【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工,具体涉及一种晶棒开方用拨线工装。
技术介绍
1、晶棒加工时需要采用多线切割机进行切割,将圆棒切割为方棒,切割时金刚线从上向下对圆棒的外壁进行切削,但是在切割完成后,由于金刚线距离方棒表面较近,不拨开金刚线直接拿取方棒会导致方棒的表面与金刚线接触,造成方棒质量受损,而如果通过人工拨动金刚线使两根相邻的金刚线之间形成空隙,从而方便将方棒拿出,可由于金刚线非常锋利,工人稍有不慎就会被划伤,严重时可能会导致身体残缺,存在较大的安全隐患。
2、专利公告号为:cn217597507u的专利文件公开了一种晶棒开方用保护装置,包括有一组相对设置收线段,所述收线段被配置于晶棒的下方;每个所述收线段中均构造有用于放置金钢线的仓槽;所述收线段能够在金钢线切割完晶棒的任一组的边皮料时进入所述仓槽中,以隔断下行的边皮料与金钢线接触,并可使边皮料经所述收线段的外壁面滑落至回收仓中。本技术结构简单且不影响开方机的整体结构,仅在工作台上设置一悬空放置的收线仓,以使在收刀时将金钢线纳入其仓内被保护起来,以防止被切掉的边皮料压损或划断金钢线,保护金钢线的完整性,减少金钢线断线率。
3、上述方案中的收线段放置于晶棒下方,而晶棒一般是放置在平整的工作台上,这就要求要对工作台进行改造,才能满足收线段的安装需求,这势必会增加成本,因此需要一种无需对工作台进行改造加工,也可在晶棒切割结束后将金刚线与方棒自动分隔的拨线工装。
技术实现思路
1、为了克服上述的技术问题,本技术的目的在于
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现:
3、一种晶棒开方用拨线工装,用于在晶棒开方加工后拨开金刚线,包括跟随所述金刚线同步上升或下降的基座和推动件,所述推动件能够关于所述基座做往复运动,所述基座的两端均转动连接有旋转块,所述旋转块上设置有拨线杆,所述拨线杆位于金刚线的内侧,旋转块与推动件之间通过连杆活动连接。
4、进一步在于,所述推动件为气缸。
5、进一步在于,所述推动件上设置有销钉一,所述旋转块上设置有销钉二,所述连杆的两端分别与所述销钉一和所述销钉二转动连接。
6、进一步在于,所述基座朝向所述连杆的一面形成有避让槽。
7、进一步在于,所述旋转块上开设有条形通孔,所述拨线杆能够在所述条形通孔内滑动。
8、进一步在于,所述拨线杆的外部可转动地设置有套筒。
9、本技术的有益效果:
10、相较于传统方法,本技术方案无需对工作台进行改进,能够高效率地在晶棒开方结束后,将金刚线拨开,不与方棒接触,可以有效解决金刚线触碰拨线杆发生干切导致钢线脱砂,以及方棒表观品质不良的问题,进而能够提高生产效率,提升产品成品率,降低工人劳动强度和安全风险,方便实用。
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1.一种晶棒开方用拨线工装,用于在晶棒开方加工后拨开金刚线,其特征在于,包括跟随所述金刚线同步上升或下降的基座和推动件,所述推动件能够关于所述基座做往复运动,所述基座的两端均转动连接有旋转块,所述旋转块上设置有拨线杆,所述拨线杆位于金刚线的内侧,旋转块与推动件之间通过连杆活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述推动件为气缸。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述推动件上设置有销钉一,所述旋转块上设置有销钉二,所述连杆的两端分别与所述销钉一和所述销钉二转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述基座朝向所述连杆的一面形成有避让槽。
5.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述旋转块上开设有条形通孔,所述拨线杆能够在所述条形通孔内滑动。
6.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述拨线杆的外部可转动地设置有套筒。
【技术特征摘要】
1.一种晶棒开方用拨线工装,用于在晶棒开方加工后拨开金刚线,其特征在于,包括跟随所述金刚线同步上升或下降的基座和推动件,所述推动件能够关于所述基座做往复运动,所述基座的两端均转动连接有旋转块,所述旋转块上设置有拨线杆,所述拨线杆位于金刚线的内侧,旋转块与推动件之间通过连杆活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述推动件为气缸。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用拨线工装,其特征在于,所述推动件...
【专利技术属性】
技术研发人员:马天龙,赵涛,姜志强,
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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