【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，特别涉及一种隔热装置及激光退火设备。
技术介绍
1、激光退火设备中通常增加隔热装置用以隔绝工件台与上方光学元件，防止光学元件因为工件台加热温度升高而损坏。但是，由于退火设备颗粒污染要求，隔热装置无法使用导热能力强的al、cu等金属材料，而使用如不锈钢材料由于其导热能力不强，会出现隔热装置本身冷热分布不均，进而影响了工件台均匀加热的硅片表面温度均匀性，从而影响退火均匀性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种隔热装置及激光退火设备，以解决现有技术中存在的一个或多个问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供一种隔热装置，包括：板状主体；
3、所述板状主体具有内部流道、进液口和出液口，所述进液口与所述内部流道的入口连通，所述出液口与所述内部流道的出口连通；
4、于所述板状主体的横截面方向上，所述内部流道先后沿所述第一盘旋方向及与所述第一盘旋相反的第二盘旋方向盘旋，以使得所述内部流道于所述第一盘旋方向上的多圈流道分支与于所述第二盘旋方向上的多圈流道分支交替排布。
5、可选的，在所述的隔热装置中，所述内部流道于所述第一盘旋方向上的流道分支与于所述第二盘旋方向上的流道分支交替至少三次以上，且所述内部流道内液体停留时间为0.5s以上。
6、可选的，在所述的隔热装置中，所述内部流道以所述进液口为起点，沿第一盘旋方向至少盘绕两圈后，沿所述第二盘旋方向盘旋至到达所述出液口，且沿所述第二盘绕方向盘旋的各圈流道分支位于
7、可选的，在所述的隔热装置中，光学透过组件；所述板状主体于顶部及底部在同一高度方向上对应设有开孔，所述光学透过组件对所述板状主体顶部及底部的所述开孔进行密封，以使得所述板状主体具有密封内腔且能够沿其高度方向透光。
8、可选的，在所述的隔热装置中，所述板状主体包括可拼接的两个板状结构，每个所述板状结构具有一所述内部流道、所述进液口和所述出液口。
9、可选的，在所述的隔热装置中，两个所述板状结构的所述进液口和所述出液口分别彼此靠近设置。
10、可选的，在所述的隔热装置中，所述板状主体的底壁具有空气夹层。
11、可选的，在所述的隔热装置中，所述空气夹层的顶壁内表面为高反射率面。
12、可选的，在所述的隔热装置中，所述隔热装置还包括隔热板，所述隔热板围绕所述板状主体设置。
13、本技术还提供一种激光退火设备，包括：光学元件、工件台和如前任一项所述的隔热装置，所述隔热装置设置于所述光学元件和所述工件台之间。
14、可选的，在所述的激光退火设备中，所述隔热装置包括设于所述板状主体的光学透过组件，所述光学透过组件使得所述光学元件的光能够沿所述板状主体的高度方向透过所述板状主体，所述光学透过组件的材料根据所述光学元件的特性进行选择。
15、可选的，在所述的激光退火设备中，所述隔热装置与所述工件台之间的距离范围为10～40mm。
16、综上所述，本技术提供的所述隔热装置及激光退火设备中，所述隔热装置包括：板状主体；所述板状主体具有内部流道、进液口和出液口，所述进液口与所述内部流道的入口连通，所述出液口与所述内部流道的出口连通；于所述板状主体的横截面方向上，所述内部流道先后沿第一盘旋方向及与所述第一盘旋相反的第二盘旋方向盘旋，以使得所述内部流道于所述第一盘旋方向上的多圈流道分支与于所述第二盘旋方向上的多圈流道分支交替排布。在利用本技术提供的所述隔热装置进行隔热时，所述隔热装置冷热分布均匀，减小隔热装置造成的工件台对硅片加热均匀性的影响，提升硅片表面温度均匀性，从而提升退火均匀性。
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1.一种隔热装置，其特征在于，包括：板状主体；
2.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述内部流道于所述第一盘旋方向上的流道分支与于所述第二盘旋方向上的流道分支交替至少三次以上，且所述内部流道内液体停留时间为0.5s以上。
3.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述内部流道以所述进液口为起点，沿所述第一盘旋方向至少盘绕两圈后，沿所述第二盘旋方向盘旋至到达所述出液口，且沿所述第二盘旋方向盘旋的各圈流道分支位于沿所述第一盘旋方向盘旋的相邻两圈流道分支之间，以使得所述内部流道温差最大的两圈流道分支相邻。
4.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，还包括：光学透过组件；所述板状主体于顶部及底部在同一高度方向上对应设有开孔，所述光学透过组件对所述板状主体顶部及底部的所述开孔进行密封，以使得所述板状主体具有密封内腔且能够沿其高度方向透光。
5.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述板状主体包括可拼接的两个板状结构，每个所述板状结构具有一所述内部流道、所述进液口和所述出液口。
6.如权利要求5所述的隔热装置，其特征
7.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述板状主体的底部具有空气夹层。
8.如权利要求7所述的隔热装置，其特征在于，所述空气夹层的顶壁内表面为高反射率面。
9.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述隔热装置还包括隔热板，所述隔热板围绕所述板状主体设置。
10.一种激光退火设备，其特征在于，包括：光学元件、工件台和如权利要求1～9任一项所述的隔热装置，所述隔热装置设置于所述光学元件和所述工件台之间。
11.如权利要求10所述的激光退火设备，其特征在于，所述隔热装置还包括设于所述板状主体的光学透过组件，所述光学透过组件使得所述光学元件的光能够沿所述板状主体的高度方向透过所述板状主体。
12.如权利要求10所述的激光退火设备，其特征在于，所述隔热装置与所述工件台之间的距离范围为10～40mm。
...【技术特征摘要】
1.一种隔热装置，其特征在于，包括：板状主体；
2.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述内部流道于所述第一盘旋方向上的流道分支与于所述第二盘旋方向上的流道分支交替至少三次以上，且所述内部流道内液体停留时间为0.5s以上。
3.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述内部流道以所述进液口为起点，沿所述第一盘旋方向至少盘绕两圈后，沿所述第二盘旋方向盘旋至到达所述出液口，且沿所述第二盘旋方向盘旋的各圈流道分支位于沿所述第一盘旋方向盘旋的相邻两圈流道分支之间，以使得所述内部流道温差最大的两圈流道分支相邻。
4.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，还包括：光学透过组件；所述板状主体于顶部及底部在同一高度方向上对应设有开孔，所述光学透过组件对所述板状主体顶部及底部的所述开孔进行密封，以使得所述板状主体具有密封内腔且能够沿其高度方向透光。
5.如权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述板状主体包括可拼接的两个板状结构，每个所述板状结构具有一所述内部流道、所...
【专利技术属性】
技术研发人员：程斌斌，张洪博，张丽，杨玉麒，王刚，罗兵，李永维，丁宗月，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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