【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品制作，尤其涉及一种线切割装置。
技术介绍
1、半导体制造业中，晶棒到晶圆的转变是利用线切割设备将晶棒切割成片，切割过程是利用砂浆持续喷淋在钢线上，钢线携带砂浆往复运动从而完成晶棒切割，钢线运动轨迹由两边导线轮上的线槽所固定，在加工过程中会存在以下问题：
2、1)砂浆喷淋至钢线时，会导致钢线的抖动；
3、2)线槽会出现磨损，随着使用时间的增加，磨损会越来越严重，使得钢线出现抖动或偏离原本运动轨迹。
4、上述问题均会导致在晶棒切割过程中造成晶圆厚度异常。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种线切割装置，解决由于切割线偏离运动轨迹造成的切割异常。
2、为了达到上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案是：一种线切割装置，包括相对设置的两个导线轮，绕设于两个所述导线轮之间的切割线，所述导线轮的外周面上设置多个线槽，所述切割线缠绕于所述线槽内，
3、所述线切割装置还包括位于两个所述导线轮之间的至少一个切割线限位结构，所述切割线限位结构包括与多个所述线槽一一对应设置的限位孔，所述切割线穿过所述限位孔，并绕设在所述导线轮的所述线槽内。
4、可选的，所述切割线限位结构包括：
5、固定杆，所述固定杆的延伸方向与所述导线轮的轴向方向相平行；
6、限位部，包括多个具有开口的半封闭环形件，所述半封闭环形件的开口端固定连接于所述固定杆上，且所述半封闭环形件与所述固定杆合
7、可选的，所述限位孔为半圆形。
8、可选的，所述限位孔在对应的所述导线轮上的正投影位于对应的所述线槽内。
9、可选的，所述固定杆位于所述导线轮的径向方向上的一侧，多个所述半封闭环形件沿着所述固定杆的延伸方向排布。
10、可选的，在所述固定杆的延伸方向上，相邻两个所述半封闭环形件至少部分重叠或者完全不重叠。
11、可选的，沿着所述固定杆的延伸方向包括至少一列限位单元，所述限位单元包括沿着所述固定杆的延伸方向设置的多个所述半封闭环形件。
12、可选的，所述导线轮沿其轴向方向上的相对的两端具有对称设置的两个连接轴，两个所述连接轴的连线与所述导线轮的轴向中心线重合，所述固定杆的相对的两端分别固定在对应的所述连接轴上。
13、可选的，还包括用于向切割线喷射砂浆的喷嘴，所述切割线限位结构位于对应的所述导线轮和所述喷嘴之间。
14、可选的，所述喷嘴包括条形喷射口，所述条形喷射口的延伸方向与所述导线轮的轴向方向相平行。
15、本专利技术的有益效果是：通过切割线限位结构的设置将切割线限定于对应的线槽内，防止切割线偏离运动轨迹造成的切割异常。
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1.一种线切割装置，包括相对设置的两个导线轮，绕设于两个所述导线轮之间的切割线，所述导线轮的外周面上设置多个线槽，所述切割线缠绕于所述线槽内，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线限位结构包括：
3.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述限位孔为半圆形。
4.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述限位孔在对应的所述导线轮上的正投影位于对应的所述线槽内。
5.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述固定杆位于所述导线轮的径向方向上的一侧，多个所述半封闭环形件沿着所述固定杆的延伸方向排布。
6.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，在所述固定杆的延伸方向上，相邻两个所述半封闭环形件至少部分重叠或者完全不重叠。
7.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，沿着所述固定杆的延伸方向包括至少一列限位单元，所述限位单元包括沿着所述固定杆的延伸方向设置的多个所述半封闭环形件。
8.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述导线轮沿其轴
9.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，还包括用于向切割线喷射砂浆的喷嘴，所述切割线限位结构位于对应的所述导线轮和所述喷嘴之间。
10.根据权利要求9所述的线切割装置，其特征在于，所述喷嘴包括条形喷射口，所述条形喷射口的延伸方向与所述导线轮的轴向方向相平行。
...【技术特征摘要】
1.一种线切割装置，包括相对设置的两个导线轮，绕设于两个所述导线轮之间的切割线，所述导线轮的外周面上设置多个线槽，所述切割线缠绕于所述线槽内，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线限位结构包括：
3.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述限位孔为半圆形。
4.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述限位孔在对应的所述导线轮上的正投影位于对应的所述线槽内。
5.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述固定杆位于所述导线轮的径向方向上的一侧，多个所述半封闭环形件沿着所述固定杆的延伸方向排布。
6.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，在所述固定杆的延伸方向上，相邻两个所述半封闭环形件至少部...
【专利技术属性】
技术研发人员：房嘉琪，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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