【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及aoi图像检测领域，特别涉及一种物料板缺陷检测方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、在半导体工艺加工中，物料板不可避免的会出现各种缺陷，所以在生产完毕后需要使用检测机台对其进行缺陷检测。
2、检测模组在缺陷识别检测时需要配备各种扫描设备和光源设备来获取高清图像。但是有些缺陷在物料板背景和元器件颜色映衬下会呈现不同的像素颜色，这并不利于缺陷检测模型来识别缺陷。特别是不同缺陷在同一光源下获取的图像无法用图像识别技术或ai模型检测出来。针对这类物料板的缺陷检测若采用单一检测模型必然会影响缺陷检出率，影像产线良品率。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，解决的问题。
2、一方面，本申请提供一种物料板缺陷检测方法，所述方法包括：
3、通过线扫相机扫描不同光通道下物料板的通道图，并使用所述物料板的cad母版图提取所述通道图中的pcs颗粒图像；
4、对提取的所述pcs颗粒图像进行对位校正，并根据通道类型映射所述pcs颗粒图像的目标区域；所述目标区域为缺陷检测区域；
5、将不同通道下的所述pcs颗粒图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测，将所述目标区域中检测的所有缺陷进行标签融合，映射至目标通道图中，以及将所有缺陷标签根据通道类型映射回原始通道图中显示。
6、具体的，所述使用所述物料板的cad母版图提取所述通道图中的pcs颗粒图像，包括：
7、识别所述通道
8、基于所述对位特征点映射所述cad母版图，基于映射点进行对位和图像位置校正；
9、将所述cad母版图的pcs线条映射至所述通道图，定位穴位pcs轮廓和抠取获得所述pcs颗粒图像。
10、具体的，所述对提取的所述pcs颗粒图像进行对位校正，包括：
11、在所述pcs颗粒图像上选取至少两个特征点，映射至所述cad母版图上目标pcs线条的映射点；
12、根据映射点和特征点的对位坐标关系对所述pcs颗粒图像进行角度和位置校正。
13、具体的，所述pcs颗粒图像分为缺陷检测区域和非缺陷检测区域，不同通道下获取的pcs颗粒图像对应不同的缺陷检测区域，根据通道类型映射和确定所述pcs颗粒图像的目标区域。
14、具体的，所述将不同通道下的所述pcs颗粒图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测，包括：
15、确定所述pcs颗粒图像的目标区域，根据通道类型配置缺陷检测标签和检测参数；
16、将所述pcs颗粒图像的非目标区域设置不透明遮罩层覆盖，获得融合区域图像；
17、将所述融合区域图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测。
18、具体的，所述将所述目标区域中检测的所有缺陷进行标签融合，包括：
19、将所有通道下所述pcs颗粒图像的检测结果进行标签汇总，并将相同目标区域中检测的相同缺陷标签根据置信度和缺陷面积进行融合。
20、具体的，所述将所有缺陷标签映射回原始通道图中显示，包括：
21、将识别的缺陷标签映射至对应的原始通道图，并将缺陷点进行标记；
22、响应于接收到缺陷融合显示指令，将所有融合后缺陷标签映射至选中的目标pcs颗粒图像中标记显示。
23、另一方面，本申请提供一种物料板缺陷检测装置，所述装置包括：
24、图像提取模块，用于通过线扫相机扫描不同光通道下物料板的通道图，并使用所述物料板的cad母版图提取所述通道图中的pcs颗粒图像；
25、区域映射模块，用于对提取的所述pcs颗粒图像进行对位校正，并根据通道类型映射所述pcs颗粒图像的目标区域；所述目标区域为缺陷检测区域；
26、检测显示模块，用于将不同通道下的所述pcs颗粒图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测，将所述目标区域中检测的所有缺陷进行标签融合，映射至目标通道图中，以及将所有缺陷标签根据通道类型映射回原始通道图中显示。
27、又一方面，本申请提供一种计算机设备，所述计算机设备包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、所述至少一段程序、所述代码集或指令集由所述处理器加载并执行以实现上述方面所述的物料板缺陷检测方法。
28、又一方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，所述可读存储介质中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、所述至少一段程序、所述代码集或指令集由处理器加载并执行以实现上述方面所述的物料板缺陷检测方法。
29、本申请实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：本申请针对不同缺陷在不同光环境下呈现的图像清晰度特性，使用不同光通道拍摄同一视角下物料板的通道图，且对于选中通道图使用cad母版图进行整体对位校正，图像中各个pcs影像也使用cad特征点进行对位校正。在缺陷检测阶段，以pcs图像为单位，按照通道类型选择目标检测区，上传到对应检测模型中，不同检测模型仅仅对各自的目标检测区进行缺陷检测，检测后的缺陷标签映射回原始通道图中。如此可以实现分区域更精准的缺陷检测，提高检测精度，且方便定位缺陷所在位置，更有利于全局把控。
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1.一种物料板缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使用所述物料板的CAD母版图提取所述通道图中的PCS颗粒图像，包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对提取的所述PCS颗粒图像进行对位校正，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述PCS颗粒图像分为缺陷检测区域和非缺陷检测区域，不同通道下获取的PCS颗粒图像对应不同的缺陷检测区域，根据通道类型映射和确定所述PCS颗粒图像的目标区域。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将不同通道下的所述PCS颗粒图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述目标区域中检测的所有缺陷进行标签融合，包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述将所有缺陷标签映射回原始通道图中显示，包括：
8.一种物料板缺陷检测装置，其特征在于，所述装置包括：
9.一种计算机设备，其特征在于，所述计算机设备包括处理器和
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、所述至少一段程序、所述代码集或指令集由处理器加载并执行以实现如权利要求1至7任一所述的物料板缺陷检测方法。
...【技术特征摘要】
1.一种物料板缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使用所述物料板的cad母版图提取所述通道图中的pcs颗粒图像，包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对提取的所述pcs颗粒图像进行对位校正，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述pcs颗粒图像分为缺陷检测区域和非缺陷检测区域，不同通道下获取的pcs颗粒图像对应不同的缺陷检测区域，根据通道类型映射和确定所述pcs颗粒图像的目标区域。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将不同通道下的所述pcs颗粒图像推送至对应目标检测模型进行缺陷检测，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述目标区域中检测...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯晓峰，朱磊，张弛，吴琪，刘远刚，
申请(专利权)人：上海感图网络科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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