【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气液分离装置，更具体地说，涉及一种掩膜版清洗机废气气液分离装置。
技术介绍
1、光刻掩膜版(photomask)也简称光罩或mask，是在半导体相关领域制作精细图案所需要使用到的重要工具，使用掩膜版可以实现目标图案的快速复制，使得大批量的半导体器件、显示器件的生产成为可能。掩膜版作为母版图案，制造工艺复杂，可以分为前道工艺和后道工艺。掩模版产品的工艺流程主要包括cam图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。其中掩膜版的清洗生产流程是利用化学药液与纯水对掩膜版进行清洗，得到表面具有一定清洁度规格的掩膜版产品。
2、掩膜版清洗线主要由掩膜版清洗机、自动化传输设备等工艺设备组成。掩膜版清洗机在清洗过程中会产生有机、酸碱性废气，因此在清洗机下方设置了专用的废气排放装置。废气由尾排风机抽走，废气先经过气液分离器，分离掉废气中夹杂的废液，然后再流动到末端处理装置，最后处理达标后排放到大气当中。
3、现有的气液分离装置存在以下技术问题：
4、1、现有的气液分离装置进气管道设置在出气管道上方，中间通过分离滤网过滤，在气液分离过程中，清洗废气及废气中夹杂的废液没有经过事先沉淀，直接经过滤网由尾排风机抽走，所需风压高且分离效果较差。
5、2、现有的气液分离器采用钢板封装，无法直接观察气液分离器内部状况，不便于日常的监测与维护。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种掩
2、本技术技术方案提供一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，包括透明分液箱、可拆卸设置在所述透明分液箱内的分滤机构和设置在所述透明分液箱一侧且与所述透明分液箱通过管道连接的风机；
3、所述透明分液箱体上设置有进气口、出气口和排水口，所述分滤机构悬空设置在所述透明分液箱内且与所述出气口一侧连接，所述风机与出气口另一侧连接，所述透明分液箱内设置有支撑机构，所述分滤机构通过所述支撑机构支撑。
4、在一个优选地实施例中，所述分滤机构包括固定框架和设置在所述固定框架内的滤网，所述固定框架靠近所述出气管一侧设置有连接口。
5、在一个优选地实施例中，所述连接口外设置有密封圈。
6、在一个优选地实施例中，所述支撑机构包括对称设置的两个支撑板和设置有所述支撑板上的两个限位板，两所述限位板之间的间距与所述固定框架的宽度相适应，所述固定框架通过两个所述支撑板支撑且位于两个所述限位板之间。
7、在一个优选地实施例中，所述透明分液箱顶部设置有透明盖板，所述透明盖板与所述透明分液箱螺栓连接。
8、在一个优选地实施例中，所述透明分液箱上安装有液位传感器。
9、在一个优选地实施例中，所述进气口和出气口均连接有负压监测仪。
10、本技术技术方案的有益效果是：
11、掩膜版清洗机排出废气中含有较多水分，废气先进入透明分液箱进行液体的自然沉降；然后再通过分滤机构进行二次过滤，有效的分离气体中掺杂的液体颗粒，过滤后的气体通过透明分液箱侧面的风机排出，在有效实现了气液分离的同时，极大的降低了风机所需动能，减少了风机能耗，实现了节能减排。
12、透明分液箱的设置便于观察内部情况，同时配备可拆卸的透明盖板，并与分滤机构的放入和取出，以及便于对透明分液箱的清理。
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1.一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：包括透明分液箱、可拆卸设置在所述透明分液箱内的分滤机构和设置在所述透明分液箱一侧且与所述透明分液箱通过管道连接的风机；
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述分滤机构包括固定框架和设置在所述固定框架内的滤网，所述固定框架靠近所述出气口一侧设置有连接口。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述连接口外设置有密封圈。
4.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述支撑机构包括对称设置的两个支撑板和设置有所述支撑板上的两个限位板，两所述限位板之间的间距与所述固定框架的宽度相适应，所述固定框架通过两个所述支撑板支撑且位于两个所述限位板之间。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述透明分液箱顶部设置有透明盖板，所述透明盖板与所述透明分液箱螺栓连接。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述透明分液箱上安装有液位传感
7.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述进气口和出气口均连接有负压监测仪。
...【技术特征摘要】
1.一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：包括透明分液箱、可拆卸设置在所述透明分液箱内的分滤机构和设置在所述透明分液箱一侧且与所述透明分液箱通过管道连接的风机；
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述分滤机构包括固定框架和设置在所述固定框架内的滤网，所述固定框架靠近所述出气口一侧设置有连接口。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述连接口外设置有密封圈。
4.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机废气气液分离装置，其特征在于：所述支撑机构包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：许鹏亮，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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