【技术实现步骤摘要】
本申请涉及废气过滤设备，具体涉及一种过滤设备。
技术介绍
1、太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、硼扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。其中，硼扩散工序是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气、氧气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积pn结(p型和n型半导体之间的接触面即称为pn结)。
2、硼扩散工艺会产生大量携带b2o3的废气，b2o3在低于特定温度会析晶形成白色粉尘，这部分废气需要经过过滤后排出，避免对环境造成污染。
3、随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，在日益提高产能需求的前提下，废气处理量越来越大。若通过现有技术中用于对废气进行过滤的过滤设备，对硼扩散工艺产生的废气进行过滤，需频繁更换滤芯，人力物力成本较高，且影响生产进度。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种过滤设备，用于对废气中的粉尘进行过滤，并可实现自清洁，无需频繁更换滤芯，省时省力且成本低，减少维修。
2、为解决上述技术问题，本申请提供一种过滤设备，包括过滤部和清洗部；所述过滤部包括壳体，所述壳体的内腔形成过滤腔，所述过滤腔内设有至少两层层叠布置的过滤层，所述壳体设有与所述过滤腔连通的进气口和出气口，所述进气口侧设有第一阀；所述清洗部包括分别与所述过滤腔连通的介质通入管和出废管，所述介质通入管用于向所述过滤腔内通入清洗介质，以清洗各所述过滤层，所述出废管用于排出所述过滤腔内的清洗介质，且所述介质
3、通过多层依次并列设置的过滤层对废气进行过滤，相较于通过多个串联设置的滤筒对废气进行过滤的方案来说，明显可以简化该过滤设备的整体结构和体积，减小整体占地面积，灵活性更好，并且，便于清洗部的清洗操作，保证该过滤设备长期稳定运行。
4、由于过滤部的各过滤层是依次层叠布置的，具体的过滤层的数量和过滤精度可根据实际废气中粉尘含量和废气排放要求确定即可，过滤层的材质可根据使用工况选择，而过滤层的形状、结构等可根据过滤腔的结构设置即可，过滤层在壳体内的安装方式不做限制，如插接连接、焊接固定等均可，灵活性好。该过滤设备能够适用于各种有过滤需求的场景。
5、清洗部包括分别与过滤腔连通设置的介质通入管和出废管，其中，清洗部能够通过介质通入管向过滤腔内通入清洗介质，清洗介质由介质通入管通入过滤腔内后，在依次经过各过滤层并对各过滤层进行清洗后，由出废管排出，介质通入管和出废管分别设有开关阀，用于开闭介质通入管和出废管，不难理解，当需要用清洗介质对过滤部的各过滤层进行清洗时，打开介质通入管和出废管的开关阀，而在对废气进行过滤的过程中，需要将介质通入管和出废管的开关阀关闭。
6、清洗介质对过滤层进行清洗，具体可通过程序设定，以随时自动清洗，并且清洗时间可根据需求设置即可，灵活性好，并且过滤层可以重复利用，无需拆卸、更换，降低备件损耗和维护成本。
7、可选地，所述壳体设有与所述过滤腔连通的连接管，所述连接管远离所述壳体的一端设有第一连接端和第二连接端，所述第一连接端形成所述进气口并设有所述第一阀，所述第二连接端与所述介质通入管密封连接。
8、可选地，所述壳体朝向连接管的一端设有喇叭形结构，所述喇叭形结构的小径端与所述连接管连接。
9、可选地，所述介质通入管的端部设有扇形喷嘴，所述扇形喷嘴包括缩口端和敞口端，且所述扇形喷嘴的口径由所述缩口端向所述敞口端逐渐增大，所述敞口端朝向所述过滤腔的一侧设置，并与所述过滤层相对。
10、可选地，还包括干燥部，所述干燥部与所述过滤部的出气口连通。
11、可选地，还包括罩壳，所述罩壳内通过多孔板分隔形成干燥腔和流通腔，所述干燥腔内设有干燥剂并形成所述干燥部，所述流通腔连通于所述过滤腔和所述干燥腔之间，所述流通腔的底部设有出废口，所述出废口与所述出废管连通。
12、可选地，所述流通腔的底壁沿所述出废口的周向还设有导向面。
13、可选地，所述干燥腔设于所述流通腔的上方，所述壳体设于所述流通腔内，所述壳体的底部为敞口结构并形成所述出气口。
14、可选地，所述罩壳包括筒体、顶盖和底盖，所述筒体内设有所述多孔板，所述顶盖和所述筒体的顶端之间，以及所述底盖和所述筒体的底端之间，分别通过密封法兰固定。
15、可选地，所述壳体的内壁面以及所述过滤层的表面分别设有防腐涂层。
16、可选地，所述第一阀为单向阀，所述单向阀的流通方向由所述进气通道向所述过滤部。
17、可选地，还包括冷却装置和泵，所述冷却装置通过进气通道与所述进气口连通，所述出气口连通有出气通道，所述泵设于所述出气通道。
18、可选地，所述进气通道还包括蛇形盘管。
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1.一种过滤设备，其特征在于，包括过滤部(1)和清洗部；
2.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(11)设有与所述过滤腔(12)连通的连接管(15)，所述连接管(15)远离所述壳体(11)的一端设有第一连接端(16)和第二连接端(17)，所述第一连接端(16)形成所述进气口并设有所述第一阀(14)，所述第二连接端(17)与所述介质通入管(21)密封连接。
3.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(11)朝向连接管(15)的一端设有喇叭形结构(111)，所述喇叭形结构(111)的小径端与所述连接管(15)连接。
4.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述介质通入管(21)的端部设有扇形喷嘴(211)，所述扇形喷嘴(211)包括缩口端和敞口端，且所述扇形喷嘴(211)的口径由所述缩口端向所述敞口端逐渐增大，所述敞口端朝向所述过滤腔(12)的一侧设置，并与所述过滤层(13)相对。
5.根据权利要求1-4任一项所述的过滤设备，其特征在于，还包括干燥部(4)，所述干燥部(4)与所述过滤部(1)的出气口(1
6.根据权利要求5所述的过滤设备，其特征在于，还包括罩壳(5)，所述罩壳(5)内通过多孔板(56)分隔形成干燥腔(41)和流通腔(54)，所述干燥腔(41)内设有干燥剂(42)并形成所述干燥部(4)，所述流通腔(54)连通于所述过滤腔(12)和所述干燥腔(41)之间，所述流通腔(54)的底部设有出废口(55)，所述出废口(55)与所述出废管(22)连通。
7.根据权利要求6所述的过滤设备，其特征在于，所述流通腔(54)的底壁沿所述出废口(55)的周向还设有导向面(57)。
8.根据权利要求6所述的过滤设备，其特征在于，所述干燥腔(41)设于所述流通腔(54)的上方，所述壳体(11)设于所述流通腔(54)内，所述壳体(11)的底部为敞口结构并形成所述出气口(18)。
9.根据权利要求6所述的过滤设备，其特征在于，所述罩壳(5)包括筒体(51)、顶盖(52)和底盖(53)，所述筒体(51)内设有所述多孔板(56)，所述顶盖(52)和所述筒体(51)的顶端之间，以及所述底盖(53)和所述筒体(51)的底端之间，分别通过密封法兰固定。
10.根据权利要求1-4任一项所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(11)的内壁面以及所述过滤层(13)的表面分别设有防腐涂层。
11.根据权利要求1-4任一项所述的过滤设备，其特征在于，所述第一阀(14)为单向阀，所述单向阀的流通方向由进气通道(31)向所述过滤部(1)。
12.根据权利要求1-4任一项所述的过滤设备，其特征在于，还包括冷却装置(6)和泵(7)，所述冷却装置(6)通过进气通道(31)与所述进气口连通，所述出气口(18)连通有出气通道(32)，所述泵(7)与所述出气通道(32)连通。
13.根据权利要求12所述的过滤设备，其特征在于，所述进气通道(31)还包括蛇形盘管(9)。
...【技术特征摘要】
1.一种过滤设备，其特征在于，包括过滤部(1)和清洗部；
2.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(11)设有与所述过滤腔(12)连通的连接管(15)，所述连接管(15)远离所述壳体(11)的一端设有第一连接端(16)和第二连接端(17)，所述第一连接端(16)形成所述进气口并设有所述第一阀(14)，所述第二连接端(17)与所述介质通入管(21)密封连接。
3.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(11)朝向连接管(15)的一端设有喇叭形结构(111)，所述喇叭形结构(111)的小径端与所述连接管(15)连接。
4.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述介质通入管(21)的端部设有扇形喷嘴(211)，所述扇形喷嘴(211)包括缩口端和敞口端，且所述扇形喷嘴(211)的口径由所述缩口端向所述敞口端逐渐增大，所述敞口端朝向所述过滤腔(12)的一侧设置，并与所述过滤层(13)相对。
5.根据权利要求1-4任一项所述的过滤设备，其特征在于，还包括干燥部(4)，所述干燥部(4)与所述过滤部(1)的出气口(18)连通。
6.根据权利要求5所述的过滤设备，其特征在于，还包括罩壳(5)，所述罩壳(5)内通过多孔板(56)分隔形成干燥腔(41)和流通腔(54)，所述干燥腔(41)内设有干燥剂(42)并形成所述干燥部(4)，所述流通腔(54)连通于所述过滤腔(12)和所述干燥腔(41)之间，所述流通腔(54)的底部设有出废口(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈程，浦锡伟，陈云，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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