【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体设备，涉及一种多维调节的晶圆升降机构。
技术介绍
1、在槽式清洗设备中，夹持装置用于搬运晶圆到达各个工艺槽，各个工艺槽中的晶圆升降机构用于承接晶圆，夹持装置与晶圆升降机构的交接是整个设备运动系统的关键，运动系统必须确保夹持装置能够将多片晶圆准确地插入到晶圆升降机构的晶圆卡槽中。然而，由于槽式清洗设备由多个独立的工艺模块组成，机身较长，这导致工艺槽中的晶圆升降机构与夹持装置之间可能存在较大的空间误差，为了补偿这些误差并确保晶圆的顺利交接，可调节的晶圆升降机构是必要的。
2、目前市面上的干燥模块中，大多数晶圆升降机构缺乏调节功能，而少数可调节的机构也只能在单一方向上进行调整，这种有限的调节能力使得调整操作变得困难，仅靠它们自身的调节功能，无法确保晶圆升降机构与夹持装置之间的准确交接。
3、因此，如何提供一种晶圆升降机构以实现多个维度的独立调节且互不影响，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要问题。
4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种多维调节的晶圆升降机构，实现多个维度的独立调节且互不影响，用于解决现有技术中晶圆升降机构很难进行调整，无法准确承接多片晶圆的问题。
2、为
3、升降杆，沿z方向延伸并在z方向上作升降运动；
4、基准板，固定连接于所述升降杆的顶端；
5、前后调节组件，用于调节晶圆提篮在x方向上的位置，所述前后调节组件包括位于所述基准板上的前后位置调节板；
6、调平组件，用于调节所述晶圆提篮在x-y平面上的水平度，所述调平组件包括调平板、调平螺栓与定位螺栓，所述调平板位于所述前后位置调节板上，所述调平螺栓贯穿所述调平板并与所述前后位置调节板接触，所述调平螺栓通过旋进量的改变调节所述调平板与所述前后位置调节板之间的z方向间距以实现所述晶圆提篮在x-y平面上的水平度调节，所述调平螺栓中设有过孔，所述定位螺栓的螺柱包括紧挨螺栓头的无螺纹部和远离螺栓头的有螺纹部，所述无螺纹部穿设于所述过孔中并与所述过孔精密配合，所述有螺纹部与所述前后位置调节板螺纹连接；
7、旋转组件，用于调节所述晶圆提篮的旋转角度，所述旋转组件包括可绕转轴在预设角度范围内旋转的旋转板，所述旋转板包括水平板与竖直板，所述水平板位于所述调平板上且设有显露所述调平螺栓的开口，所述转轴沿z方向延伸贯穿所述水平板和所述调平板，且所述转轴的底端与所述前后位置调节板之间具有间隙，所述竖直板连接于所述水平板的远离所述转轴的一端，所述竖直板用于与所述晶圆提篮连接以带动所述晶圆提篮前后移动、调平及旋转。
8、可选地，所述前后调节组件还包括沿y方向依次且间隔设置的一对固定块组件，所述固定块组件与所述基准板及所述前后位置调节板连接，用于调节所述前后位置调节板相对于所述基准板沿x方向滑动的距离，进而调节所述晶圆提篮在x方向上的位置。
9、可选地，每一所述固定块组件包括沿x方向依次且间隔设置的第一固定块与第二固定块，所述第一固定块固定连接于所述基准板，所述第二固定块固定连接于所述前后位置调节板，所述固定块组件还包括前后调节螺栓、第一前后调节螺母与第二前后调节螺母，所述前后调节螺栓沿x方向依次贯穿所述第一固定块与所述第二固定块，所述第一前后调节螺母位于所述第二固定块靠近所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第二前后调节螺母位于所述第二固定块远离所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第一前后调节螺母与所述第二前后调节螺母在同一方向上旋转移动以使所述第二固定块相对于所述第一固定块沿x方向前后滑动，进而调节所述前后位置调节板相对于所述基准板沿x方向前后滑动的距离。
10、可选地，所述调平板与所述前后位置调节板均开设有开口，所述第一固定块位于所述水平板、所述调平板及所述前后位置调节板的开口范围内并固定连接于所述基准板的顶面，所述第二固定块位于所述水平板及所述调平板的开口范围内并固定连接于所述前后位置调节板的顶面。
11、可选地，所述前后调节组件还包括前后位置锁紧件，所述前后位置锁紧件包括前后位置锁紧螺栓与开设于所述前后位置调节板中并往x方向延伸的滑动槽，所述前后位置锁紧螺栓沿z方向穿过所述滑动槽并与所述基准板接触，所述调平板与所述水平板上均开设有显露所述前后位置锁紧螺栓的开口，当所述前后位置锁紧件处于释放状态时，所述前后位置调节板处于可前后移动状态，当所述前后位置锁紧件处于锁定状态时，所述前后位置调节板的前后位置被锁定以将所述晶圆提篮锁定在x方向的预设位置。
12、可选地，所述旋转组件还包括角度调节组件，所述角度调节组件与所述前后位置调节板及所述水平板连接，且所述角度调节组件与所述转轴沿x方向间隔设置，用于调节所述水平板相对于所述前后位置调节板绕所述转轴的旋转角度，进而调节所述晶圆提篮绕所述转轴的旋转角度。
13、可选地，所述角度调节组件包括沿y方向依次且间隔设置的第一顶丝块、顶丝固定板与第二顶丝块，所述第一顶丝块与所述第二顶丝块固定连接于所述水平板的顶面，所述顶丝固定块固定连接于所述前后位置调节板的顶面并通过所述开口显露于外部，所述角度调节组件还包括第一顶丝螺栓与第二顶丝螺栓，所述第一顶丝螺栓沿y方向贯穿所述顶丝固定块并与所述第一顶丝块接触，所述第二顶丝螺栓沿y方向贯穿所述顶丝固定块并与所述第二顶丝块接触，所述第一顶丝螺栓通过旋进量的改变调节所述顶丝固定板与所述第一顶丝块之间的y方向间距，所述第二顶丝螺栓通过旋进量的改变调节所述顶丝固定板与所述第二顶丝块之间的y方向间距，进而调节所述水平板相对于所述前后位置调节板绕所述转轴的旋转角度。
14、可选地，所述旋转组件还包括旋转锁紧件，所述旋转锁紧件包括旋转锁紧螺栓与开设于所述水平板中的弧形槽，所述弧形槽所在圆的圆心位于所述转轴的转动轴线上，所述旋转锁紧螺栓沿z方向穿过所述弧形槽与所述调平板接触，当所述旋转锁紧件处于释放状态时，所述旋转板处于可转动状态，当所述旋转锁紧件处于锁定状态时，所述旋转板被固定以将所述晶圆提篮锁定在预设的旋转角度。
15、可选地，所述调平螺栓的数量至少为三个，所述定位螺栓的数量与所述调平螺栓的数量相同。
16、可选地，所述前后位置调节板的上表面开设有凹槽，所述凹槽位于所述转轴的正下方，所述的转轴的底端伸入所述凹槽中。
17、可选地，所述转轴的上端设置有第一锁紧螺母，所述转轴的下端设置有第二锁紧螺母，所述第二锁紧螺母位于所述凹槽内。
18、可选地，所述转轴套设有轴承，所述调平板上设置有凸台，所述凸台中设有收容所述轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多维调节的晶圆升降机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述前后调节组件还包括沿Y方向依次且间隔设置的一对固定块组件，所述固定块组件与所述基准板及所述前后位置调节板连接，用于调节所述前后位置调节板相对于所述基准板沿X方向滑动的距离，进而调节所述晶圆提篮在X方向上的位置。
3.根据权利要求2所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：每一所述固定块组件包括沿X方向依次且间隔设置的第一固定块与第二固定块，所述第一固定块固定连接于所述基准板，所述第二固定块固定连接于所述前后位置调节板，所述固定块组件还包括前后调节螺栓、第一前后调节螺母与第二前后调节螺母，所述前后调节螺栓沿X方向依次贯穿所述第一固定块与所述第二固定块，所述第一前后调节螺母位于所述第二固定块靠近所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第二前后调节螺母位于所述第二固定块远离所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第一前后调节螺母与所述第二前后调节螺母在同一方向上旋转移动以使所述第二固定块相对于所述第一固定块沿X方向前后滑
4.根据权利要求3所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述调平板与所述前后位置调节板均开设有开口，所述第一固定块位于所述水平板、所述调平板及所述前后位置调节板的开口范围内并固定连接于所述基准板的顶面，所述第二固定块位于所述水平板及所述调平板的开口范围内并固定连接于所述前后位置调节板的顶面。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述前后调节组件还包括前后位置锁紧件，所述前后位置锁紧件包括前后位置锁紧螺栓与开设于所述前后位置调节板中并往X方向延伸的滑动槽，所述前后位置锁紧螺栓沿Z方向穿过所述滑动槽并与所述基准板接触，所述调平板与所述水平板上均开设有显露所述前后位置锁紧螺栓的开口，当所述前后位置锁紧件处于释放状态时，所述前后位置调节板处于可前后移动状态，当所述前后位置锁紧件处于锁定状态时，所述前后位置调节板的前后位置被锁定以将所述晶圆提篮锁定在X方向的预设位置。
6.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述旋转组件还包括角度调节组件，所述角度调节组件与所述前后位置调节板及所述水平板连接，且所述角度调节组件与所述转轴沿X方向间隔设置，用于调节所述水平板相对于所述前后位置调节板绕所述转轴的旋转角度，进而调节所述晶圆提篮绕所述转轴的旋转角度。
7.根据权利要求6所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述角度调节组件包括沿Y方向依次且间隔设置的第一顶丝块、顶丝固定板与第二顶丝块，所述第一顶丝块与所述第二顶丝块固定连接于所述水平板的顶面，所述顶丝固定块固定连接于所述前后位置调节板的顶面并通过所述开口显露于外部，所述角度调节组件还包括第一顶丝螺栓与第二顶丝螺栓，所述第一顶丝螺栓沿Y方向贯穿所述顶丝固定块并与所述第一顶丝块接触，所述第二顶丝螺栓沿Y方向贯穿所述顶丝固定块并与所述第二顶丝块接触，所述第一顶丝螺栓通过旋进量的改变调节所述顶丝固定板与所述第一顶丝块之间的Y方向间距，所述第二顶丝螺栓通过旋进量的改变调节所述顶丝固定板与所述第二顶丝块之间的Y方向间距，进而调节所述水平板相对于所述前后位置调节板绕所述转轴的旋转角度。
8.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述旋转组件还包括旋转锁紧件，所述旋转锁紧件包括旋转锁紧螺栓与开设于所述水平板中的弧形槽，所述弧形槽所在圆的圆心位于所述转轴的转动轴线上，所述旋转锁紧螺栓沿Z方向穿过所述弧形槽与所述调平板接触，当所述旋转锁紧件处于释放状态时，所述旋转板处于可转动状态，当所述旋转锁紧件处于锁定状态时，所述旋转板被固定以将所述晶圆提篮锁定在预设的旋转角度。
9.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述调平螺栓的数量至少为三个，所述定位螺栓的数量与所述调平螺栓的数量相同。
10.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述前后位置调节板的上表面开设有凹槽，所述凹槽位于所述转轴的正下方，所述的转轴的底端伸入所述凹槽中。
11.根据权利要求10所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述转轴的上端设置有第一锁紧螺母，所述转轴的下端设置有第二锁紧螺母，所述第二锁紧螺母位于所述凹槽内。
12.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述转轴套设有轴承，所述调平板上设置有凸台，所述凸台中设有收容所述轴承的凹槽，所述水平板的下表...
【技术特征摘要】
1.一种多维调节的晶圆升降机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述前后调节组件还包括沿y方向依次且间隔设置的一对固定块组件，所述固定块组件与所述基准板及所述前后位置调节板连接，用于调节所述前后位置调节板相对于所述基准板沿x方向滑动的距离，进而调节所述晶圆提篮在x方向上的位置。
3.根据权利要求2所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：每一所述固定块组件包括沿x方向依次且间隔设置的第一固定块与第二固定块，所述第一固定块固定连接于所述基准板，所述第二固定块固定连接于所述前后位置调节板，所述固定块组件还包括前后调节螺栓、第一前后调节螺母与第二前后调节螺母，所述前后调节螺栓沿x方向依次贯穿所述第一固定块与所述第二固定块，所述第一前后调节螺母位于所述第二固定块靠近所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第二前后调节螺母位于所述第二固定块远离所述第一固定块的一侧并与所述前后调节螺栓配合连接，所述第一前后调节螺母与所述第二前后调节螺母在同一方向上旋转移动以使所述第二固定块相对于所述第一固定块沿x方向前后滑动，进而调节所述前后位置调节板相对于所述基准板沿x方向前后滑动的距离。
4.根据权利要求3所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述调平板与所述前后位置调节板均开设有开口，所述第一固定块位于所述水平板、所述调平板及所述前后位置调节板的开口范围内并固定连接于所述基准板的顶面，所述第二固定块位于所述水平板及所述调平板的开口范围内并固定连接于所述前后位置调节板的顶面。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述前后调节组件还包括前后位置锁紧件，所述前后位置锁紧件包括前后位置锁紧螺栓与开设于所述前后位置调节板中并往x方向延伸的滑动槽，所述前后位置锁紧螺栓沿z方向穿过所述滑动槽并与所述基准板接触，所述调平板与所述水平板上均开设有显露所述前后位置锁紧螺栓的开口，当所述前后位置锁紧件处于释放状态时，所述前后位置调节板处于可前后移动状态，当所述前后位置锁紧件处于锁定状态时，所述前后位置调节板的前后位置被锁定以将所述晶圆提篮锁定在x方向的预设位置。
6.根据权利要求1所述的多维调节的晶圆升降机构，其特征在于：所述旋转组件还包括角度调节组件，所述角度调节组件与所述前后位置调节板及所述水平板连接，且所述角度...
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓东，
申请(专利权)人：上海普达特半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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