【技术实现步骤摘要】
本技术主要涉及晶圆腐蚀，具体涉及一种氮化镓晶圆的腐蚀装置。
技术介绍
1、氮化镓是一种禁带宽度3.4ev宽带隙第三代半导体材料，具有高饱和电子漂移速度、高击穿电压和高热导等特性，因而具有优异的光电性能、热稳定性和化学稳定性。氮化镓是制作紫外蓝绿发光二极管(led)、激光二极管(ld)和紫外探测器的理想材料，在射频器件、功率器件和电子电力器件的市场需求也有着较大的潜力。
2、在氮化镓晶圆进行扩散、氧化、光刻、腐蚀、蚀刻、清洗、电泳、二次光刻、镀镍等工艺后，即可在晶圆片的表面形成多个晶粒，将晶圆经过裂片之后，每个晶粒就是一个芯片。
3、专利技术人在具体的实施例操作过程中，发现了以下缺陷：
4、现有的晶圆硅片在腐蚀过程中会出现晶圆硅片的表面与蚀刻液接触不均的现象，进而影响晶圆硅片表面腐蚀的速度以及均匀性，造成产品品质下降；其次在晶圆硅片腐蚀后需要进行清洗，通常需要另外的设备进行操作，比较繁琐。
5、需要说明的是，上述内容属于专利技术人的技术认知范畴，由于本领域的
技术实现思路
浩如烟海、过于庞杂，因此本申请的上述内容并不必然构成现有技术。
技术实现思路
1、1.技术要解决的技术问题：
2、本技术的提供了一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
3、2.技术方案：
4、为达到上述目的，本技术提供的技术方案为：一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，包括外槽体，所述外槽体内部上方设有上内槽体，所述上内槽体内
5、进一步的，所述晶圆组件还包括第一电机，所述第一电机输出端连接有转轴，所述转轴外部两端均连接有第一齿轮，所述第一齿轮一侧啮合有竖向齿条，所述竖向齿条一侧固定连接有固定板，所述固定板侧壁之间连接有固定轴，所述固定轴一侧固定连接有多个固定环体，每个所述固定环体一侧设有可移动的活动环体，所述活动环体一侧连接有活动块，所述活动块与固定环体滑动连接。
6、进一步的，所述活动环体与活动块侧壁周边设有多个磁吸块，两侧所述磁吸块相互吸引，所述氮化镓晶圆硅片安装于两侧磁吸块之间。
7、进一步的，所述调节机构包括第二电机，所述第二电机安装于外槽体顶壁一侧，所述第二电机输出端连接有螺纹杆，所述螺纹杆外部螺纹连接有螺纹块，所述外槽体顶壁远离螺纹杆的一侧固定连接有导向杆，所述导向杆外部滑动连接有移动块，所述螺纹块与移动块之间通过连杆相连接，所述转轴固定安装于螺纹块顶部，所述竖向齿条远离固定板的一侧于螺纹块和移动块侧壁上下滑动。
8、进一步的，所述外槽体内部下方设有可拆卸安装的下内槽体，所述上内槽体与下内槽体之间设有开合机构，所述开合机构包括上盖板和下盖板，所述上盖板设于清洗区内底壁开设通槽下方，所述下盖板设于下内槽体顶部对应上盖板下方，所述上盖板和下盖板一侧通过连板连接，所述开合机构还包括第三电机，所述第三电机固定安装于外槽体外侧壁上，所述第三电机输出端连接有转杆，所述转杆横向穿过外槽体内部，所述转杆外部两端均连接有第二齿轮，所述外槽体两外侧壁均滑动连接有横向齿条，所述第二齿轮与横向齿条相啮合，所述横向齿条一侧与下盖板侧壁相连接。
9、进一步的，所述外槽体前侧壁开设有取出口，所述下内槽体前侧壁安装有把手，所述下内槽体位于下盖板下方可拆卸安装有过滤网，所述下内槽体内侧中部竖向可拆卸安装有活性炭吸附板，所述下内槽体一侧开设有第一排水口，所述外槽体一侧对应第一排水口开设有第二排水口，所述第一排水口与第二排水口相互连通。
10、进一步的，所述清洗区内侧位于通槽上方设有密封板，所述密封板下表面可与上盖板上表面相接触。
11、3.有益效果：
12、采用本技术提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
13、本技术设计合理，利用第一电机、转轴、第一齿轮、竖向齿条、固定板、固定轴、固定环体、活动环体和活动块之间的设置配合，能够实现氮化镓晶圆硅片在腐蚀液体内部的上下移动，同时在第二电机、螺纹杆、螺纹块、导向杆、移动块和连杆的配合作用下，能够实现氮化镓晶圆硅片的左右移动，使其与腐蚀液之间接触的更加均匀，且也能够将腐蚀后的氮化镓晶圆硅片移动至清洗区，操作更加便捷，提高工作效率；
14、通过上盖板、下盖板、第三电机、转杆、第二齿轮、横向齿条、下内槽体、过滤网、活性炭吸附板之间的设置配合，能够将清洗之后的污水进行过滤净化之后再排出，污水排出速度快，流量大，可以带走沉淀物，提高了装置的环保性能。
15、需要说明的是，本技术未介绍的结构由于不涉及本技术的设计要点及改进方向，均与现有技术相同或者可采用现有技术加以实现在此不做赘述。
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1.一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：包括外槽体（1），所述外槽体（1）内部上方设有上内槽体（2），所述上内槽体（2）内侧中部密封插接安装有挡板（3），所述挡板（3）左侧区域为腐蚀区，所述挡板（3）右侧区域为清洗区，所述腐蚀区上方设有可上下移动的晶圆组件（4），所述晶圆组件（4）包括多个可安装的氮化镓晶圆硅片，所述晶圆组件（4）两侧设有调节机构（5）。
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述晶圆组件（4）还包括第一电机（401），所述第一电机（401）输出端连接有转轴（402），所述转轴（402）外部两端均连接有第一齿轮（403），所述第一齿轮（403）一侧啮合有竖向齿条（404），所述竖向齿条（404）一侧固定连接有固定板（405），所述固定板（405）侧壁之间连接有固定轴（406），所述固定轴（406）一侧固定连接有多个固定环体（407），每个所述固定环体（407）一侧设有可移动的活动环体（408），所述活动环体（408）一侧连接有活动块（409），所述活动块（409）与固定环体（407）滑动连接。
3.根据权利要求2所
4.根据权利要求3所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述调节机构（5）包括第二电机（501），所述第二电机（501）安装于外槽体（1）顶壁一侧，所述第二电机（501）输出端连接有螺纹杆（502），所述螺纹杆（502）外部螺纹连接有螺纹块（503），所述外槽体（1）顶壁远离螺纹杆（502）的一侧固定连接有导向杆（504），所述导向杆（504）外部滑动连接有移动块（505），所述螺纹块（503）与移动块（505）之间通过连杆（506）相连接，所述转轴（402）固定安装于螺纹块（503）顶部，所述竖向齿条（404）远离固定板（405）的一侧于螺纹块（503）和移动块（505）侧壁上下滑动。
5.根据权利要求4所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述外槽体（1）内部下方设有可拆卸安装的下内槽体（6），所述上内槽体（2）与下内槽体（6）之间设有开合机构（7），所述开合机构（7）包括上盖板（701）和下盖板（702），所述上盖板（701）设于清洗区内底壁开设通槽下方，所述下盖板（702）设于下内槽体（6）顶部对应上盖板（701）下方，所述上盖板（701）和下盖板（702）一侧通过连板连接，所述开合机构（7）还包括第三电机（703），所述第三电机（703）固定安装于外槽体（1）外侧壁上，所述第三电机（703）输出端连接有转杆（704），所述转杆（704）横向穿过外槽体（1）内部，所述转杆（704）外部两端均连接有第二齿轮（705），所述外槽体（1）两外侧壁均滑动连接有横向齿条（706），所述第二齿轮（705）与横向齿条（706）相啮合，所述横向齿条（706）一侧与下盖板（702）侧壁相连接。
6.根据权利要求5所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述外槽体（1）前侧壁开设有取出口（101），所述下内槽体（6）前侧壁安装有把手（601），所述下内槽体（6）位于下盖板（702）下方可拆卸安装有过滤网（8），所述下内槽体（6）内侧中部竖向可拆卸安装有活性炭吸附板（9），所述下内槽体（6）一侧开设有第一排水口（602），所述外槽体（1）一侧对应第一排水口（602）开设有第二排水口（102），所述第一排水口（602）与第二排水口（102）相互连通。
7.根据权利要求6所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述清洗区内侧位于通槽上方设有密封板（10），所述密封板（10）下表面可与上盖板（701）上表面相接触。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：包括外槽体（1），所述外槽体（1）内部上方设有上内槽体（2），所述上内槽体（2）内侧中部密封插接安装有挡板（3），所述挡板（3）左侧区域为腐蚀区，所述挡板（3）右侧区域为清洗区，所述腐蚀区上方设有可上下移动的晶圆组件（4），所述晶圆组件（4）包括多个可安装的氮化镓晶圆硅片，所述晶圆组件（4）两侧设有调节机构（5）。
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述晶圆组件（4）还包括第一电机（401），所述第一电机（401）输出端连接有转轴（402），所述转轴（402）外部两端均连接有第一齿轮（403），所述第一齿轮（403）一侧啮合有竖向齿条（404），所述竖向齿条（404）一侧固定连接有固定板（405），所述固定板（405）侧壁之间连接有固定轴（406），所述固定轴（406）一侧固定连接有多个固定环体（407），每个所述固定环体（407）一侧设有可移动的活动环体（408），所述活动环体（408）一侧连接有活动块（409），所述活动块（409）与固定环体（407）滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述活动环体（408）与活动块（409）侧壁周边设有多个磁吸块，两侧所述磁吸块相互吸引，所述氮化镓晶圆硅片安装于两侧磁吸块之间。
4.根据权利要求3所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于：所述调节机构（5）包括第二电机（501），所述第二电机（501）安装于外槽体（1）顶壁一侧，所述第二电机（501）输出端连接有螺纹杆（502），所述螺纹杆（502）外部螺纹连接有螺纹块（503），所述外槽体（1）顶壁远离螺纹杆（502）的一侧固定连接有导向杆（504），所述导向杆（504）外部滑动连接有移动块（505），所述螺纹块（503）与移动块（505）之间通过连杆（506）相连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢自力，
申请(专利权)人：南京集芯光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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