平面度检测机，其特征在于：所述启闭螺纹杆(223)的直径与出液孔(222)的直径相等，所述启闭螺纹杆(223)通过升降槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉华，杨军，张月清，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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