【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化学气相沉积设备的正负压转换，尤其涉及一种化学气相沉积设备的正负压转换系统及方法。
技术介绍
1、目前，多数化学气相沉积(cvd)设备只能采用正压实验和上下料，因此，对于粉体和流化包覆工艺的开发有局限性。现有技术中，采用正压来进行粉体转移时，压力会逐步增加到6kg左右，该压力水平对于长期使用的反应釜管道的连接密封件会产生一定的伤害。如果下料时的气力输送冲击力太大，则会导致粉体材料破碎。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是克服现有技术中的不足，提供一种用于化学气相沉积设备的正负压转换系统及方法。
2、这种用于化学气相沉积设备的正负压转换系统，包括：氮气存储装置、压缩空气供给装置、反应釜、上料罐、下料罐、尾气过滤装置和真空泵
3、氮气存储装置的出气口连接压缩空气供给装置的进气口，压缩空气供给装置的出气口分三路分别连接反应釜、上料罐和下料罐的进气口；尾气过滤装置的进气口分别连接反应釜和下料罐的出气口；尾气过滤装置的出气口连接有真空泵；
4、上料罐和下料罐底部均设有进气口，上料罐和下料罐的底部进气口均连接压缩空气供给装置的出气口；
5、反应釜的出料口连接下料罐的进料口，上料罐底部的出料口连接反应釜顶部的进料口；
6、上料罐与压缩空气供给装置的连接装置设有阀门；反应釜和上料罐的连接装置上设有至少一个进料阀；压缩空气供给装置的出气口与反应釜、上料罐和下料罐之间的连接装置上均设有阀门；尾气过滤装置和反应釜之间的连接装置上
7、反应釜可加热。
8、作为优选：还设有反应釜配套的加热装置。
9、一种正负压转换系统进行正压上下料时的工作方法，包括以下步骤：
10、先进行准备工作：加热反应釜，并向反应釜中通入氮气，用氮气对反应釜内的气体进行置换；
11、采用正压上料：打开压缩空气供给装置和上料罐之间的阀门，向上料罐内注入压缩的氮气，进而对上料罐内部加压；待上料罐内部气压到达设定值时，打开反应釜和上料罐之间的进料阀，保持氮气存储装置、尾气过滤装置和上料罐之间的连接气道打开，通过氮气的压力将上料罐中的粉体材料输送至反应釜中，待输料完成后关闭反应釜和上料罐之间的进料阀；重复上述操作两次至三次，确保上料罐内的全部粉体材料由于气压被输送至反应釜中；
12、采用正压下料：关闭反应釜和尾气过滤装置之间的排气阀，向反应釜内注入压缩空气，待反应釜内的压力到达设定值后，再打开下料罐和反应釜之间的阀门，反应釜与下料罐连通，通过反应釜内的压力将反应釜内的粉体材料运输到下料罐；
13、进行正压流化，打开反应釜和尾气过滤装置之间的排气阀，朝反应釜的底部注入足够压力的氮气，将反应釜内的粉体材料吹拂起来，令粉体材料在反应釜中充分流化。
14、一种正负压转换系统进行负压上下料时的工作方法，包括以下步骤：
15、先进行准备工作：对反应釜进行加热，并向反应釜中通入氮气，由氮气对反应釜内的气体进行置换；
16、进行负压上料：先打开位于系统尾部的真空泵，并打开反应釜和尾气过滤装置之间的排气阀，将反应釜抽真空直至其真空度达到设定值；打开反应釜和上料罐之间的进料阀，在反应釜内部与外部所产生的负压的作用下，将粉体上料到反应釜中；重复上述操作两次至三次，确保上料罐内的全部粉体材料由于气压被输送至反应釜中；
17、进行负压下料：打开下料罐和尾气过滤装置之间的排气阀，将下料罐抽真空直至其真空度达到设定值；打开下料罐和反应釜之间的阀门，下料罐与反应釜连通，在下料罐与反应釜的压力差作用下，将反应釜中的粉体转移到下料罐中；
18、进行负压流化：打开反应釜与尾气过滤装置之间的排气阀，并打开位于系统末端的真空泵，将反应釜内部抽真空直至其真空度达到设定值，粉体在从反应釜底部进入的气体的带动下充分流化。
19、本专利技术的有益效果是：
20、为了在粉体转移时使得粉体材料保持完整性，并且在采用正压进行粉体转移时不损伤反应釜管道的连接密封件，本专利技术在现有技术的基础上进行了技术改进，增设了用于化学气相沉积设备的正负压转换系统及正负压转换方法。在本专利技术系统和方法的支持下，可以在负压下：进行上下料，采用cvd设备对粉体材料进行包覆加工；也可在正压下采用cvd设备对粉体材料进行包覆加工；能够为客户提供更多的使用方案。
21、本专利技术的正负压转换系统能够满足多种不同沉积工艺对正负压的需求，提高了设备的工艺适应性。在某些沉积工艺中，正压可以帮助提高气体的流动性和均匀性，而负压则有助于提高沉积工艺的沉积速率和所产生的薄膜密度。总之，本专利技术的正负压转换系统可以优化沉积过程，提高薄膜的质量。
22、本专利技术的正负压转换方法可以通过调整压力来控制化学气相沉积中化学反应的反应速率，从而优化薄膜生长过程。而正负压转换方法可以针对不同的材料对化学气相沉积中化学反应的压力进行调整，使得化学气相沉积设备能够满足多种材料的沉积需求，还能够简化实验步骤，完全取出实验材料。
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1.一种用于化学气相沉积设备的正负压转换系统，其特征在于，包括：氮气存储装置（8）、压缩空气供给装置（9）、反应釜（1）、上料罐（2）、下料罐（5）、尾气过滤装置（10）和真空泵（6）；
2.根据权利要求1所述用于化学气相沉积设备的正负压转换系统，其特征在于：还设有反应釜（1）配套的加热装置。
3.一种如权利要求1所述的正负压转换系统进行正压上下料时的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.一种如权利要求1所述的正负压转换系统进行负压上下料时的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：
【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积设备的正负压转换系统，其特征在于，包括：氮气存储装置（8）、压缩空气供给装置（9）、反应釜（1）、上料罐（2）、下料罐（5）、尾气过滤装置（10）和真空泵（6）；
2.根据权利要求1所述用于化学气相沉积设备的正负压转换系统，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：解明，肖翌，程峰，
申请(专利权)人：驭纳智造江苏新能源装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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