【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制备，特别是涉及一种靶材绑定定位工装。
技术介绍
1、靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来,现有技术一般采用铟作为焊料将靶材与背板进行绑定。在采用铟对靶材进行绑定的过程中，首先进行靶材、背板的加工。然后用高温胶带粘贴靶材和背板的非绑定区域。之后将做好防护的靶材放在加热炉上加热，用融化的铟焊料倒至背板和靶材上，并用超声波将靶材和背板进行焊接。焊接后将铟焊料填满背板绑定面，将靶材贴合到背板上。最后等铟焊料凝固，绑定焊接完成，制得绑定靶材。
2、由于熔化铟溶液具有浮力作用，贴合后的靶材和背板会互相移动，很难使靶材固定在背板的中心位置。因此，需要定位工装定位靶材和背板的相对位置，所以在一些案例中，定位工装常采用深度尺、卡尺等量测工具来定位靶材和背板的相对位置。但由于绑定靶材是在高温下进行，每测量一次调整位置后需等待测量工具降温后再测量，无法当场判定绑定过程中靶材与背板定位中心是否一致，同心度是否合格，或每测量一次调整位置后用压重块固定绑定位置防止靶材移位，因此效率较低，定位精度低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种靶材绑定定位工装，以解决现有技术存在的问题，实现靶材材绑定时高精度中心定位，提升绑定效率。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种靶材绑定定位工装，包括底座、靶材中心定位测量组件及多个靶材定位组件；所述底座包括相连接的底部定位机构和顶部定位机构；所述底部定位机构位于背板的外周侧，并与所述背板保持位置
3、优选的，所述靶材中心定位测量组件包括多个沿所述顶部定位机构周向等间隔分布的第一百分表，各所述第一百分表分别位于两所述靶材定位组件之间，且所述第一百分表的测量杆沿径向穿过所述顶部定位机构，并抵接在所述靶材的外周壁上。
4、优选的，所述顶部定位机构配套有三组所述靶材定位组件和所述第一百分表，所述顶部定位机构呈圆环状结构，同一组中的所述靶材定位组件和所述第一百分表沿所述顶部定位机构的直径方向上对称分布。
5、优选的，所述靶材定位组件包括沿所述顶部定位机构径向可移动设置的第一定位杆，且所述第一定位杆沿所述顶部定位机构径向延伸，所述第一定位杆靠近所述靶材的端部连接有用于抵接在所述靶材外周壁上的第一保护块。
6、优选的，所述第一定位杆呈螺杆状结构，且所述顶部定位机构上开设有与所述第一定位杆螺纹连接的第一螺孔，且所述第一螺孔的轴线沿所述顶部定位机构的径向延伸。
7、优选的，所述底部定位机构呈与所述顶部定位机构同轴心的环形结构并环绕在所述背板的外周侧，所述底部定位机构配套有背板中心定位测量组件及多个背板定位组件；各所述背板定位组件沿所述底部定位机构周向等间隔分布，所述背板定位组件沿径向可移动安装在所述底部定位机构上，并用于抵接在所述背板的外周壁上；所述背板中心定位测量组件安装在所述底部定位机构上，并用于测量所述背板的位置变化。
8、优选的，所述背板中心定位测量组件包括多个沿所述底部定位机构周向等间隔分布的第二百分表，各所述第二百分表分别位于两所述背板定位组件之间，且所述第二百分表的测量杆沿径向穿过所述底部定位机构，并抵接在所述背板的外周壁上。
9、优选的，所述底座配套有三组所述背板定位组件和所述第二百分表，所述底部定位机构呈圆环状结构，同一组中的所述背板定位组件和所述第二百分表沿所述底部定位机构的直径方向上对称分布。
10、优选的，所述背板定位组件包括沿所述底部定位机构径向上可移动设置的第二定位杆，且所述第二定位杆沿所述底部定位机构径向延伸，所述第二定位杆靠近所述背板的端部连接有用于抵接在所述背板外周壁上的第二保护块。
11、优选的，所述第二定位杆呈螺杆状结构，且所述底部定位机构上开设有与所述第二定位杆螺纹连接的第二螺孔，且所述第二螺孔的轴线沿所述底部定位机构的径向延伸。
12、本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
13、通过调整各靶材定位组件在顶部定位机构上的位置，以能够推动靶材，进而改变靶材在背板上的位置；靶材中心定位测量组件安装在顶部定位机构处，并用于测量靶材的位置变化，在靶材定位组件调整靶材在背板上的位置后，通过靶材中心定位测量组件对靶材所在位置进行测量，进而能够快速将靶材定位，且将靶材保持在背板上相应位置处，进而提高绑定的精度和效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种靶材绑定定位工装，其特征在于，包括底座、靶材中心定位测量组件及多个靶材定位组件；
2.根据权利要求1所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述靶材中心定位测量组件包括多个沿所述顶部定位机构周向等间隔分布的第一百分表，各所述第一百分表分别位于两所述靶材定位组件之间，且所述第一百分表的测量杆沿径向穿过所述顶部定位机构，并抵接在所述靶材的外周壁上。
3.根据权利要求2所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述顶部定位机构配套有三组所述靶材定位组件和所述第一百分表，所述顶部定位机构呈圆环状结构，同一组中的所述靶材定位组件和所述第一百分表沿所述顶部定位机构的直径方向上对称分布。
4.根据权利要求2或3所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述靶材定位组件包括沿所述顶部定位机构径向可移动设置的第一定位杆，且所述第一定位杆沿所述顶部定位机构径向延伸，所述第一定位杆靠近所述靶材的端部连接有用于抵接在所述靶材外周壁上的第一保护块。
5.根据权利要求4所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述第一定位杆呈螺杆状结构，且所述顶部定位机构上开设有与所述第一
6.根据权利要求5所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述底部定位机构呈与所述顶部定位机构同轴心的环形结构并环绕在所述背板的外周侧，所述底部定位机构配套有背板中心定位测量组件及多个背板定位组件；
7.根据权利要求6所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述背板中心定位测量组件包括多个沿所述底部定位机构周向等间隔分布的第二百分表，各所述第二百分表分别位于两所述背板定位组件之间，且所述第二百分表的测量杆沿径向穿过所述底部定位机构，并抵接在所述背板的外周壁上。
8.根据权利要求7所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述底座配套有三组所述背板定位组件和所述第二百分表，所述底部定位机构呈圆环状结构，同一组中的所述背板定位组件和所述第二百分表沿所述底部定位机构的直径方向上对称分布。
9.根据权利要求8所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述背板定位组件包括沿所述底部定位机构径向上可移动设置的第二定位杆，且所述第二定位杆沿所述底部定位机构径向延伸，所述第二定位杆靠近所述背板的端部连接有用于抵接在所述背板外周壁上的第二保护块。
10.根据权利要求9所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述第二定位杆呈螺杆状结构，且所述底部定位机构上开设有与所述第二定位杆螺纹连接的第二螺孔，且所述第二螺孔的轴线沿所述底部定位机构的径向延伸。
...【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定定位工装，其特征在于，包括底座、靶材中心定位测量组件及多个靶材定位组件；
2.根据权利要求1所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述靶材中心定位测量组件包括多个沿所述顶部定位机构周向等间隔分布的第一百分表，各所述第一百分表分别位于两所述靶材定位组件之间，且所述第一百分表的测量杆沿径向穿过所述顶部定位机构，并抵接在所述靶材的外周壁上。
3.根据权利要求2所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述顶部定位机构配套有三组所述靶材定位组件和所述第一百分表，所述顶部定位机构呈圆环状结构，同一组中的所述靶材定位组件和所述第一百分表沿所述顶部定位机构的直径方向上对称分布。
4.根据权利要求2或3所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述靶材定位组件包括沿所述顶部定位机构径向可移动设置的第一定位杆，且所述第一定位杆沿所述顶部定位机构径向延伸，所述第一定位杆靠近所述靶材的端部连接有用于抵接在所述靶材外周壁上的第一保护块。
5.根据权利要求4所述的靶材绑定定位工装，其特征在于，所述第一定位杆呈螺杆状结构，且所述顶部定位机构上开设有与所述第一定位杆螺纹连接的第一螺孔，且所述第一螺孔的轴线沿所述顶部定位机构的径向延伸。
6.根据权利要求5所述的靶材绑定定位工装，...
【专利技术属性】
技术研发人员：鄢展圣，林晓明，林志河，陈辉辉，陈逸晖，石振斌，刘儒，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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