【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电阻生产设备生产,具体涉及一种ntc温度传感器生产用划片机。
技术介绍
1、在ntc温度传感器生产时,其中一个步骤需要将晶圆进行划片成芯片,但是目前的晶圆划片机在对晶圆切割过程中无法很好的对晶圆进行固定。
2、例如专利号为cn 211762655 u的专利公开了一种芯片制造用晶圆划片机,包括机座、x轴传动座和y轴传动座,所述机座上设置有伸缩平台、凹槽与第一电机,所述伸缩平台通过螺栓安装固定于机座前端,伸缩平台顶部通过螺栓安装固定有晶圆放置台,所述凹槽开设于机座顶部后端,凹槽内通过轴承过盈连接有下螺杆,所述第一电机通过螺栓安装固定于机座右侧后端,且第一电机与下螺杆销轴连接,所述x轴传动座放置于凹槽顶部,所述y轴传动座放置于x轴传动座顶部,在晶圆切割过程中直接将晶圆放置在切割台上,晶圆容易在切割过程中偏移,影响晶圆的切割效果。
技术实现思路
1、技术目的:
2、本技术为了克服现有技术存在的问题,提供一种ntc温度传感器生产用划片机,通过设置定位机构,在切割过程中将晶圆黏贴在切割板上,再将切割板固定在固定座上,完成对晶圆的固定定位,放置晶圆在切割过程中偏移;通过设置切割板,能够预先将晶圆黏贴在切割板上在放置到固定座上,节省了工序的时间,提高了效率。
3、为解决上述问题,本技术采用以下技术方案:
4、一种ntc温度传感器生产用划片机,包括机架,所述机架上安装有划片机构和定位机构,所述划片机构包括平移组件,所述平移组件固定连接有第一安
5、优选的,所述平移组件包括滑动连接在两根x轴滑杆上的第二安装座和x轴控制电机,所述x轴控制电机的输出端连接有与第二安装座螺纹连接的x轴丝杆,所述第二安装座上固定连接有两根y轴滑杆和y轴控制电机,两根y轴丝杆上滑动连接有第一安装座,所述y轴控制电机的输出端连接有与第一安装座螺纹连接的y轴丝杆。
6、优选的,所述安装座的上端还固定有用于储存晶圆切割液的储液室,储液室的底部连接有用于对切割中晶圆喷洒晶圆切割液的电动喷头。
7、优选的,所述第一定位柱与第二定位柱的上端的纵向截面均为上窄下宽的梯形。
8、优选的,所述第一安装座的上端还安装有吸尘室、吸尘室内安装有吸风机,安装座的底部开设有进风口,进风口与吸尘室相连通。
9、工作原理:先将晶圆通过第二定位柱进行固定并通过粘结胶带粘贴在切割座上,再将切割座通过第一定位柱固定在固定座上完成晶圆的定位和固定,然后通过平移组件控制第一安装座沿x轴和y轴进行移动,同时切割电机控制砂轮切割片对晶圆进行各方位的切割,在此过程中,电动喷头对切割位置进行晶圆切割液的喷洒,吸尘机对产生的灰尘进行收集。
10、有益效果:与现有技术相比,本技术具有以下优点:
11、通过设置定位机构,在切割过程中将晶圆黏贴在切割板上,再将切割板固定在固定座上,完成对晶圆的固定定位,放置晶圆在切割过程中偏移;通过设置切割板,能够预先将晶圆黏贴在切割板上在放置到固定座上,节省了工序的时间,提高了效率。
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1.一种NTC温度传感器生产用划片机,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)上安装有划片机构(2)和定位机构(3),所述划片机构包括平移组件(21),所述平移组件(21)固定连接有第一安装座(23),所述第一安装座(23)的上端固定连接有转动电机(22),转动电机(22)的输出端连接有切割电机座(24),切割电机座(24)内安装有切割电机,切割电机的输出端连接有砂轮切割片(25);所述定位机构(3)包括固定座(31),所述固定座(31)向上设置有至少两个用于固定切割板(33)的第一定位柱(32),所述切割板(33)的周向设置有适配第一定位柱(32)的第一定位孔(34),所述切割板(33)向上设置有用于固定晶圆(36)的第二定位柱(35),所述切割板(33)的上端还固定铺设有用于对晶圆(36)底部整体粘结的粘结胶带(38),所述晶圆(36)的下端外周开设有适配第二定位柱(35)的第二定位槽(37)。
2.根据权利要求1所述的一种NTC温度传感器生产用划片机,其特征在于:所述平移组件(21)包括滑动连接在两根X轴滑杆(211)上的第二安装座(212)和X轴控制电机(2
3.根据权利要求1所述的一种NTC温度传感器生产用划片机,其特征在于:所述安装座(23)的上端还固定有用于储存晶圆切割液的储液室(26),储液室(26)的底部连接有用于对切割中晶圆(36)喷洒晶圆切割液的电动喷头(27)。
4.根据权利要求1所述的一种NTC温度传感器生产用划片机,其特征在于:所述第一定位柱(32)与第二定位柱(35)的上端的纵向截面均为上窄下宽的梯形。
5.根据权利要求1所述的一种NTC温度传感器生产用划片机,其特征在于:所述第一安装座(23)的上端还安装有吸尘室(28)、吸尘室内安装有吸风机,安装座的底部开设有进风口,进风口与吸尘室(28)相连通。
...【技术特征摘要】
1.一种ntc温度传感器生产用划片机,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)上安装有划片机构(2)和定位机构(3),所述划片机构包括平移组件(21),所述平移组件(21)固定连接有第一安装座(23),所述第一安装座(23)的上端固定连接有转动电机(22),转动电机(22)的输出端连接有切割电机座(24),切割电机座(24)内安装有切割电机,切割电机的输出端连接有砂轮切割片(25);所述定位机构(3)包括固定座(31),所述固定座(31)向上设置有至少两个用于固定切割板(33)的第一定位柱(32),所述切割板(33)的周向设置有适配第一定位柱(32)的第一定位孔(34),所述切割板(33)向上设置有用于固定晶圆(36)的第二定位柱(35),所述切割板(33)的上端还固定铺设有用于对晶圆(36)底部整体粘结的粘结胶带(38),所述晶圆(36)的下端外周开设有适配第二定位柱(35)的第二定位槽(37)。
2.根据权利要求1所述的一种ntc温度传感器生产用划片机,其特征在于:所述平移组件(21)包括滑动连接在两根x轴滑杆(211)上的第...
【专利技术属性】
技术研发人员:祝惠宇,祝靖宇,
申请(专利权)人:无锡市开元电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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