【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片生产，尤其是涉及一种用于片盒清洗的专用卡架。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，通常采用片盒对晶圆进行存储和运输，实现晶圆表面的超高洁净度的需求，因此片盒在使用前需要进行片盒清洗处理，因此出现很多针对不同型号，不同尺寸的片盒进行定制化的固定卡架设计，以此满足清洗过程中的夹持固定，目前已有的片盒清洗机专用架尺寸也较大，因此占地面积也较大，不利于空间的合理利用化，同时专用架结构一般都为固定式的，无法根据实际片篮型号规格进行实时调节，使用的灵活性较小局限性较大。
2、中国专利申请公开号cn218340576u，名称为“一种便捷式片盒清洗机片篮专用架”，公开了一种便捷式片盒清洗机片篮专用架，包括主体框架和支撑结构，支撑结构上方设置有片篮主体放置区，片篮主体放置区的一侧固定架主体框架上设置有片篮主体阻挡结构，篮主体阻挡结构的两端皆设置有调节块，所述调节块的一侧贯穿活动安装有调节杆，所述调节杆的内端通过轴承转动安装有紧固环，所述片篮主体支撑结构的顶部两侧皆设置有片篮主体放置轨道。在进行日常使用的过程中，可根据实际需要清洗的片篮型号规格不同，通过人工扭动调节杆在调节块表面螺纹扭合伸缩调节，使得调节块与固定架主体框架发生松动，将片篮主体阻挡结构进行上下移动，实现对片篮主体阻挡结构之间的距离进行实时调节，使得片篮主体阻挡结构能够与片篮进行更准确的阻挡，避免片篮受力发生倾倒掉落的问题。但是该装置并未解决根据实际片篮型号规格进行实时调节，依然存在一定的局限性，并未解决上述问题。
技术实现思路>
1、本技术为了克服现有技术中的不足，提供一种用于片盒清洗的专用卡架，具有可以兼容不同规格尺寸和形状的片盒清洗需求等优点。
2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种用于片盒清洗的专用卡架，包括主体固定框架，所述主体固定框架侧纵向排布设有放置片盒的支撑结构，相邻两个所述支撑结构之间有片盒放置空间，所述支撑结构一侧可活动和/或可拆卸连接有至少两个限位件，以使相邻两个所述限位件之间的间距可调，限位件抵紧在片盒的两侧。
3、采用上述技术方案后，本技术具有如下优点：主体固定框架上设置有纵向排布的用以放置片盒的支撑结构，用以实现最大化空间利用，通过在支撑结构一侧设置可活动或可拆卸连接的限位件，能够灵活地调节相邻两个限位件之间的间距，从而适配不同尺寸的晶圆盒，显著增强了卡架的通用性和使用灵活性，限位件抵紧在片盒的两侧，有效限制了片盒的移动，从而防止片盒在清洗过程中发生移动或晃动，这种固定方式能够有效保护片盒不受损伤，并确保清洗过程的顺利进行，当晶片尺寸较小时，不仅可以通过可拆卸增加限位件的数量，实现在一个支撑结构上同时放置多个片盒，还可以在操作人员调整限位件以适应不同尺寸的片盒时，无需使用额外的工具或进行复杂的操作，这不仅提高了空间的利用效率，也增加了卡架的承载能力和使用效率。
4、进一步的，所述限位件具有第一凹槽，所述第一凹槽厚度向着远离支撑结构的方向递减，所述第一凹槽厚度最小处略小于所述支撑结构的厚度。
5、采用前述技术方案，第一凹槽使得其厚度最小处与支撑结构的接触面积最小，压力分布更集中，当限位件与支撑结构卡合时，由于第一凹槽最窄处的高度略小于支撑结构的厚度，因此会产生一定的压缩力，使两者紧密结合，这种紧密结合有效防止了限位件在使用过程中的松动或移位，从而提高了整个卡架结构的稳定性，由于第一凹槽使得厚度最小处与支撑结构的接触面形成了一定的摩擦力，这种摩擦力在安装时提供了必要的阻力，使限位件能够顺利地卡入支撑结构，同样地，在拆卸时，只需稍微施加反向力即可克服这种摩擦力，使限位件与支撑结构分离，使得安装和拆卸过程既快速又方便。
6、进一步的，所述限位件上设有用于将其锁紧在所述支撑结构上的锁紧件。
7、采用前述技术方案，通过锁紧件将限位件牢固地锁紧在支撑结构上，能够显著增强整个卡架结构的稳定性，这确保了片盒在清洗过程中不会发生位移或晃动，有效保护片盒免受损伤。
8、进一步的，所述限位件沿所述支撑结构的宽度方向滑动连接于所述支撑结构。
9、采用前述技术方案，可知限位件能够沿支撑结构的宽度方向滑动，使得操作人员可以轻松地调节限位件的位置，以适应不同尺寸的晶圆盒，这种调节方式简单直观，能够快速定位到所需位置，提高了工作效率，由于限位件可以滑动，因此可以根据片盒的实际尺寸调整其位置，实现灵活适应不同尺寸的片盒，这种设计增强了卡架的通用性和灵活性，使得同一卡架可以用于不同规格的晶圆盒清洗。
10、进一步的，所述限位件向着所述片盒放置区延伸出限位臂，所述限位臂与所述限位件可拆卸连接。
11、采用前述技术方案，可知限位件一端伸出阻挡件，形成一个限位臂，这个限位臂能够直接作用于片盒，从而进一步增强了片盒在卡架上的固定效果，有效防止了片盒在清洗过程中的晃动或移动，通过限位臂与限位件的可拆卸连接设计，可以针对不同尺寸的片盒选择不同长度的限位臂，大大提高了卡架的通用性和灵活性，使得同一卡架可以适应不同规格的晶圆盒，由于限位臂与限位件是可拆卸连接的，因此更换或调节限位臂的过程变得非常简单快捷，操作人员只需将限位臂拆卸下来，再安装上新的合适尺寸的限位臂即可。
12、进一步的，所述主体固定框架上具有第二凹槽，所述支撑结构上具有与所述第二凹槽滑动安装的凸筋。
13、采用前述技术方案，可知通过主体固定框架上的第二凹槽与支撑结构上凸筋的滑动安装，使得支撑结构可以在主体固定框架上沿高度方向进行灵活调节，使得卡架对于不同高度的晶圆盒子具有更好的包容性，提高了卡架的通用性和实用性，调节过程简单直观，操作人员可以轻松地将支撑结构调整到合适的高度位置，同时，这种连接方式也便于支撑结构的安装和拆卸，提高了工作效率。
14、进一步的，所述支撑结构为镂空结构，所述主体固定框架为骨架结构。
15、采用前述技术方案，可知由于支撑结构采用镂空设计，清洁液体能够轻松进入并清除支撑结构内部的污垢和残留物，从而显著提高了清洁效率，降低了清洁成本，进一步有效防止清洗过程中产生的积水在支撑结构内部积聚，减少了对晶圆盒的二次污染风险，虽然支撑结构为镂空设计，但骨架结构的设计保证了足够的强度和稳定性，使得卡架在承受晶圆盒重量和清洗过程中不易变形或损坏。
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1.一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，包括主体固定框架，所述主体固定框架内纵向排布有放置片盒的支撑结构，相邻两个所述支撑结构之间设有片盒放置空间，所述支撑结构一侧可活动和/或可拆卸连接有至少两个限位件，以使相邻两个所述限位件之间的间距可调，所述限位件抵紧在片盒的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件具有第一凹槽，所述第一凹槽厚度向着远离支撑结构的方向递减，所述第一凹槽厚度最小处略小于所述支撑结构的厚度。
3.根据权利要求2所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件上设有用于将其锁紧在所述支撑结构上的锁紧件。
4.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件沿所述支撑结构的宽度方向滑动连接于所述支撑结构。
5.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件向着所述片盒放置区延伸出限位臂，所述限位臂与所述限位件可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述主体固定框架上具有第二
7.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述支撑结构为镂空结构，所述主体固定框架为骨架结构。
...【技术特征摘要】
1.一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，包括主体固定框架，所述主体固定框架内纵向排布有放置片盒的支撑结构，相邻两个所述支撑结构之间设有片盒放置空间，所述支撑结构一侧可活动和/或可拆卸连接有至少两个限位件，以使相邻两个所述限位件之间的间距可调，所述限位件抵紧在片盒的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件具有第一凹槽，所述第一凹槽厚度向着远离支撑结构的方向递减，所述第一凹槽厚度最小处略小于所述支撑结构的厚度。
3.根据权利要求2所述的一种用于片盒清洗的专用卡架，其特征在于，所述限位件上设有用于将其锁紧在所述支撑结构上...
【专利技术属性】
技术研发人员：边慧敏，孙涛，张亮，
申请(专利权)人：浙江芯晟半导体科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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