【技术实现步骤摘要】
本技术属于激光剥蚀，尤其涉及一种基于贝塞尔光束的激光剥蚀检测装置。
技术介绍
1、激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法(la-icp-ms)是一种固体直接进样，原位、微区、元素分析技术。随着激光剥蚀系统的逐步成熟，la-icp-ms被广泛应用于地质、环境、考古、材料等领域。激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(la-icp-ms)利用激光器发出激光束，使用物镜使激光聚焦样品特定区域，利用脉冲激光的能量把固体样品直接剥蚀成微小的颗粒，与载气形成气溶胶，然后通过电感耦合等离子体源(icp)将颗粒等离子化后，进入质谱进行元素检测。
2、在一些小尺度和需要更长的焦深的测试场景下，仅仅依靠现有技术的激光发射器无法有效的达到要求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种基于贝塞尔光束的激光剥蚀检测装置，以解决
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种基于贝塞尔光束的激光剥蚀检测装置，其特征在于，包括激光剥蚀模块、样品池模块和质谱检测模块；
3、所述激光剥蚀模块包括依次连接的激光发射器、贝塞尔光束生成模块、振镜模块和样品镜头；
4、所述样品池模块与质谱检测模块气路连接。
5、优选地，所述样品池模块包括外壳、样品进气口、样品出气口、样品杯、样品支架、样品移动台；
6、所述样品进气口和样品出气口设置在外壳上；
7、所述样品移动台设置在外壳内；
8、所述样品支架设置在样品移动台的上方；p>
9、所述样品杯设置在样品支架上。
10、优选地，所述样品池模块还包括氧气传感器，所述氧气传感器设置在外壳外，所述氧气传感器与样品出气口气路连接。
11、优选地，所述样品移动台为三轴移动台。
12、优选地，所述振镜模块为三维振镜模块，所述三维振镜模块包括z轴移动镜头、z轴聚焦镜头、x轴振镜和y轴振镜；
13、所述三维振镜模块通过z轴移动镜头和z轴聚焦镜头的配合高速调节所述剥蚀激光的焦点沿光轴方向的位置；所述x轴振镜和y轴振镜用于高速调节所述剥蚀激光的焦点沿垂直于光轴方向的位置。
14、优选地，所述激光剥蚀模块还包括光学观察模块，所述光学观察模块用于生成样品照片，所述样品照片用于确定样品剥蚀区域。
15、本技术的有益效果是：
16、本技术的剥蚀激光通过贝塞尔光束生成器形成横向光强分布由一个中心光斑和多个同心圆环旁瓣组成的贝塞尔光束，贝塞尔光束通过振镜模块后聚焦到样品上，可以获得比常规光斑更小直径、更长的焦深，剥蚀激光可以在很小的尺度上获得锥度更小更深的剥蚀，提高剥蚀系统获得的样品数量和剥蚀的一致性，大大提高了分辨率和灵敏度。
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1.一种基于贝塞尔光束的激光剥蚀检测装置，其特征在于，包括激光剥蚀模块、样品池模块和质谱检测模块；
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述样品池模块包括外壳、样品进气口、样品出气口、样品杯、样品支架、样品移动台；
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述样品池模块还包括氧气传感器，所述氧气传感器设置在外壳外，所述氧气传感器与样品出气口气路连接。
4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述样品移动台为三轴移动台。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述振镜模块为三维振镜模块，所述三维振镜模块包括Z轴移动镜头、Z轴聚焦镜头、X轴振镜和Y轴振镜；
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述激光剥蚀模块还包括光学观察模块，所述光学观察模块用于生成样品照片，所述样品照片用于确定样品剥蚀区域。
7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述样品池模块通过匀化管与质谱检测模块气路连接。
【技术特征摘要】
1.一种基于贝塞尔光束的激光剥蚀检测装置，其特征在于，包括激光剥蚀模块、样品池模块和质谱检测模块；
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述样品池模块包括外壳、样品进气口、样品出气口、样品杯、样品支架、样品移动台；
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述样品池模块还包括氧气传感器，所述氧气传感器设置在外壳外，所述氧气传感器与样品出气口气路连接。
4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡勇刚，陈国荣，
申请(专利权)人：上海凯来仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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