【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种fe-ni系合金薄板的制造方法及fe-ni系合金薄板。
技术介绍
1、fe-ni系合金薄板因其低热膨胀特性而用于金属掩模材、或引线框架材、电子零件的基板等各种用途。关于此种fe-ni系合金薄板，为了改善加热收缩性或抑制材料的形状不良，以往提出了各种方案。
2、例如在专利文献1中，以提供一种加热收缩量或残留应力少，且冲压时毛刺小的(冲压(stamping)性优异)引线框架材为目的，记载了一种引线框架材的制造方法，其特征在于，对包含fe-36重量％～52重量％ni的金属材料的被轧制材进行精轧，之后进行狭缝加工，进而针对所述狭缝加工进行630℃～700℃范围的充分的去应力退火，之后进行矫直机(leveler)矫正。
3、另外，申请人在专利文献2中，为了可解决加热收缩的问题，例如即便为60mm以上的宽幅也实现优异的平坦性，提出了一种fe-ni系合金薄板材的制造方法，其特征在于，在最终的冷轧之后进行基于矫直机的矫正，在所述基于矫直机的矫正之后进行基于连续退火炉的去应力退火，之后进行纵切加工。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本专利特开平6-145811号公报
7、专利文献2：日本专利特开2006-97073号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、如专利文献1、专利文献2中也记载的那样，为了解决加热收缩的问题，以往提出了各种手法。但是，在进行基于矫直机的形状矫正
3、因此本专利技术的目的在于提供一种可在将加热收缩量保持在现有材料水平的同时减低宽度翘曲量的fe-ni系合金薄板及其制造方法。
4、解决问题的技术手段
5、本专利技术人特别是对去应力退火条件进行了反复研究。其结果，发现通过加热模式的控制，可抑制将去应力退火后的薄板裁断时的形状不良，从而完成了本专利技术。
6、即本专利技术的一实施例为一种fe-ni系合金薄板的制造方法，包括：精冷轧工序，对冷轧用原材料实施压下率5％～50％的精冷轧，制成厚度0.2mm以下的薄板材，所述冷轧用原材料以质量％计含有c：≦0.02％、si：≦0.5％、mn：≦1.0％、ni+co：28％～52％(其中，co为0％～20％)，剩余部分包含fe及不可避免的杂质；形状矫正工序，对所述精冷轧后的薄板材进行形状矫正；以及去应力退火工序，对所述形状矫正后的薄板材进行去应力退火，获得fe-ni系合金薄板，所述去应力退火工序中使用的退火炉至少具有升温部与保持部，在将保持部中的温度设为t℃时，所述升温部设定在0.7t(℃)以上且小于t(℃)的温度范围内，并且设定为在薄板材通过所述升温部时从薄板材的入侧朝向出侧而设定加热温度逐渐增加，在将所述升温部中的薄板材的炉内滞留时间设为ts，将所述保持部中的薄板材的炉内滞留时间设为th时，ts/(ts+th)为0.3～0.8。
7、另外，本专利技术的另一实施例为一种fe-ni系合金薄板，以质量％计含有c：≦0.02％、si：≦0.5％、mn：≦1.0％、ni+co：28％～52％(其中，co为0％～20％)，剩余部分包含fe及不可避免的杂质，所述fe-ni系合金薄板的厚度为0.2mm以下，在500℃×3min的条件下对所述fe-ni系合金薄板进行加热时的加热收缩量为10μm以下，且宽度翘曲量为55μm以下。
8、专利技术的效果
9、通过本专利技术，能够获得一种可在将加热收缩量保持在现有材料水平的同
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1.一种Fe-Ni系合金薄板的制造方法，包括：
2.一种Fe-Ni系合金薄板，以质量％计含有C：≦0.02％、Si：≦0.5％、Mn：≦1.0％、Ni+Co：28％～52％(其中，Co为0％～20％)，剩余部分包含Fe及不可避免的杂质，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种fe-ni系合金薄板的制造方法，包括：
2.一种fe-ni系合金薄板，以质量％计含有c：≦0.02％、s...
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