【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机床设备领域，尤其是涉及一种基于电机驱动的多轴运动平台。
技术介绍
1、运动平台属于机床设备的一部分，用于带动工件在加工、测试等作业工序中运动至指定位置，运动的方向通常包括x轴、y轴、z轴的直线运动，以及绕x轴、y轴、z轴的回转运动，甚至绕x轴、y轴的旋转运动。
2、随着高精密定位的多轴运动平台在半导体制造等精密加工领域内的广泛应用，如用于光刻机中的硅片台、掩模台、晶圆检测台等，要求多轴运动平台能够在纵向空间狭小的工作环境使用。而现有的多轴运动平台通常采用多轴堆叠的结构形式，旋转平台堆叠在x轴或y轴上，不仅结构复杂不利于提高平台的运动响应性能，还导致平台整体的纵向尺寸空间较大使得平台运动精度较低，难于满足半导体制造领域对运动平台高精度的实际应用需求。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出一种基于电机驱动的多轴运动平台，结构紧凑且合理，有利于提高平台的运动精度。
2、本专利技术提出一种基于电机驱动的多轴运动平台，其包括：
3、机座；
4、第一运动组件，滑动连接在机座的安装台上，包括中部具有容纳通槽的主梁架和固定在主梁架一端的支撑板；
5、第一直线电机，用于驱动第一运动组件相对机座上在x轴向进行直线往复运动；
6、第二运动组件，集成设置在容纳通槽内，第二运动组件包括移动支架和内嵌于移动支架的回转组件，回转组件包括以z轴向进行旋转运动的环形旋转电机及由环形旋转电机驱
7、第二直线电机，用于驱动第二运动组件基于移动支架与容纳通槽之间的滑动配合在y轴向进行直线往复运动；
8、通过设置第二直线电机与y轴向的相对位置使第二直线电机产生的驱动力与回转组件的质心处于同一直线上，以消除第二直线电机的驱动力对回转组件产生的扭曲力矩。
9、在一些优选实施例中，在机座的安装台上设有一组x轴导轨，在每个x轴导轨上均设有滑动配合相连的x轴滑座，x轴滑座与第一运动组件固定相连。
10、在一些优选实施例中，第一直线电机的数量是两个，每个第一直线电机均包括以x轴向设置的第一电机动子和用于驱动第一电机动子的第一电机定子，两个第一电机定子分别固定在安装台的两相对侧，两个第一电机动子对应固定在主梁架的两相对侧。
11、在一些优选实施例中，主梁架包括两个y轴走向且间隔设置的y向主梁和连接在两个y向主梁一末端的第一连接梁，支撑板固定在两个y向主梁的另一末端。
12、在一些优选实施例中，在两个y向主梁的另一末端还设有第二连接梁，支撑板通过第二连接梁居中设置在两个y向主梁之间，支撑板的一末端延伸至容纳通槽内。
13、在一些优选实施例中，在主梁架与移动支架的两相对侧边之间分别设有y轴导轨和与y轴导轨滑动配合相连的y轴滑座，y轴导轨固定在容纳通槽的内侧壁，y轴滑座固定在移动支架的外侧边。
14、在一些优选实施例中，在移动支架的一端固定有支架翼板，支架翼板位于支撑板的上方；第二直线电机包括第二电机动子和用于驱动第二电机动子的第二电机定子，第二电机定子固定在支撑板上，第二电机动子固定在支架翼板上。
15、在一些优选实施例中，支撑板和第二电机定子在z轴向平面内的正投影，与回转组件或回转组件在z轴向平面内的正投影不重合。
16、在一些优选实施例中，在支架翼板相对支撑板的底侧面向下延伸设有端板，第二电机动子固定在端板的竖侧面。
17、在一些优选实施例中，第二电机动子和端板作为一个整体在第二电机动子直线运动方向的几何中线，与y轴向之间具有预设的夹角，以使几何中线与回转组件由几何中心所确定的质心处于同一直线上。
18、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
19、本专利技术将提供y轴直线运动及回转组件的第二运动组件集成设置在第一运动组件的容纳通槽内，且回转组件内嵌在移动支架中。相比直接将回转组件堆叠在第二运动组件的主梁架上方而言，使得回转组件与第二运动组件处于同一个运动平面内，转盘相对此运动平面的在z轴向的高度较小，可以减小第二运动组件的直线运动时对回转组件产生的扭曲力矩，有利于提高回转组件的旋转运动精度。同时，本专利技术通过进一步设置第二直线电机产生的驱动力与回转组件的质心处于同一直线上，可以完全消除第二直线电机的驱动力对回转组件产生的扭曲力矩，避免回转组件因扭曲力矩产生扭曲变形产生误差，进一步提高平台的运动精度。
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1.一种基于电机驱动的多轴运动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，在机座（1）的安装台（11）上设有一组X轴导轨（12），在每个X轴导轨（12）上均设有滑动配合相连的X轴滑座（13），X轴滑座（13）与第一运动组件（2）固定相连。
3.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，第一直线电机的数量是两个，每个第一直线电机均包括以X轴向设置的第一电机动子（31）和用于驱动第一电机动子（31）的第一电机定子（32），两个第一电机定子（32）分别固定在安装台（11）的两相对侧，两个第一电机动子（31）对应固定在主梁架的两相对侧。
4.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，主梁架包括两个Y轴走向且间隔设置的Y向主梁（21）和连接在两个Y向主梁（21）一末端的第一连接梁（22），支撑板（24）固定在两个Y向主梁（21）的另一末端。
5.根据权利要求4所述的多轴运动平台，其特征在于，在两个Y向主梁（21）的另一末端还设有第二连接梁（23），支撑板（24）通过第二连接梁（23）居中设置在两个Y向主
6.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，在主梁架与移动支架（41）的两相对侧边之间分别设有Y轴导轨（25）和与Y轴导轨（25）滑动配合相连的Y轴滑座（26），Y轴导轨（25）固定在容纳通槽的内侧壁，Y轴滑座（26）固定在移动支架（41）的外侧边。
7.根据权利要求1-6任何一项所述的多轴运动平台，其特征在于，在移动支架（41）的一端固定有支架翼板（42），支架翼板（42）位于支撑板（24）的上方；第二直线电机包括第二电机动子（51）和用于驱动第二电机动子（51）的第二电机定子（52），第二电机定子（52）固定在支撑板（24）上，第二电机动子（51）固定在支架翼板（42）上。
8.根据权利要求7所述的多轴运动平台，其特征在于，支撑板（24）和第二电机定子（52）在Z轴向平面内的正投影，与回转组件或回转组件在Z轴向平面内的正投影不重合。
9.根据权利要求8所述的多轴运动平台，其特征在于，在支架翼板（42）相对支撑板（24）的底侧面向下延伸设有端板（43），第二电机动子（51）固定在端板（43）的竖侧面。
10.根据权利要求9所述的多轴运动平台，其特征在于，第二电机动子（51）和端板（43）作为一个整体在第二电机动子（51）直线运动方向的几何中线，与Y轴向之间具有预设的夹角，以使几何中线与回转组件由几何中心所确定的质心处于同一直线上。
...【技术特征摘要】
1.一种基于电机驱动的多轴运动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，在机座（1）的安装台（11）上设有一组x轴导轨（12），在每个x轴导轨（12）上均设有滑动配合相连的x轴滑座（13），x轴滑座（13）与第一运动组件（2）固定相连。
3.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，第一直线电机的数量是两个，每个第一直线电机均包括以x轴向设置的第一电机动子（31）和用于驱动第一电机动子（31）的第一电机定子（32），两个第一电机定子（32）分别固定在安装台（11）的两相对侧，两个第一电机动子（31）对应固定在主梁架的两相对侧。
4.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，主梁架包括两个y轴走向且间隔设置的y向主梁（21）和连接在两个y向主梁（21）一末端的第一连接梁（22），支撑板（24）固定在两个y向主梁（21）的另一末端。
5.根据权利要求4所述的多轴运动平台，其特征在于，在两个y向主梁（21）的另一末端还设有第二连接梁（23），支撑板（24）通过第二连接梁（23）居中设置在两个y向主梁（21）之间，支撑板（24）的一末端延伸至容纳通槽内。
6.根据权利要求1所述的多轴运动平台，其特征在于，在主梁架与移动支架（...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑学刚，尹振圆，
申请(专利权)人：佛山德玛特智能装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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