【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散炉，具体为一种扩散炉用送料装置。
技术介绍
1、扩散炉是半导体制造过程中至关重要的设备，用于在硅片表面沉积各种材料，例如掺杂剂或薄膜。为了确保扩散炉的高效运行，需要一个可靠的送料装置。这个装置的作用是将硅片精确地引入扩散炉内，并确保其在整个处理过程中保持稳定的位置和方向。
2、公开号为cn213273775u，中国专利公开的一种扩散炉用送料装置，它包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接。本技术当夹持有硅片的夹头通过炉口进入到炉体内时，l型支架上的封堵板会将炉口封闭。因此，本申请在将硅片送至炉体内的同时具有关闭炉体炉口的功能。
3、针对上述中的相关技术，该装置存在一些不足，在实际使用过程中，它依靠两片水平夹持板的相对移动来夹紧固定夹持在夹持柱之间的硅片。然而，夹持板的调节方式是手动的，这使得操作非常不便。用户需要不断地调整夹持板，这增加了操作的复杂性和时间成本。此外，由于螺柱缺乏任何限位结构，夹持板的稳定性受到影响。在硅片输送过程中，存在夹持板可能松动的风险，因此，有必要提供一种扩散炉用送料装置解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种扩散炉用送料装置，以解决上述
技术介绍
中存在的至少一个技术问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种扩散炉用送料装置，其包括：
4、基板，所述
5、所述封堵板的一侧开设有竖槽，所述竖槽的内部转动安装有第二丝杆，所述第二丝杆外壁的上侧设置有左旋螺纹，所述第二丝杆外壁的下侧设置有右旋螺纹，所述第二丝杆的外壁上套设有对称分布的活动块，且活动块与竖槽滑动连接，两个所述活动块的一侧均固定安装有水平夹持板，两个所述水平夹持板的相对侧均固定安装有若干个夹持柱；
6、所述第二丝杆的外壁上固定安装有蜗轮，所述封堵板的另一侧固定安装有第二电机，且第二电机的驱动端贯穿封堵板的另一侧并延伸至竖槽的内部，所述第二电机的驱动端固定安装有蜗杆，且蜗杆与蜗轮相啮合，所述基板底部的两侧均固定安装有对称分布的万向轮。
7、优选的，所述基板通过其顶部开设的螺纹孔螺纹连接有第一丝杆，所述第一丝杆的底端转动安装有压板，所述第一丝杆的顶端固定安装有手轮，所述压板顶部的两侧均固定安装有限位柱，且限位柱的顶端贯穿基板的底部并延伸至基板顶部上方。
8、优选的，所述压板的底部粘接有防滑垫。
9、优选的，所述限位板的另一侧固定安装有固定板，且螺纹杆的一端与固定板一侧上方安装的轴承转动连接。
10、优选的，所述调节块的一侧开设有与螺纹杆相适配的螺纹孔，且调节块通过其一侧开设的螺纹孔与螺纹杆螺纹连接。
11、优选的，所述活动块的顶部开设有与第二丝杆相适配的螺纹孔，且活动块通过其顶部开设的螺纹孔与第二丝杆螺纹连接。
12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
13、1.本技术通过基板、万向轮、电动伸缩杆、固定板、夹持柱、水平夹持板、封堵板、支撑架、调节块、螺纹杆、限位槽、第一电机、限位板、滑块、蜗轮、蜗杆、活动块、第二丝杆、竖槽和第二电机的配合使用，该送料装置通过机械驱动的方式，实现了两个水平夹持板之间的相对移动或相反移动，便于快速的对硅片进行夹紧以及拆卸，相比较手动操作，避免了用户需要不断地调整夹持板，增加了操作的复杂性和时间成本的问题，同时通过蜗杆与蜗轮自锁性，可确保第二丝杆与活动块之间螺纹传动的稳定性，从而降低水平夹持板出现松动的风险，提高了整个装置的稳定性和可靠性。
14、2.本技术通过压板、限位柱、手轮和第一丝杆的配合使用，该装置具备可移动性，方便使装置与不同的扩散炉设备进行搭配使用，当装置进行定点使用的时候，可通过转动手轮，使压板稳定的进行竖向移动，当压板向下移动与地面接触，提高装置在定点使用与地面之间的接触面积以及摩擦力，使装置在定点使用时的稳定性得到保证。
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1.一种扩散炉用送料装置，其特征在于，其包括：
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述基板（1）通过其顶部开设的螺纹孔螺纹连接有第一丝杆（17），所述第一丝杆（17）的底端转动安装有压板（3），所述第一丝杆（17）的顶端固定安装有手轮（6），所述压板（3）顶部的两侧均固定安装有限位柱（4），且限位柱（4）的顶端贯穿基板（1）的底部并延伸至基板（1）顶部上方。
3.根据权利要求2所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述压板（3）的底部粘接有防滑垫。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述限位板（16）的另一侧固定安装有固定板（7），且螺纹杆（13）的一端与固定板（7）一侧上方安装的轴承转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述调节块（12）的一侧开设有与螺纹杆（13）相适配的螺纹孔，且调节块（12）通过其一侧开设的螺纹孔与螺纹杆（13）螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述活动块（21）的顶部开设有与第二
...【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用送料装置，其特征在于，其包括：
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述基板（1）通过其顶部开设的螺纹孔螺纹连接有第一丝杆（17），所述第一丝杆（17）的底端转动安装有压板（3），所述第一丝杆（17）的顶端固定安装有手轮（6），所述压板（3）顶部的两侧均固定安装有限位柱（4），且限位柱（4）的顶端贯穿基板（1）的底部并延伸至基板（1）顶部上方。
3.根据权利要求2所述的一种扩散炉用送料装置，其特征在于：所述压板（3）的底部粘接有防滑垫。
4.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宗捷，朱滨泉，苏新巍，
申请(专利权)人：潍坊芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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