提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：第一腔室；第二腔室，在第一方向上配置在所述第一腔室的一侧；第一门，在与所述第一方向不同的第二方向上配置在所述第一腔室的一侧；以及第二门，在所述第二方向上配置在所述第二腔室的一侧，所述第一门比所述第二门在所述第二方向上移位配置。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种基板处理装置。
技术介绍
1、随着信息化社会发展，针对用于显示图像的显示装置的需求以各种形式增加。显示装置可以是液晶显示装置(liquid crystal display)、场发射显示装置(fieldemission display)、发光显示装置(light emitting display)之类平板显示装置。发光显示装置可以包括具有有机发光二极管元件作为发光元件的有机发光显示装置，或者具有led(light emitting diode)之类无机发光二极管元件作为发光元件的无机发光显示装置。
2、显示装置的制造工艺由制造基板的工艺、单元制造工艺以及模块工艺等多数工艺构成。如此，由许多单元工艺组成的显示装置的制造工艺通常在洁净室中进行。在洁净室内部，未处理基板、显示装置的制造中的处理中基板以及结束显示装置的制造的成品基板等多数基板可以收纳、保管在腔室内。
技术实现思路
1、本技术要解决的课题在于，提供一种提高空间效率性的基板处理装置。
2、本技术的课题不限于以上提及的课题，未提及的又另一技术课题将可以对于本领域技术人员从下面的记载明确地理解。
3、用于解决所述课题的根据一实施例的基板处理装置包括：第一腔室；第二腔室，在第一方向上配置在所述第一腔室的一侧；第一门，在与所述第一方向不同的第二方向上配置在所述第一腔室的一侧；以及第二门，在所述第二方向上配置在所述第二腔室的一侧，所述第一门比所述第二门在所述第二方向上移位配置。
>4、可以是，配置有所述第一门的所述第一腔室的所述一侧与配置有所述第二门的所述第二腔室的所述一侧在所述第二方向上位于相同方向。5、可以是，所述第一门与所述第二门在所述第一方向上不重叠。
6、可以是，所述第一门以及所述第二门构成为在所述第一方向上移动。
7、可以是，所述第一门的至少一部分在打开状态下与所述第二门在所述第二方向上重叠。
8、所述基板处理装置还包括：第一门驱动部以及第二门驱动部，分别向所述第一门以及所述第二门提供驱动力。
9、可以是，所述第一门驱动部在所述第二方向上配置在所述第一门和所述第一腔室之间，所述第二门驱动部在所述第二方向上配置在所述第二门和所述第二腔室之间。
10、可以是，所述第一门驱动部包括：第一轨道以及第二轨道，在与所述第一方向以及所述第二方向不同的第三方向上配置，所述第二门驱动部包括：第三轨道以及第四轨道，在所述第三方向上配置。
11、可以是，所述第一轨道在所述第一方向上与所述第三轨道不重叠，所述第二轨道在所述第一方向上与所述第四轨道不重叠。
12、可以是，所述第一轨道比所述第三轨道在所述第二方向上移位配置，所述第二轨道比所述第四轨道在所述第二方向上移位配置。
13、可以是，所述基板处理装置还包括：堆叠框架，安放所述第一腔室以及所述第二腔室，所述堆叠框架包括：第一区域，配置所述第一腔室；第二区域，配置所述第二腔室；以及第三区域，配置在所述第二区域的一侧，所述第一区域至所述第三区域在所述第一方向上配置。
14、可以是，所述第二门的至少一部分在打开状态下与所述第三区域在所述第二方向上重叠。
15、可以是，所述基板处理装置还包括：基板移送装置，在所述第二方向上配置在所述第一腔室以及所述第二腔室的一侧，所述基板移送装置包括：基板移送部，构成为在所述第二方向上伸展及收缩；以及臂驱动部，构成为使所述基板移送部在所述第一方向上移动。
16、可以是，所述基板移送部构成为在所述第二方向上伸展而将对象基板搬入到所述第一腔室或者所述第二腔室，或者在所述第二方向上收缩而将所述对象基板从所述第一腔室或者所述第二腔室搬出。
17、可以是，所述第一方向是所述第一腔室以及所述第二腔室的高度方向。
18、可以是，所述第一方向是所述第一腔室以及所述第二腔室的水平方向。
19、根据用于解决所述课题的另一实施例的基板处理装置包括：第一腔室；第二腔室，配置在所述第一腔室上；第一门，配置在所述第一腔室的一侧；以及第二门，配置在所述第二腔室的一侧，在所述第一腔室以及所述第二腔室的配置方向上，所述第一门与所述第二门不重叠。
20、可以是，配置有所述第一门的所述第一腔室的所述一侧与配置有所述第二门的所述第二腔室的所述一侧位于相同方向的相同侧。
21、可以是，所述第一门与所述第二门不重叠。
22、可以是，所述第一门以及所述第二门构成为在所述第一腔室以及所述第二腔室的所述配置方向上移动。
23、根据本技术的一实施例的基板处理装置，可以提高空间效率性。
24、根据实施例的效果不由以上例示的内容限制，更加多样的效果包括在本说明书内。
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【技术保护点】
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
8.一种基板处理装置，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
10.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
...
【专利技术属性】
技术研发人员：张世一，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：
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