【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体生产，尤其涉及一种散热盖贴装头及贴装设备。
技术介绍
1、随着半导体元件的集成化和小封装的需求不断增长，导致了半导体元件的功率密度越来越高且芯片散热越来越大，这对半导体元件的性能和使用寿命都会产生影响。因此需要使用贴装设备在半导体元件上贴装散热盖，以保证半导体元件在工作时的散热效率。其中散热盖贴装头是贴装设备上的重要组成部分，其作用是吸取散热盖以后将散热盖贴装在涂胶后的半导体元件上。但是目前现有的散热盖贴装头大多存在着运动精度与运动行程不能兼顾的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种散热盖贴装头及贴装设备，旨在解决现有技术中的散热盖贴装头存在着运动精度与运动行程不能兼顾的技术问题。
2、本专利技术是这样实现的，第一方面，提供一种散热盖贴装头，上述散热盖贴装头包括主体部、运动滑块部以及运输压紧组件，所述运动滑块部滑动连接于所述主体部上，所述运输压紧组件滑动连接于所述运动滑块部上，所述运输压紧组件用于抓取散热盖并将所述散热盖贴装于产品的表面，所述运动滑块部与所述主体部之间设置有长距驱动组，所述长距驱动组用于驱动所述运动滑块部沿第一方向往复运动，且所述运动滑块部上还设置有精密驱动组，所述精密驱动组的驱动端与所述运输压紧组件相连，所述精密驱动组用于驱动所述运输压紧组件沿所述第一方向往复运动。
3、在一个可选实施例中，所述精密驱动组包括按压气缸与比例阀，所述按压气缸设置于所述运动滑块部上，且所述按压气缸的驱动端与所述运输压紧组件相连
4、在一个可选实施例中，所述长距驱动组包括转动螺杆以及驱动电机，所述转动螺杆转动设置于所述主体部上，且所述转动螺杆的长度方向沿所述第一方向设置，所述驱动电机用于驱动所述转动螺杆绕自身轴线方向转动，且所述转动螺杆与至少部分所述运动滑块部螺连接。
5、在一个可选实施例中，所述运输压紧组件的数量为多个，所述精密驱动组的数量与所述运输压紧组件对应，多个所述运输压紧组件沿第二方向依次间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。
6、在一个可选实施例中，所述运输压紧组件包括吸取支座与真空吸取单元，所述吸取支座滑动设置于所述运动滑块部，所述真空吸取单元设置于所述吸取支座上，所述真空吸取单元用于与外部真空发生装置管路连接，以将散热块吸附于所述真空吸取单元的表面。
7、在一个可选实施例中，所述真空吸取单元包括真空安装座以及真空吸头，所述真空安装座设置于所述吸取支座上，所述真空吸头与所述真空安装座拆卸连接，所述真空安装座上设置有连接通道，所述连接通道的第一端用于与外部真空发生装置管路连接，且所述真空吸头连接于所述真空安装座时，所述真空吸头与所述连接通道的第二端相互连通。
8、在一个可选实施例中，所述真空安装座转动设置于所述吸取支座上，且所述吸取支座上设置有转动单元，所述转动单元的驱动端与所述真空安装座相连，以驱动所述真空安装座绕自身轴线转动。
9、在一个可选实施例中，所述精密驱动组的驱动端与所述运输压紧组件之间设置有用于检测压力的压力传感器。
10、在一个可选实施例中，所述运动滑块部上设置有距离检测单元与视觉识别单元，所述距离检测单元用于检测所述运输压紧组件与产品的距离，所述视觉识别单元用于检测产品的位置。
11、第二方面，提供一种贴装设备，包括上述任一项所述的散热盖贴装头。
12、本专利技术相对于现有技术的技术效果是：通过将运动滑块部滑动连接于主体部上，在运动滑块部上还滑动设置有用于抓取散热盖并将散热盖贴装于产品的表面的运输压紧组件，运动滑块部与主体部之间设置有长距驱动组，长距驱动组用于驱动运动滑块部沿第一方向往复运动，且运动滑块部上还设置有精密驱动组，精密驱动组的驱动端与运输压紧组件相连，精密驱动组用于驱动运输压紧组件沿第一方向往复运动。在进行散热盖抓取工作时，可以首先通过长距驱动组驱动运动滑块部以及运输压紧组件沿第一方向快速移动至靠近散热盖的位置，然后再通过精密驱动组驱动运输压紧组件运动直至与散热盖接触。在进行散热盖贴装工作时，可以首先通过长距驱动组驱动运动滑块部以及运输压紧组件沿第一方向快速移动至靠近产品的位置，然后再通过精密驱动组驱动运输压紧组件运动直至将散热盖贴合在产品上，以实现散热盖的特装操作。与现有技术中的散热盖贴装头相比，可通过长距驱动组与精密驱动组的相互配合来驱动运输压紧组件运动的目的，在保证运输压紧组件运动速度与距离的前提下，还可以保证运输压紧组件运动的精确度，使散热盖的贴装更方便。
13、可以理解的是，上述第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。
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1.一种散热盖贴装头，其特征在于，包括主体部、运动滑块部以及运输压紧组件，所述运动滑块部滑动连接于所述主体部上，所述运输压紧组件滑动连接于所述运动滑块部上，所述运输压紧组件用于抓取散热盖并将所述散热盖贴装于产品的表面，所述运动滑块部与所述主体部之间设置有长距驱动组，所述长距驱动组用于驱动所述运动滑块部沿第一方向往复运动，且所述运动滑块部上还设置有精密驱动组，所述精密驱动组的驱动端与所述运输压紧组件相连，所述精密驱动组用于驱动所述运输压紧组件沿所述第一方向往复运动。
2.如权利要求1所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述精密驱动组包括按压气缸与比例阀，所述按压气缸设置于所述运动滑块部上，且所述按压气缸的驱动端与所述运输压紧组件相连，所述比例阀与所述按压气缸管路连通，所述比例阀用于调节通过自身的气量，以调节所述按压气缸输出的推力。
3.如权利要求2所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述长距驱动组包括转动螺杆以及驱动电机，所述转动螺杆转动设置于所述主体部上，且所述转动螺杆的长度方向沿所述第一方向设置，所述驱动电机用于驱动所述转动螺杆绕自身轴线方向转动，且所述转动螺杆
4.如权利要求3所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述运输压紧组件的数量为多个，所述精密驱动组的数量与所述运输压紧组件对应，多个所述运输压紧组件沿第二方向依次间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。
5.如权利要求1至4任一项所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述运输压紧组件包括吸取支座与真空吸取单元，所述吸取支座滑动设置于所述运动滑块部，所述真空吸取单元设置于所述吸取支座上，所述真空吸取单元用于与外部真空发生装置管路连接，以将散热块吸附于所述真空吸取单元的表面。
6.如权利要求5所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述真空吸取单元包括真空安装座以及真空吸头，所述真空安装座设置于所述吸取支座上，所述真空吸头与所述真空安装座拆卸连接，所述真空安装座上设置有连接通道，所述连接通道的第一端用于与外部真空发生装置管路连接，且所述真空吸头连接于所述真空安装座时，所述真空吸头与所述连接通道的第二端相互连通。
7.如权利要求6所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述真空安装座转动设置于所述吸取支座上，且所述吸取支座上设置有转动单元，所述转动单元的驱动端与所述真空安装座相连，以驱动所述真空安装座绕自身轴线转动。
8.如权利要求1至4任一项所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述精密驱动组的驱动端与所述运输压紧组件之间设置有用于检测压力的压力传感器。
9.如权利要求1至4任一项所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述运动滑块部上设置有距离检测单元与视觉识别单元，所述距离检测单元用于检测所述运输压紧组件与产品的距离，所述视觉识别单元用于检测产品的位置。
10.一种贴装设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的散热盖贴装头。
...【技术特征摘要】
1.一种散热盖贴装头，其特征在于，包括主体部、运动滑块部以及运输压紧组件，所述运动滑块部滑动连接于所述主体部上，所述运输压紧组件滑动连接于所述运动滑块部上，所述运输压紧组件用于抓取散热盖并将所述散热盖贴装于产品的表面，所述运动滑块部与所述主体部之间设置有长距驱动组，所述长距驱动组用于驱动所述运动滑块部沿第一方向往复运动，且所述运动滑块部上还设置有精密驱动组，所述精密驱动组的驱动端与所述运输压紧组件相连，所述精密驱动组用于驱动所述运输压紧组件沿所述第一方向往复运动。
2.如权利要求1所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述精密驱动组包括按压气缸与比例阀，所述按压气缸设置于所述运动滑块部上，且所述按压气缸的驱动端与所述运输压紧组件相连，所述比例阀与所述按压气缸管路连通，所述比例阀用于调节通过自身的气量，以调节所述按压气缸输出的推力。
3.如权利要求2所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述长距驱动组包括转动螺杆以及驱动电机，所述转动螺杆转动设置于所述主体部上，且所述转动螺杆的长度方向沿所述第一方向设置，所述驱动电机用于驱动所述转动螺杆绕自身轴线方向转动，且所述转动螺杆与至少部分所述运动滑块部螺连接。
4.如权利要求3所述的散热盖贴装头，其特征在于，所述运输压紧组件的数量为多个，所述精密驱动组的数量与所述运输压紧组件对应，多个所述运输压紧组件沿第二方向依次间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直。
5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢国艺，卢国明，李复春，陈振威，梁君屏，郑成，李智强，
申请(专利权)人：深圳市腾盛精密装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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